双远心光刻镜头和光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种双远心光刻镜头和光刻装置，双远心光刻镜头包括光阑

【技术实现步骤摘要】
双远心光刻镜头和光刻装置


[0001]本技术涉及光学领域，尤其涉及双远心光刻镜头和光刻装置
。

技术介绍

[0002]随着国内微纳加工行业的不断发展，对于无掩膜紫外宽波段双远心光刻镜头的需求日益增加
。
相比传统镜头，这种镜头无需使用菲林，具有更高的效率，并且可以兼容更宽的紫外波段，从而满足了
PCB
行业全线的需求
。
[0003]然而，目前国内紫外宽波段双远心光刻镜头的设计和制造起步较晚，存在多个问题
。
其中，系统透过率较低
、
耐紫外衰减较差
、
公差严格等问题是比较普遍的
。
此外，由于增大光源入射功率，系统热量升高，导致系统曝光焦面漂移，进而使镜头性能大幅衰减，这是一个更为严重的问题
。
这不仅降低了制造效率，还可能导致系统无法继续工作
。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提出一种双远心光刻镜头和光刻装置，旨在解决上述同类镜头在光源功率升高系统温度上升带来的焦面热漂移导致性能大幅衰减的困难问题
。
[0005]为实现上述目的，本技术提出的一种双远心光刻镜头，所述双远心光刻镜头具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述双远心光刻镜头包括光阑
、
以及自物侧至像侧依次设置的多个透镜，位于所述光阑靠近所述物侧的一侧的多个所述透镜构成前组光学系统，位于所述光阑靠近所述像侧的一侧的多个所述透镜构成后组光学系统，所述前组光学系统和所述后组光学系统形成双远心光路，在所述多个透镜的曲率间隔和折射率随所述双远心光刻镜头的温度变化而变化时，通过所述多个透镜之间的曲率半径
、
厚度和折射率的设置与相互搭配，以使得所述双远心光刻镜头的焦平面始终处于初始位置
。
[0006]可选地，所述前组光学系统的焦距设置为
73.8mm
，所述后组光学系统的焦距设置为
211.7mm。
[0007]可选地，所述双远心光刻镜头的共轭距为
550mm
，物侧工作距为
73.66mm
，曝光工作距为
135mm。
[0008]可选地，所述多个透镜包括自物侧至像侧依次排布的第一透镜
、
第二透镜
、
第三透镜
、
第四透镜
、
第五透镜
、
第六透镜
、
第七透镜
、
第八透镜
、
第九透镜
、
第十透镜
、
第十一透镜
、
第十二透镜和第十三透镜；
[0009]所述第一透镜和所述第二透镜构成第一镜组；
[0010]所述第三透镜
、
所述第四透镜
、
所述第五透镜
、
所述第六透镜
、
所述第七透镜
、
所述第八透镜
、
所述第九透镜
、
所述第十透镜
、
所述第十一透镜和所述第十二透镜构成第二镜组；
[0011]所述第十三透镜构成第三镜组
。
[0012]可选地，所述第一透镜和所述第二透镜的光焦度均为正；
[0013]所述第三透镜
、
所述第七透镜
、
所述第九透镜和所述第十透镜的光焦度均为负，所
述第四透镜
、
所述第五透镜
、
所述第六透镜
、
所述第八透镜
、
所述第十一透镜和所述第十二透镜的光焦度均为正；
[0014]所述第十三透镜的光焦度均为正
。
[0015]可选地，所述第一透镜的物侧面的曲率半径为
R1
，像侧面的曲率半径为
R2
，其中，
481.636mm≤R1≤487.636mm
，
‑
115.974mm≤R2≤
‑
109.974mm
；
[0016]所述第二透镜的物侧面的曲率半径为
R3
，像侧面的曲率半径为
R4
，其中，
58.953mm≤R3≤64.953mm
，
304.8mm≤R4≤310.8mm
；
[0017]所述第三透镜的物侧面的曲率半径为
R5
，像侧面的曲率半径为
R6
，其中，
‑
69.467mm≤R5≤
‑
63.467mm
，
41.34mm≤R6≤47.34mm
；
[0018]所述第四透镜的物侧面的曲率半径为
R7
，像侧面的曲率半径为
R8
，其中，
26.041mm≤R7≤32.041mm
，
‑
464.775≤R8≤
‑
458.775mm
；
[0019]所述第五透镜的物侧面的曲率半径为
R9
，像侧面的曲率半径为
R10
，其中，
47.753mm≤R9≤41.753mm
，
‑
199.22mm≤R10≤
‑
193.22mm
；
[0020]所述第六透镜的物侧面的曲率半径为
R11
，像侧面的曲率半径为
R12
，其中，
44.964mm≤R11≤50.964mm
，
‑
55.551mm≤R12≤
‑
49.551mm
；
[0021]所述第七透镜的物侧面的曲率半径为
R13
，像侧面的曲率半径为
R14
，其中，
‑
42.855mm≤R13≤
‑
36.855mm
，
20.624mm≤R14≤26.624mm
；
[0022]所述第八透镜的物侧面的曲率半径为
R15
，像侧面的曲率半径为
R16
，其中，
20.915mm≤R15≤26.915mm
，
‑
48.706mm≤R16≤
‑
42.706mm
；
[0023]所述第九透镜的物侧面的曲率半径为
R17
，像侧面的曲率半径为
R18
，其中，
‑
40.954mm≤R17≤
‑
34.954mm
，
61.131mm≤R18≤67.131mm
；
[0024]所述第十透镜的物侧面的曲率半径为
R19
，像本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种双远心光刻镜头，其特征在于，所述双远心光刻镜头具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述双远心光刻镜头包括光阑
、
以及自物侧至像侧依次设置的多个透镜，位于所述光阑靠近所述物侧的一侧的多个所述透镜构成前组光学系统，位于所述光阑靠近所述像侧的一侧的多个所述透镜构成后组光学系统，所述前组光学系统和所述后组光学系统形成双远心光路，在所述多个透镜的曲率间隔和折射率随所述双远心光刻镜头的温度变化而变化时，通过所述多个透镜之间的曲率半径
、
厚度和折射率的设置与相互搭配，以使得所述双远心光刻镜头的焦平面始终处于初始位置
。2.
如权利要求1所述的双远心光刻镜头，其特征在于，所述前组光学系统的焦距设置为
73.8mm
，所述后组光学系统的焦距设置为
211.7mm。3.
如权利要求2所述的双远心光刻镜头，其特征在于，所述双远心光刻镜头的共轭距为
550mm
，物侧工作距为
73.66mm
，曝光工作距为
135mm。4.
如权利要求1所述的双远心光刻镜头，其特征在于，所述多个透镜包括自物侧至像侧依次排布的第一透镜
、
第二透镜
、
第三透镜
、
第四透镜
、
第五透镜
、
第六透镜
、
第七透镜
、
第八透镜
、
第九透镜
、
第十透镜
、
第十一透镜
、
第十二透镜和第十三透镜；所述第一透镜和所述第二透镜构成第一镜组；所述第三透镜
、
所述第四透镜
、
所述第五透镜
、
所述第六透镜
、
所述第七透镜
、
所述第八透镜
、
所述第九透镜
、
所述第十透镜
、
所述第十一透镜和所述第十二透镜构成第二镜组；所述第十三透镜构成第三镜组
。5.
如权利要求4所述的双远心光刻镜头，其特征在于，所述第一透镜和所述第二透镜的光焦度均为正；所述第三透镜
、
所述第七透镜
、
所述第九透镜和所述第十透镜的光焦度均为负，所述第四透镜
、
所述第五透镜
、
所述第六透镜
、
所述第八透镜
、
所述第十一透镜和所述第十二透镜的光焦度均为正；所述第十三透镜的光焦度均为正
。6.
如权利要求4所述的双远心光刻镜头，其特征在于，所述第一透镜的物侧面的曲率半径为
R1
，像侧面的曲率半径为
R2
，其中，
481.636mm≤R1≤487.636mm
，
‑
115.974mm≤R2≤
‑
109.974mm
；所述第二透镜的物侧面的曲率半径为
R3
，像侧面的曲率半径为
R4
，其中，
58.953mm≤R3≤64.953mm
，
304.8mm≤R4≤310.8mm
；所述第三透镜的物侧面的曲率半径为
R5
，像侧面的曲率半径为
R6
，其中，
‑
69.467mm≤R5≤
‑
63.467mm
，
41.34mm≤R6≤47.34mm
；所述第四透镜的物侧面的曲率半径为
R7
，像侧面的曲率半径为
R8
，其中，
26.041mm≤R7≤32.041mm
，
‑
464.775≤R8≤
‑
458.775mm
；所述第五透镜的物侧面的曲率半径为
R9
，像侧面的曲率半径为
R10
，其中，
47.753mm≤R9≤41.753mm
，
‑
199.22mm≤R10≤
‑
193.22mm
；所述第六透镜的物侧面的曲率半径为
R11
，像侧面的曲率半径为
R12
，其中，
44.964mm≤R11≤50.964mm
，
‑
55.551mm≤R12≤
‑
49.551mm
；所述第七透镜的物侧面的曲率半径为
R13
，像侧面的曲率半径为
R14
，其中，
‑
42.855mm≤R13≤
‑
36.855mm
，
20.624mm≤R14≤26.624mm
；
所述第八透镜的物侧面的曲率半径为
R15
，像侧面的曲率半径为
R16
，其中，
20.915mm≤R15≤26.915mm
，
‑
48.706mm≤R16≤
‑
42.706mm
；所述第九透镜的物侧面的曲率半径为
R17
，像侧面的曲率半径为
R18
，其中，
‑
40.954mm≤R17≤
‑
34.954mm
，
61.131mm≤R18≤67.131mm
；所述第十透镜的物侧面的曲率半径为
R19
，像侧面的曲率半径为
R20
，其中，
‑
18.951mm≤R19≤
‑
12.951mm
，
‑
404.829mm≤R20≤
‑
398.829mm
；所述第十一透镜的物侧面的曲率半径为
R21
，像侧面的曲率半径为
R22
，其中，
‑
104.801mm≤R21≤
‑
98.801mm
，
...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊凯，朱红伟，邱盛平，
申请(专利权)人：成都联江科技有限公司，
类型：新型
国别省市：