【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光刻镜头调节装置，尤其涉及一种调节装置及光刻镜头。
技术介绍
1、在进行光刻时，由光刻镜头提供光源来实现光刻。在光刻镜头中，通过光纤引入光源，再由匀光棒对来自光纤的光束进行匀光，然后再从光刻镜头射出向外照射。
2、来自光纤的光束进入匀光棒时会在匀光棒的入射端形成光斑，光束向光刻镜头外照射会形成照射区域。来自光纤的光束在匀光棒入射端形成光斑的位置和照射角度会影响光束向光刻镜头外照射形成的照射区域的位置以及光束均匀性。因此在使用光刻镜头进行光刻前，需要检测并校准光刻镜头的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。
3、通过调节来自光纤的光束的照射位置，可调节来自光纤的光束在匀光棒入射端形成光斑的位置，进而校准光刻镜头的照射区域位置。
4、可见，如何调节来自光纤光束的照射位置是亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请提供的一种调节装置及光刻镜头，旨在解决现有技术中如何调节来自光纤光束的照射位置的技术问题。
2、本申请提供的一种调节装置，包括：
3、用于安装光纤的安装件；
4、用于与外部结构相连的连接件；以及
5、用于将所述安装件与所述连接件连接的转接件；
6、其中，所述安装件与所述连接件位于所述转接件的两侧，所述安装件可相对所述转接件向第一方向移动，所述转接件可相对所述连接件向第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向交叉，所述第一方向与所述第二方向均垂直于光束的传播方向。>
7、更进一步地，所述安装件朝所述第一方向开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔；
8、所述第一螺纹孔设置有第一调节螺丝，所述第二螺纹孔设置有第二调节螺丝；
9、所述转接件的两侧分别设置有第一抵接面和第二抵接面，所述第一抵接面和所述第二抵接面位于所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔之间，所述第一抵接面与第二抵接面之间的距离小于所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔之间的距离；
10、其中，在使安装件在所述第一方向移动过程中，拧动第一调节螺丝和/或第二调节螺丝，第一调节螺丝抵接所述第一抵接面和/或第二调节螺丝抵接所述第二抵接面，以使所述安装件相对所述转接件向所述第一方向移动。
11、更进一步地，所述安装件与所述转接件中的一个设置有第一导向凸起，所述安装件与所述转接件中的另一个设置有第一导向槽，所述第一导向凸起与所述第一导向槽相适配；
12、所述安装件相对所述转接件向所述第一方向移动时，所述第一导向凸起在所述第一导向槽的内壁的限位下滑动。
13、更进一步地，所述安装件设置有若干第一腰型孔，所述转接件设置有第一螺丝孔，所述第一螺丝孔适配有第一安装螺丝；
14、其中，所述第一腰型孔的长度方向沿所述第一方向；
15、所述安装件与所述转接件相连时，所述第一安装螺丝穿过所述第一腰型孔后拧入所述第一螺丝孔，由所述第一安装螺丝的螺丝头使所述安装件抵持于所述转接件。
16、更进一步地，所述转接件朝所述第二方向开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔；
17、所述第三螺纹孔设置有第三调节螺丝，所述第四螺纹孔设置有第四调节螺丝；
18、所述连接件的两侧分别设置有第三抵接面和第四抵接面，所述第三抵接面和所述第四抵接面位于所述第三螺纹孔与所述第四螺纹孔之间，所述第三抵接面与第四抵接面之间的距离小于所述第三螺纹孔与所述第四螺纹孔之间的距离；
19、其中，在使转接件在所述第二方向移动过程中，拧动第三调节螺丝和/或第四调节螺丝，第三调节螺丝抵接所述第三抵接面和/或第四调节螺丝抵接所述第四抵接面，以使所述转接件相对所述连接件向所述第二方向移动。
20、更进一步地，所述转接件与所述连接件中的一个设置有第二导向凸起，所述转接件与所述连接件中的另一个设置有第二导向槽，所述第二导向凸起与所述第二导向槽相适配；
21、所述转接件相对所述连接件向所述第二方向移动时，所述第二导向凸起在所述第二导向槽的内壁的限位下滑动。
22、更进一步地，所述转接件设置有若干第二腰型孔，所述连接件设置有第二螺丝孔，所述第二螺丝孔适配有第二安装螺丝；
23、其中，所述第二腰型孔的长度方向沿所述第二方向；
24、所述转接件与所述连接件相连时，所述第二安装螺丝穿过所述第二腰型孔后拧入所述第二螺丝孔，由所述第二安装螺丝的螺丝头使所述转接件抵持于所述连接件。
25、另一方面，本申请还提出一种光刻镜头，包括上述调节装置；
26、匀光组件，所述匀光组件与所述调节装置可拆卸相连；
27、透镜组件，所述透镜组件与所述匀光组件可拆卸相连；以及
28、出光组件，所述出光组件与所述透镜组件可拆卸相连；
29、其中，光纤发射的光束依次经过所述调节装置、所述匀光组件、所述透镜组件、所述出光组件。
30、更进一步地，所述匀光组件与所述透镜组件相连的一端设置有第一法兰，所述透镜组件与所述匀光组件相连的一端设置有第二法兰，所述第一法兰与所述第二法兰由若干第一连接螺丝连接。
31、更进一步地，所述透镜组件与所述出光组件相连的一端设置有第三法兰，所述第三法兰通过若干第二连接螺丝与所述出光组件相连。
32、本申请所达到的有益效果是：
33、本申请提出的一种调节装置，包括：安装件、连接件以及转接件。安装件用于安装光纤。连接件用于与外部结构相连。转接件用于将安装件与连接件连接。其中，安装件与连接件位于转接件的两侧，安装件可相对转接件向第一方向移动，转接件可相对连接件向第二方向移动，第一方向与第二方向交叉，第一方向与第二方向均垂直于光束的传播方向。将光纤安装于安装件，通过使安装件相对转接件向第一方向移动，转接件相对连接件向第二方向移动，来使光纤位置发生改变，进而调节来自光纤的光束的照射位置，从而校准光刻镜头的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。
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1.一种调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述安装件朝所述第一方向开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔；
3.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述安装件与所述转接件中的一个设置有第一导向凸起，所述安装件与所述转接件中的另一个设置有第一导向槽，所述第一导向凸起与所述第一导向槽相适配；
4.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述安装件设置有若干第一腰型孔，所述转接件设置有第一螺丝孔，所述第一螺丝孔适配有第一安装螺丝；
5.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述转接件朝所述第二方向开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔；
6.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，所述转接件与所述连接件中的一个设置有第二导向凸起，所述转接件与所述连接件中的另一个设置有第二导向槽，所述第二导向凸起与所述第二导向槽相适配；
7.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，所述转接件设置有若干第二腰型孔，所述连接件设置有第二螺丝孔，所述第二螺丝孔适配有第二安装螺丝；
8.一种
9.根据权利要求8所述的光刻镜头，其特征在于，所述匀光组件与所述透镜组件相连的一端设置有第一法兰，所述透镜组件与所述匀光组件相连的一端设置有第二法兰，所述第一法兰与所述第二法兰由若干第一连接螺丝连接。
10.根据权利要求8所述的光刻镜头，其特征在于，所述透镜组件与所述出光组件相连的一端设置有第三法兰，所述第三法兰通过若干第二连接螺丝与所述出光组件相连。
...【技术特征摘要】
1.一种调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述安装件朝所述第一方向开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔；
3.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述安装件与所述转接件中的一个设置有第一导向凸起，所述安装件与所述转接件中的另一个设置有第一导向槽，所述第一导向凸起与所述第一导向槽相适配；
4.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述安装件设置有若干第一腰型孔，所述转接件设置有第一螺丝孔，所述第一螺丝孔适配有第一安装螺丝；
5.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述转接件朝所述第二方向开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔；
6.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，所述转接件与所述连接件中的一个设置有第二导...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志特，吴中海，杜金铃，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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