一种太阳能电池片自动双面光刻机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种太阳能电池片自动双面光刻机，包括光刻工作台和控制器，所述光刻工作台的周围沿顺时针或逆时针方向依次设有上料机构

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片自动双面光刻机


[0001]本技术属于自动化设备
，涉及一种太阳能电池片自动双面光刻机
。

技术介绍

[0002]目前，制备太阳能电池片的方法有丝网印刷
、
无电沉积法
、
电沉积法等，其中，应用最为广泛的是丝网印刷，采用丝网印刷制备的栅线宽度一般在
40
‑
50
μ
m
，栅线宽度尺寸较大，而较宽的栅线的遮光面积大，影响光的吸收，此外，现有的丝网印刷制备栅线方式，其多晶硅量产转换效率约为
17
％
‑
20
％，太阳能电池转换效率较低，而且丝网印刷较慢，降低了生产效率，为了获得高转化率的电池，需要减小栅线宽度，提高栅线的高宽比，而传统的丝网印刷工艺已经很难做到
。
[0003]而电镀铜 技术的图形化方案主要以光刻为主，采用在电池硅片上设置感光材料然后光刻
、
显影
、
电镀的方式，可以避免上述丝网印刷工艺存在的缺陷，目前专利号为
2022220989806
的技术专利公开了“一种太阳能电池片的全自动高速曝光装置”，可自动对种太阳能电池片进行高速曝光，但一次只能对太阳能电池片的一面进行光刻，光刻完成后还需要翻面再次进行光刻，影响效率，而且正反面的图形位置差异较大
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于针对
技术介绍
中电池片只能一次单面光刻，效率低且正反面的图形位置差异较大的问题，提供一种可双面同时光刻的太阳能电池片自动双面光刻机
。
[0005]为此，本技术采取如下技术方案：
[0006]一种太阳能电池片自动双面光刻机，包括光刻工作台和控制器，所述光刻工作台的周围沿顺时针或逆时针方向依次设有上料机构
、
电池片调位机构
、
光刻机构和下料机构，具体地：
[0007]所述光刻工作台包括可转动的台体，所述台体的边沿处设有四个曝光机对位平台，所述曝光机对位平台呈矩形排布并可随台体转动；
[0008]所述上料机构包括设置于台体一侧的上料支架，所述上料支架上沿上料支架长度方向设有上料辊道，上料支架长度方向的一端靠近光刻工作台处设有上料机械手；
[0009]所述电池片调位机构包括机架，所述机架上设有多个对位显微镜；
[0010]所述光刻机构包括支架，所述支架的上侧设有上曝光灯
、
下侧设有下曝光灯，所述上曝光灯和下曝光灯之间形成光刻区；
[0011]所述下料机构包括下料支架，所述下料支架上沿下料支架长度方向设有下料辊道，下料支架长度方向靠近光刻工作台一端设有下料机械手；
[0012]所述控制器分别与曝光机对位平台
、
上料辊道
、
上料机械手
、
对位显微镜
、
上曝光灯
、
下曝光灯
、
下料辊道和下料机械手相连接
。
[0013]进一步地，所述台体的底部连接有用于驱动台体转动的舵机，所述舵机与控制器
相连接
。
[0014]进一步地，所述上料辊道的下方靠近上料机械手处设有多个上料电动伸缩杆，所述上料电动伸缩杆与控制器相连接
。
[0015]进一步地，所述上料电动伸缩杆为四个并呈竖直设置
。
[0016]进一步地，所述下料辊道的下方靠近下料机械手处设有多个下料电动伸缩杆，所述下料电动伸缩杆与控制器相连接
。
[0017]进一步地，所述下料电动伸缩杆为四个并呈竖直设置
。
[0018]进一步地，所述上料机构
、
光刻机构
、
电池片调位机构和上料机构在光刻工作台周围呈矩形排布
。
[0019]本技术的有益效果在于：设置光刻工作台，通过上料结构将电池片片自动输送至光刻工作台，在光刻工作台上完成位置调整，提高光刻效果，同时设置光刻机构并在光刻机构上设置上曝光灯和下曝光灯对电池片的两面同时光刻，光刻效果好，正反面图形位置差异小，一次完成双面光刻，大大提高生产效率；全过程自动化，高效快捷，适合大批量生产
。
附图说明
[0020]图1为本技术的结构示意图；
[0021]图2为本技术光刻机构的结构示意图；
[0022]图3为本技术电池片调位机构的结构示意图；
[0023]图4为图1中
A
部的局部放大图；
[0024]图5为图1中
B
部的局部放大图；
[0025]图6为本技术的控制原理图；
[0026]图中，1‑
台体，2‑
舵机，3‑
曝光机对位平台，4‑
上料支架，5‑
上料辊道，6‑
上料机械手，7‑
上料电动伸缩杆，8‑
机架，9‑
对位显微镜，
10
‑
支架，
11
‑
上曝光灯，
12
‑
下曝光灯，
13
‑
光刻区，
14
‑
下料支架，
15
‑
下料辊道，
16
‑
下料机械手，
17
‑
控制器，
18
‑
下料电动伸缩杆
。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本技术做详细说明：
[0028]如图1‑6所示，一种太阳能电池片自动双面光刻机，包括光刻工作台和控制器
17
，光刻工作台的周围沿顺时针或逆时针方向依次设有上料机构
、
电池片调位机构
、
光刻机构和下料机构，上料机构
、
光刻机构
、
电池片调位机构和上料机构在光刻工作台周围呈矩形排布，本实施例中按照顺时针方向设置，具体地：
[0029]光刻工作台包括可转动的台体1，台体1为圆形结构，台体1的底部连接有用于驱动台体1转动的舵机2，舵机2可带动台体1转动，具体工作时舵机2可带动台体1每次转动
90
度，台体1的边沿处设有四个曝光机对位平台3，四个曝光机对位平台3呈矩形排布，并可随台体1转动，曝光机对位平台3采用现有常规宏鼎
XXY
‑
550
纠偏对位平台或全研
XXY/ XY
θ
电动平台即可，将电池片与卡盘放置于曝光机对位平台3然后即可通过光刻机构对电池片进行光刻，此外，曝光机对位平台3还可调整电池片与卡盘的位置，使得光刻位置更加精准，每个曝光机对位平台3分别与控制器
17
相连接，可通过控制器
17
进行控制
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种太阳能电池片自动双面光刻机，其特征在于，包括光刻工作台和控制器（
17
），所述光刻工作台的周围沿顺时针或逆时针方向依次设有上料机构
、
电池片调位机构
、
光刻机构和下料机构，具体地：所述光刻工作台包括可转动的台体（1），所述台体（1）的边沿处设有四个曝光机对位平台（2），所述曝光机对位平台（2）呈矩形排布并可随台体（1）转动；所述上料机构包括上料支架（4），所述上料支架（4）上沿上料支架（4）长度方向设有上料辊道（5），上料支架（4）长度方向的一端靠近光刻工作台处设有上料机械手（6）；所述电池片调位机构包括机架（8），所述机架（8）上设有多个对位显微镜（9）；所述光刻机构包括支架（
10
），所述支架（
10
）的上侧设有上曝光灯（
11
）
、
下侧设有下曝光灯（
12
），所述上曝光灯（
11
）和下曝光灯（
12
）之间形成光刻区（
13
）；所述下料机构包括下料支架（
14
），所述下料支架（
14
）上沿下料支架（
14
）长度方向设有下料辊道（
15
），下料支架（
14
）长度方向靠近光刻工作台一端设有下料机械手（
16
）；所述控制器（
17
）分别与曝光机对位平台（2）
、
上料辊道（5）
、
上料机械手（6）
、
对位显微镜（9）
、
上曝光灯...

【专利技术属性】
技术研发人员：文康，曹丽萍，张万财，马振华，
申请(专利权)人：平凉市老兵科技研发有限公司，
类型：新型
国别省市：