【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻设备领域，具体涉及一种基于光伏电池片的高精对位装置。
技术介绍
1、太阳能电池的掩膜图形化方案大都采用光刻、显影工艺来完成，而光刻工艺一般是采用掩膜版以及相应的光刻设备进行曝光。曝光机一般的加工过程：旋转平台转动光伏电池片到对准系统下，对准系统的相机采用抓点对位或抓边对位的方式确定光伏电池片的位置数据，并将其传输到后端，后端据此移动设置在曝光机放置有光照系统的运动平台，将需要曝光的图案曝光在电池片所需的位置。
2、现有光刻设备中的相机对准方式有两种：一是抓边对位，即相机抓取整个电池片的图像，识别图像边缘从而确定光伏电池片的位置，实现高精对位；二是抓点对位，即相机抓取光伏电池片上的mark点，通过识别mark点实现高精对位。但本专利技术申请人在实现现有实施例专利技术技术方案时，发现上述技术存在以下问题：同一台曝光机在不改变对准系统的相机的位置或种类的情况下，无法做到抓边对位和抓点对位根据生产要求切换。
3、此外，即使对准系统的相机能够识别到光伏电池片的边界和mark点，依据现有光刻设备中对准系统抓边对...
【技术保护点】
1.一种基于光伏电池片的高精对位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精对位装置，其特征在于，所述支架板(10)在Y方向可调节，所述对位组件(20)在X、Y方向可调节。
3.根据权利要求1所述的高精对位装置，其特征在于，所述第一竖直相机(21)、所述第二竖直相机(22)、所述第三竖直相机(23)从所述支架板(10)一侧向远离所述镜头的方向皆依次放置有：
4.根据权利要求3所述的高精对位装置，其特征在于，所述抱箍(213)形成有一定高度，所述抱箍(213)用于放置所述内置相机(217)以及调整所述内置相机(217)镜头距...
【技术特征摘要】
1.一种基于光伏电池片的高精对位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精对位装置，其特征在于，所述支架板(10)在y方向可调节，所述对位组件(20)在x、y方向可调节。
3.根据权利要求1所述的高精对位装置，其特征在于，所述第一竖直相机(21)、所述第二竖直相机(22)、所述第三竖直相机(23)从所述支架板(10)一侧向远离所述镜头的方向皆依次放置有：
4.根据权利要求3所述的高精对位装置，其特征在于，所述抱箍...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝世君，白同正，张浩为，武林，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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