【技术实现步骤摘要】
边曝打码装置
[0001]本专利技术涉及曝光机
,尤其是涉及一种边曝打码装置
。
技术介绍
[0002]在现有技术得中,曝光机内设有边曝打码装置以实现对于基板的边曝和打码,在相关技术中,通常为了实现边曝打码装置的小型化设计,将进行边曝和打码的结构设计的相对较小,让基板进行多次旋转以完成对于基板的边曝和打码,这样不仅会降低基板的处理效率,而且会让基板的放置精度有较高要求,以影响对于基板的处理效果
。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一
。
为此,本专利技术的一个目的在于提出一种边曝打码装置,所述边曝打码装置的处理效率较高
、
处理效果较好
。
[0004]根据本专利技术实施例的边曝打码装置,包括:基座组件
、
打码组件和边曝组件,所述基座组件上设有承载部和龙门,所述承载部用于承载基板,所述龙门对应设于所述基板的顶部;所述打码组件设于所述龙门上,所述打码组件与所述承载部对应设置;所述边曝组件设于所述龙门上,且所述边曝组件与所述打码组件间隔设置,所述边曝组件与所述承载部的至少一个边缘对应设置
。
[0005]根据本专利技术实施例的边曝打码装置,通过将打码组件和边曝组件集成设置在龙门上,由于龙门与承载部相对设置,以让基板能够同时进行打码处理以及边曝处理,以提升打码装置的工作效率,且边曝打码装置对于基板的打码边曝效果能够根据需求进行调整,以让边曝打码装置具有更高的适用性 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种边曝打码装置,其特征在于,包括:基座组件,所述基座组件上设有承载部和龙门,所述承载部用于承载基板,所述龙门对应设于所述基板的顶部;打码组件,所述打码组件设于所述龙门上,所述打码组件与所述承载部对应设置;边曝组件,所述边曝组件设于所述龙门上,且所述边曝组件与所述打码组件间隔设置,所述边曝组件与所述承载部的至少一个边缘对应设置
。2.
根据权利要求1所述的边曝打码装置,其特征在于,所述打码组件包括多个打码镜头,多个所述打码镜头间隔设置在所述基座组件上,且多个所述打码镜头与所述基板相对设置
。3.
根据权利要求1所述的边曝打码装置,其特征在于,所述边曝组件包括:第一边曝灯和第二边曝灯,所述第一边曝灯和所述第二边曝灯间隔设置,所述第一边曝灯构建于所述基板的第一边缘,所述第二边曝灯构建于所述基板的第二边缘,所述第一边缘和所述第二边缘首尾相连
。4.
根据权利要求3所述的边曝打码装置,其特征在于,所述第一边曝灯为矩形边曝灯,所述第二边曝...
【专利技术属性】
技术研发人员:严孝年,洪弟燕,何少锋,
申请(专利权)人:合肥芯碁微电子装备股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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