【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件，尤其涉及显微镜。
技术介绍
1、现阶段，在半导体
，随着集成电路和芯片制造工艺的不断进步，需要高分辨率、高精度的显微镜系统来观察和检测芯片上微小结构和缺陷。套筒透镜作为光学系统中至关重要的关键部件，能够帮助实现更优越的光学性能和图像质量。
2、目前，国内大多数套筒透镜采用胶合透镜的设计。然而当使用高相干光源时，胶合层容易形成干涉现象。在引入其他光学系统后，很容易在像面产生干涉条纹，从而干扰显微镜系统的检测结果，影响成像质量。与此同时，设计无胶合透镜的套筒透镜也存在一些挑战。主要体现在两个关键指标：场曲和公差良率。无胶合透镜的设计在追求无干涉问题的优势的同时，往往会面临场曲和公差良率大幅下降的问题。这导致设计出的无胶合透镜的套筒透镜性能可能不如之前含胶合的套筒透镜，而且很难在设计中兼顾这两个指标，造成较大的困难。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的是提出一种显微镜，旨在解决目前的同类技术在套筒透镜设计方面存在干涉条纹以及场曲和公差问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提出的一种显微镜，所述显微镜具有沿光轴呈相对设置的物侧和像侧，所述显微镜包括镜筒、以及设于所述镜筒内的光学系统，所述光学系统包括沿光轴依次间隔设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为弯月透镜，所述第二透镜的凹面朝向所述物侧，所述第三透镜为凸凹透镜，所述第四透镜为双凹透镜，所述第一透镜的光焦度为正，所述第三透镜的光焦度为正
3、可选地，所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜和所述第四透镜均为玻璃球面透镜。
4、可选地，所述第一透镜朝向所述物侧的端面的半径为r1，朝向所述像侧的端面的半径为r2，35.9056mm≤r1≤45.9056mm，-133.8642mm≤r2≤-123.8642mm；
5、所述第二透镜朝向所述物侧的端面的半径为r3，朝向所述像侧的端面的半径为r4，-71.7012mm≤r3≤-61.7012mm，-71.7012mm≤r4≤-61.7012mm；
6、所述第三透镜朝向所述物侧的端面的半径为r5，朝向所述像侧的端面的半径为r6，57.3mm≤r5≤67.3mm，453.9578mm≤r6≤463.9578mm；
7、所述第四透镜朝向所述物侧的端面的半径为r7，朝向所述像侧的端面的半径为r8，-111.4437mm≤r7≤-101.4437mm，27.2729mm≤r8≤37.2729mm。
8、可选地，所述第一透镜朝向所述物侧的端面的中心距为d1，朝向所述像侧的端面的中心距为d2，5.75mm≤d1≤7.75mm，1.0mm≤d2≤2.0mm；
9、所述第二透镜朝向所述物侧的端面的中心距为d3，朝向所述像侧的端面的中心距为d4，7.27mm≤d3≤9.27mm，0.09mm≤d4≤0.11mm；
10、所述第三透镜朝向所述物侧的端面的中心距为d5，朝向所述像侧的端面的中心距为d6，3.45mm≤d5≤5.45mm，1.0mm≤d6≤2.0mm；
11、所述第四透镜朝向所述物侧的端面的中心距为d7，朝向所述像侧的端面的中心距为d8，1.0mm≤d7≤2.0mm，2.92mm≤d8≤4.92mm。
12、可选地，所述第一透镜的折射率为n1，1.4≤n1≤1.5；
13、所述第二透镜的折射率为n2，1.73≤n2≤1.83；
14、所述第三透镜的折射率为n3，1.54≤n3≤1.64；
15、所述第二透镜的折射率为n4，1.47≤n4≤1.57。
16、可选地，所述显微镜的入瞳到像面的距离为s，253mm≤s≤353mm。
17、可选地，所述显微镜的入瞳与所述第一透镜靠近所述物侧的端面之间的入瞳距为s1，70mm≤s1≤170mm。
18、可选地，所述第三透镜靠近所述像侧的端面与像面之间的后焦距为bfl，140mm≤bfl≤170mm。
19、可选地，所述光学系统的光学总长为ttl，20mm≤ttl≤30mm。
20、可选地，所述光学系统的入瞳直径设置为d1，10mm≤d1≤30mm；和/或，
21、所述光学系统的像侧的孔径设置为na，0.04≤na≤0.06；和/或，
22、所述光学系统的像面口径设置为d2，20mm≤d2≤25mm。
23、本专利技术提供的技术方案中，所述显微镜的所述镜筒内间隔设置有所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜和所述第四透镜，四个透镜采用单片玻璃透镜，避免传统胶合透镜中可能产生的干涉条纹的问题，并且对场曲进行了优化，使得像面比较平坦，通过搭配合适的物镜系统，便于观察和检测微小结构和缺陷，以解决目前的同类技术在套筒透镜设计方面存在干涉条纹以及场曲和公差问题。
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1.一种显微镜，其特征在于，所述显微镜具有沿光轴呈相对设置的物侧和像侧，所述显微镜包括镜筒、以及设于所述镜筒内的光学系统，所述光学系统包括沿光轴依次间隔设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为弯月透镜，所述第二透镜的凹面朝向所述物侧，所述第三透镜为凸凹透镜，所述第四透镜为双凹透镜，所述第一透镜的光焦度为正，所述第三透镜的光焦度为正，所述第四透镜的光焦度为负。
2.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜和所述第四透镜均为玻璃球面透镜。
3.如权利要求2所述的显微镜，其特征在于，所述第一透镜朝向所述物侧的端面的半径为R1，朝向所述像侧的端面的半径为R2，35.9056mm≤R1≤45.9056mm，-133.8642mm≤R2≤-123.8642mm；
4.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述第一透镜朝向所述物侧的端面的中心距为d1，朝向所述像侧的端面的中心距为d2，5.75mm≤d1≤7.75mm，1.0mm≤d2≤2.0mm；
5.如权利要求1
6.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜的入瞳到像面的距离为S，253mm≤S≤353mm。
7.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜的入瞳与所述第一透镜靠近所述物侧的端面之间的入瞳距为S1，70mm≤S1≤170mm。
8.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述第三透镜靠近所述像侧的端面与像面之间的后焦距为BFL，140mm≤BFL≤170mm。
9.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述光学系统的光学总长为TTL，20mm≤TTL≤30mm。
10.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述光学系统的入瞳直径设置为D1，10mm≤D1≤30mm；和/或，
...【技术特征摘要】
1.一种显微镜，其特征在于，所述显微镜具有沿光轴呈相对设置的物侧和像侧，所述显微镜包括镜筒、以及设于所述镜筒内的光学系统，所述光学系统包括沿光轴依次间隔设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为弯月透镜，所述第二透镜的凹面朝向所述物侧，所述第三透镜为凸凹透镜，所述第四透镜为双凹透镜，所述第一透镜的光焦度为正，所述第三透镜的光焦度为正，所述第四透镜的光焦度为负。
2.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜和所述第四透镜均为玻璃球面透镜。
3.如权利要求2所述的显微镜，其特征在于，所述第一透镜朝向所述物侧的端面的半径为r1，朝向所述像侧的端面的半径为r2，35.9056mm≤r1≤45.9056mm，-133.8642mm≤r2≤-123.8642mm；
4.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述第一透镜朝向所述物侧的端面的中心距为d1...
【专利技术属性】
技术研发人员：樊凯，朱红伟，邱盛平，
申请(专利权)人：成都联江科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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