一种绷环真空吸盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种绷环真空吸盘,包括基础盘，所述基础盘的中部设有贯穿基础盘的通气孔，基础盘的顶部设有多个输气槽，所述输气槽与通气孔相连通，基础盘的上表面设有吸盘底座，所述吸盘底座的上表面中部设有吸附卡槽，吸盘底座的上表面沿吸盘底周向设有多个用于卡固绷环的卡固件，吸附卡槽上设有微孔陶瓷片。本实用新型专利技术通过负压真空的方式将粘贴有蓝膜的晶圆吸附固定并同时将绷环卡固，固定效果好且牢靠，无复杂气液结构，结构简单，相较于现有磁力方式，真空吸附方式拆卸简单，可便于装夹后进行调整。夹后进行调整。夹后进行调整。

【技术实现步骤摘要】
一种绷环真空吸盘


[0001]本技术属于半导体加工设备
，涉及一种绷环真空吸盘。

技术介绍

[0002]在目前的半导体产业中，单晶硅片制备成晶圆后，还需要通过背面减薄以及划片等诸多后道加工工序加工，才能最终制成可以使用的芯片。为了在这些后道加工工序中保护晶圆正面的光刻电路不受破坏，一般需要在晶圆的正面贴附一层特殊材料的蓝膜，而又因为蓝膜自身没有强度，所以还需要把蓝膜张紧在绷环上，以保证上机加工时有较好的平面用来装置晶圆。
[0003]市场上现有的相关设备，尤其是一些半自动的晶圆减薄机和划片机通常采用上表面内置永磁强磁体的真空吸盘，这种吸盘内置的强磁体能够充分地张紧绷环，但缺点是一旦吸附就不便调整绷环的位置，下片时，又不易手动分离。所以一种结构简单的，上下片方便、安全的，并能在上片时自动定位、调整位置的绷环吸盘就成为了本领域技术人员亟待解决的难题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于针对
技术介绍
中绷环吸附后不易调整的问题，提供一种使用方便，便于调节的绷环真空吸盘。
[0005]为此，本技术采取如下技术方案：
[0006]一种绷环真空吸盘,包括：
[0007]基础盘，所述基础盘的中部设有贯穿基础盘的通气孔，基础盘的顶部设有多个输气槽，所述通气孔与输气槽相连通；
[0008]吸盘底座，所述吸盘底座安装于基础盘的上表面，吸盘底座的上表面设有用于吸附晶圆的吸附卡槽；
[0009]多个卡固件，所述卡固件用于卡固绷环，卡固件设置于吸盘底座上表面并沿吸盘底座周向排布；
[0010]微孔陶瓷片，所述微孔陶瓷片设于吸附卡槽上。
[0011]进一步地，所述卡固件包括：
[0012]卡位槽，所述卡位槽沿吸盘底座径向设置；
[0013]滑块，所述滑块位于卡位槽内并可沿卡位槽长度方向移动；
[0014]卡板，所述卡板呈L形结构并设于滑块的顶部，卡板可随滑块移动；
[0015]进一步地，所述吸盘底座上设有多个输气孔，所述输气孔的底端与输气槽相连通，输气孔的顶端位于吸附卡槽内，卡位槽靠近吸盘底座的一端设有与输气孔相连通的吸孔，所述吸孔内设有活塞杆，所述活塞杆可在吸孔内移动，活塞杆与滑块相连接。
[0016]进一步地，所述滑块靠近活塞杆的一端和远离活塞杆的一端各设有一个缓冲垫。
[0017]进一步地，所述吸附卡槽的底部设有吸槽，所述输气孔与吸槽连通。
[0018]进一步地，所述吸盘底座的上表面设有凸台，所述吸附卡槽位于凸台内。
[0019]进一步地，所述吸盘底座上设有吸盘盖板，所述吸盘盖板上设有多个与卡位槽一一对应且呈矩形结构的第一过孔，吸盘盖板的中部设有与凸台相适配的第二过孔，所述凸台从第二过孔中穿过。
[0020]进一步地，所述吸盘盖板的上表面低于微孔陶瓷片的上表面。
[0021]本技术的有益效果在于：
[0022]（1）在吸盘底座上设置多个卡固件，通过卡固件装夹绷环，卡固件通过负压真空的方式带动卡板移动，进而将绷环卡固，固定效果好且牢靠，无复杂气液结构，结构简单，制造成本低廉；
[0023]（2）直接利用吸附晶圆的真空带动多个卡固件上的卡板同时移动，实现对绷环的夹紧，由于四个卡板同时移动，还可自动完成绷环的准确定位，定位效果好；
[0024]（3）相较于现有强磁力方式装夹绷环，本吸盘采用卡固件，绷环安装拆卸方便快捷，可便于在装夹时对绷环进行调整；
[0025]（4）操作方式简单便捷。
附图说明
[0026]图1为本技术的立体结构示意图；
[0027]图2为本技术的主视图；
[0028]图3为本技术吸盘底座的立体结构示意图；
[0029]图4为本技术基础盘的结构示意图；
[0030]图5为本技术滑块的立体结构示意图；
[0031]图中，1
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基础盘，2
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通气孔，3
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输气槽，4
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吸盘底座，5
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吸附卡槽，6
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凸台，7
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输气孔，8
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吸槽，801
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环形凹槽，802
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直线凹槽，9
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微孔陶瓷片，10
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卡固件，101
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卡位槽，102
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滑块，103
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卡板，104
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吸孔，105
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活塞杆，11
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缓冲垫，12
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吸盘盖板，13
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第一过孔，14
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第二过孔。
具体实施方式
[0032]下面结合附图对本技术做详细说明：
[0033]如图1
‑
5所示，一种绷环真空吸盘,包括基础盘1，基础盘1为圆形结构，基础盘1的中部设有贯穿基础盘通气孔2，在使用时需将通气孔2与真空泵相连接，基础盘1的顶部设有多个输气槽3，具体地，输气槽3呈米字形排布，通气孔2与输气槽3的中部相连通，基础盘1的上表面安装有吸盘底座4，吸盘底座4同样为圆形结构，吸盘底座4可通过螺栓等常规方式安装于基础盘1上，吸盘底座4的上表面设有用于吸附晶圆的吸附卡槽5，吸附卡槽5为圆形结构并与吸盘底座4呈同轴设置，可将贴好蓝膜的晶圆吸附固定在吸附卡槽5上便于加工，具体地，吸盘底座4的上表面设有与吸盘底座4同轴设置的圆形凸台6，吸附卡槽5位于凸台6内，吸盘底座2上设有多个与输气槽3相连通的输气孔7，输气孔7的顶端位于吸附卡槽3内，为了确保吸附效果，吸附卡槽3的底部设有吸槽8，输气孔7与吸槽8连通，具体地，吸槽8包括多个环形凹槽801和直线凹槽802，环形凹槽801为多个直径不同的同心圆，直线凹槽802呈米字形排布，直线凹槽802与环形凹槽801相连通，设置吸槽8可增加吸气面积，气体集中与
一处，同时还可防止吸气面积过大，降低压强，影响吸力，吸附卡槽3内的气体可通过吸槽8进入输气孔7，然后通过输气孔7进入输气槽3，最后从输气槽3进入通气孔2内，吸附卡槽3内还设有微孔陶瓷片9，使用时可将粘贴有晶圆的蓝膜放置于微孔陶瓷片9上并被微孔陶瓷片9吸附固定。
[0034]吸盘底座4上沿吸盘底座4周向设有多个卡固件10，本实施例中设置四个卡固件10，卡固件10用于卡固绷环，将绷环卡紧安装于吸盘底座4上，具体地，卡固件包括卡位槽101，卡位槽101为矩形结构，卡位槽101沿吸盘底座4径向设置，即卡位槽101长度方向的一端指向吸盘底座4的圆心处，卡位槽101内设有滑块102，滑块102可在卡位槽101内沿卡位槽101长度方向移动，滑块102的顶部设有呈L结构的卡板103，卡板103可随滑块102移动，通过卡板103的移动可将绷环夹持并定位，滑块102通过气压实现移动，具体地，卡位槽101内靠近吸附卡槽5的一端设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种绷环真空吸盘,其特征在于，包括：基础盘（1），所述基础盘（1）的中部设有贯穿基础盘（1）的通气孔（2），基础盘（1）的顶部设有多个输气槽（3），所述通气孔（2）与输气槽（3）相连通；吸盘底座（4），所述吸盘底座（4）安装于基础盘（1）的上表面，吸盘底座（4）的上表面设有用于吸附晶圆的吸附卡槽（5）；多个卡固件（10），所述卡固件（10）用于卡固绷环，卡固件（10）设置于吸盘底座（4）上表面并沿吸盘底座（4）周向排布；微孔陶瓷片（9），所述微孔陶瓷片（9）设于吸附卡槽（5）内。2.根据权利要求1所述的绷环真空吸盘,其特征在于，所述卡固件（10）包括：卡位槽（101），所述卡位槽（101）沿吸盘底座（4）径向设置；滑块（102），所述滑块（102）位于卡位槽（101）内并可沿卡位槽（101）长度方向移动；卡板（103），所述卡板（103）呈L形结构并设于滑块（102）的顶部，卡板（103）可随滑块（102）移动。3.根据权利要求2所述的一种绷环真空吸盘,其特征在于，所述吸盘底座（4）上设有多个输气孔（7），所述输气孔（7）的底端与输气槽（3）相连通，输气孔（7）的顶端位于吸附卡槽（5）内，卡位槽（101）靠近吸盘底座（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：马振华，张万财，曹丽萍，文康，
申请(专利权)人：平凉市老兵科技研发有限公司，
类型：新型
国别省市：