一种振幅型计算全息图实现装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种振幅型计算全息图实现装置及方法

【技术实现步骤摘要】
一种振幅型计算全息图实现装置及方法


[0001]本专利技术属于光学精密制造
，具体涉及一种振幅型计算全息图实现装置及方法
。

技术介绍

[0002]极紫外光刻物镜是极紫外光刻机的关键部件之一，极紫外光刻物镜中的光学元件面形高精度装调是其中的关键问题
。
[0003]基于计算全息的高精度零位干涉测量方法区别于传统的球面零位干涉原理，这种基于计算全息的高精度零位干涉测量方法根据非球面的表面梯度分布，设计了计算全息片（
CGH
）作为相位补偿器件，用于弥补非球面的相位偏差，从而实现高精度的非球面面形检测，以及拓展到光学系统装调
。
利用
CGH
补偿的零位干涉法是当前精度最高的复杂面形检验方法，其测量不确定度可达到纳米量级
。
除可应用于非球面元件高精度检测外，
CGH
可生成任意形状波前的能力赋予了
CGH
更为广阔的应用潜能
。
[0004]目前计算全息微结构的制作方法中较为普遍的有电子束直写和激光直写两种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种振幅型计算全息图实现装置，所述振幅型计算全息图用于极紫外光刻物镜装调，包括用于引发光刻胶产生光聚合反应的光刻胶激发光路；用于抑制光刻胶产生光聚合反应的光刻胶抑制光路；以及光刻胶激发光路与光刻胶抑制光路的合束光路，其特征在于，所述光刻胶激发光路包括沿光路依次布置的激发光激光器
、
光参量振荡器
、
第一电光调制器
、
第一光斑分束器
、
第一扩束器；所述第一光斑分束器分束后的一条光路到第一扩束器，另一条光路上还设有第一聚焦透镜和第一光电探测器，所述光刻胶抑制光路包括沿光路依次布置的抑制光激光器
、
第二电光调制器
、
第二光斑分束器
、
第二扩束器；所述第二光斑分束器分束后的一条光路到第二扩束器，另一条光路上还设有第二聚焦透镜和第二光电探测器，所述振幅型计算全息图实现装置还包括控制系统，所述第一光电探测器检测激发光的功率并与设定的标准值范围比较，如果超出标准值范围，则由所述控制系统控制所述第一电光调制器调节到标准值范围，所述第二光电探测器检测抑制光的功率并与设定的标准值范围比较，如果超出标准值范围，则由所述控制系统控制所述第二电光调制器调节到标准值范围
。2.
根据权利要求1所述振幅型计算全息图实现装置，其特征在于，所述光刻胶激发光路和所述光刻胶抑制光路通过一个偏振分束器合束
。3.
根据权利要求1所述振幅型计算全息图实现装置，其特征在于，所述合束光路包括沿光刻胶激发光路与光刻胶抑制光路合束后的光路依次布置的空间光调制器
、
第一四分之一波片
、
第三聚焦透镜
、
第三反射镜
、
第二四分之一波片
、
刻写物镜
、
纳米位移台，合束光依次通过空间光调制器
、
第一四分之一波片
、
第三聚焦透镜
、
第三反射镜，经反射后再通过第三聚焦透镜
、
第一四分之一波片返回到空间光调制器，其中，合束光中的激发光先由空间光调制器进行
0~
π
相位调制后再通过第一四分之一波片，而合束光中的抑制光在第二次通过第一四分之一波片后再进入空间光调制器由空间光调制器对抑制光进行
0~
π
相位调制，合束光先后两次通过空间光调制器的位置共轭，合束光先后两次通过空间光调制器后，再依次通过第二四分之一波片
、
刻写物镜
、
纳米位移台，所述刻写物镜处设有用于检测刻写物镜温度的温度传感器，所述控制系统接收所述温度传感器的信号，并根据温度传感器检测的刻写物镜的温度调整所述空间光调制器的相位
。4.
根据权利要求3所述振幅型计算全息图实现装置，其特征在于，还包括照明光路，包括用于对放置于纳米位移台上的样品进行照明的照明光源，以及第四聚焦透镜和相机，所述合束光路在第二四分之一波片和刻写物镜之间设有第三光斑分束镜，合束...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞殷旭，潘杭凯，匡翠方，卢俊一，孙伯文，刘旭，李海峰，
申请(专利权)人：浙江大学杭州国际科创中心，
类型：发明
国别省市：