一种用于半导体芯片生产的加工定位工装制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，包括底座，所述底座的表面上开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有两组对称设置的滑板，所述滑板的侧壁上开设有贯穿的通孔，且通孔中螺纹连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆贯穿且转动连接在底座的侧壁上，所述双向螺纹杆的一端转动连接在滑槽的内壁上，所述双向螺纹杆的另一端固定连接在电机的输出端

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体芯片生产的加工定位工装


[0001]本专利技术涉及半导体芯片加工
，具体为一种用于半导体芯片生产的加工定位工装
。

技术介绍

[0002]半导体芯片是组成半导体元器件的重要组成部分，在半导体芯片的表面进行光刻加工，形成电子元器件微型电路结构，由于半导体芯片制作的元器件结构较小，其光刻加工精度要求较高，光刻加工过程有氧化
、
涂胶
、
曝光
、
显影
、
刻蚀
、
去胶和扩散等，在加工过程中，为了保证加工的精度要求，通常需要采用定位辅助工装来精确定位半导体芯片的加工位置
。
[0003]现有的加工定位工装对位半导体芯片进行在固定时，夹持力度过大，半导体芯片容易损坏；只能对半导体芯片的一片进行加工，当需要对另一面进行加工时，需要将固定好的半导体芯片拆卸下来，翻面后再次进行固定，从而导致加工效率降低；鉴于此，我们提出了一种用于半导体芯片生产的加工定位工装
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的是提供一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，能够避免半导体芯片容易损坏，提高半导体芯片加工效率
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提出的一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，包括底座，所述底座的表面上开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有两组对称设置的滑板，所述滑板的侧壁上开设有贯穿的通孔，且通孔中螺纹连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆贯穿且转动连接在底座的侧壁上，所述双向螺纹杆的一端转动连接在滑槽的内壁上，所述双向螺纹杆的另一端固定连接在电机的输出端，所述电机固定连接在底座的侧壁上，所述滑板的表面上设置有缓冲组件，所述缓冲组件包括：支撑板，所述支撑板固定连接在滑板的表面上，所述支撑板的侧壁上固定连接有两组对称设置的固定板，两组所述固定板之间固定连接有导向杆，所述导向杆的外壁上滑动连接有两组对称设置的移动座，所述移动座与固定板之间通过缓冲弹簧弹性连接；以及斜杆，所述斜杆的一端铰接在移动座的端部，所述斜杆的另一端铰接有安装板
。
[0006]优选的，所述安装板的表面上设置有夹持组件，所述夹持组件包括限位板，所述限位板转动连接在安装板的内部，所述限位板的表面上开设有多组阵列分布的限位槽
。
[0007]优选的，所述限位板的侧壁上固定连接有转盘，所述转盘的侧壁上铰接有夹持臂
。
[0008]优选的，所述夹持臂的底面设置有滚轮，所述滚轮的表面上设置有橡胶垫，所述橡胶垫的表面上开设有斜槽
。
[0009]优选的，所述夹持臂的表面上铰接有滑杆，所述滑杆贯穿且滑动连接在套杆的端部，所述滑杆的端部固定连接有活塞板，所述活塞板滑动连接在套杆的内部
。
[0010]优选的，所述活塞板通过支持弹簧弹性连接在套杆的内壁上，所述套杆铰接在转
盘的侧壁上
。
[0011]优选的，所述安装板的表面上设置有限位组件，所述限位组件包括固定框，所述固定框固定连接在安装板的表面上
。
[0012]优选的，所述固定框的内部滑动连接有移动板，所述移动板的表面上固定连接有拉杆，所述拉杆贯穿且滑动连接在固定框的表面上
。
[0013]优选的，所述拉杆的外壁上套接有复位弹簧，所述复位弹簧的一端固定连接在固定框的内壁上
。
[0014]优选的，所述复位弹簧的另一端固定连接在移动板的表面上，所述移动板的底面固定连接有限位块，所述限位块贯穿且滑动连接在安装板的内壁上
。
[0015]本专利技术提供了一种用于半导体芯片生产的加工定位工装
。
具备以下有益效果：
[0016]1、
该用于半导体芯片生产的加工定位工装，通过安装板对斜杆进行加压，从而使得两组斜杆带动移动座向导向杆的两端滑动，使得缓冲弹簧压缩，缓冲弹簧采用橡胶材质制作而成，可以对夹持的力度进行缓冲，从而避免夹持的力度过大造成半导体芯片出现损坏的情况
。
[0017]2、
该用于半导体芯片生产的加工定位工装，通过夹持臂对半导体芯片进行夹持固定，滚轮表面的橡胶垫与半导体芯片的表面上相贴合，可以对半导体芯片的表面进行防护，并且斜槽可以避免半导体芯片的位置偏移，并在夹持过程中，滚轮进行滚动，从而减小与避免半导体之间的摩擦力，提高对半导体芯片的防护
。
[0018]3、
该用于半导体芯片生产的加工定位工装，通过拉动拉杆使得移动板向上移动，复位弹簧受力压缩，限位块与限位槽分离，解除对转盘的限位，从而转动转盘带动半导体芯片进行翻面，提高半导体芯片加工效率
。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图
。
[0020]图1为本专利技术整体装置的结构示意图；
[0021]图2为本专利技术整体剖视的结构示意图；
[0022]图3为本专利技术
A
处放大的结构示意图；
[0023]图4为本专利技术夹持组件的结构示意图；
[0024]图5为本专利技术套杆剖视的结构示意图
。
[0025]图中：
1、
底座；
2、
滑槽；
3、
滑板；
4、
双向螺纹杆；
5、
电机；
6、
缓冲组件；
61、
支撑板；
62、
固定板；
63、
导向杆；
64、
移动座；
65、
缓冲弹簧；
66、
斜杆；
67、
安装板；
7、
夹持组件；
71、
限位板；
72、
限位槽；
73、
转盘；
74、
夹持臂；
75、
滚轮；
76、
橡胶垫；
77、
斜槽；
78、
滑杆；
79、
套杆；
710、
活塞板；
711、
支持弹簧；
8、
限位组件；
81、
固定框；
82、
移动板；
83、
拉杆；
84、
复位弹簧；
85、
限位块
。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，包括底座
(1)
，所述底座
(1)
的表面上开设有滑槽
(2)
，所述滑槽
(2)
的内部滑动连接有两组对称设置的滑板
(3)
，所述滑板
(3)
的侧壁上开设有贯穿的通孔，且通孔中螺纹连接有双向螺纹杆
(4)
，所述双向螺纹杆
(4)
贯穿且转动连接在底座
(1)
的侧壁上，所述双向螺纹杆
(4)
的一端转动连接在滑槽
(2)
的内壁上，所述双向螺纹杆
(4)
的另一端固定连接在电机
(5)
的输出端，所述电机
(5)
固定连接在底座
(1)
的侧壁上，其特征在于：所述滑板
(3)
的表面上设置有缓冲组件
(6)
，所述缓冲组件
(6)
包括：支撑板
(61)
，所述支撑板
(61)
固定连接在滑板
(3)
的表面上，所述支撑板
(61)
的侧壁上固定连接有两组对称设置的固定板
(62)
，两组所述固定板
(62)
之间固定连接有导向杆
(63)
，所述导向杆
(63)
的外壁上滑动连接有两组对称设置的移动座
(64)
，所述移动座
(64)
与固定板
(62)
之间通过缓冲弹簧
(65)
弹性连接；以及斜杆
(66)
，所述斜杆
(66)
的一端铰接在移动座
(64)
的端部，所述斜杆
(66)
的另一端铰接有安装板
(67)。2.
根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，其特征在于：所述安装板
(67)
的表面上设置有夹持组件
(7)
，所述夹持组件
(7)
包括限位板
(71)
，所述限位板
(71)
转动连接在安装板
(67)
的内部，所述限位板
(71)
的表面上开设有多组阵列分布的限位槽
(72)。3.
根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，其特征在于：所述限位板
(71)
的侧壁上固定连接有转盘
(73)
，所述转盘
(73)
的侧壁上铰接有夹持臂
(74)。4.
根据权利要求3所述的一种用于半导体芯片生产的加工定位工装，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，
申请(专利权)人：江西舜源电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：