一种金属蒸镀机的电子枪遮件制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属蒸镀机的电子枪遮件，包括遮挡主板和遮挡翼；所述遮挡主板相对的两侧边上设置有遮挡翼，所述遮挡主板上设置有电子束避让缺口；所述遮挡翼与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接，所述遮挡翼远离遮挡主板的一端设置有朝向所述金属蒸镀机的电子枪的线圈方向延伸的侧挡板。本实用新型专利技术在金属蒸镀机的电子枪前增设遮挡主板，由遮挡主板阻挡蒸发材料从正面掉落在金属蒸镀机的电子枪上，由遮挡翼的侧挡板阻挡蒸发材料从掉落在金属蒸镀机的电子枪的线圈附近，并且遮挡主板利用电子束避让缺口能够保证金属蒸镀机的电子枪射出的电子束能够正常进入到磁场中进行偏转。束能够正常进入到磁场中进行偏转。束能够正常进入到磁场中进行偏转。

【技术实现步骤摘要】
一种金属蒸镀机的电子枪遮件


[0001]本技术涉及气相沉积设备
，尤其涉及一种金属蒸镀机的电子枪遮件。

技术介绍

[0002]金属蒸镀机是采用真空电子束蒸镀技术，在高真空条件下，利用电子束轰击蒸发材料表面，使蒸发材料汽化并在衬底上凝结形成薄膜。金属蒸镀机的电子枪射出的电子束是依靠磁场使电子束偏转，从而将电子束轰击在蒸发材料表面上。然而目前操作人员在添加蒸发材料时，存在蒸发材料掉落在电子枪的线圈附近的风险。尤其是针对一些具有磁性的蒸发材料，这些附着在电子枪的线圈的蒸发材料会干扰磁场，进而影响电子束的偏转角度，使得电子束难以有效轰击蒸发材料，从而降低蒸发效率。严重时可能会偏移轰击到金属蒸镀机自身造成设备损坏和产品污染。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种金属蒸镀机的电子枪遮件，能够降低蒸发材料附着在电子枪上的风险。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种金属蒸镀机的电子枪遮件，包括遮挡主板和遮挡翼；所述遮挡主板相对的两侧边上设置有遮挡翼，所述遮挡主板上设置有电子束避让缺口；所述遮挡翼与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接，所述遮挡翼远离遮挡主板的一端设置有朝向所述金属蒸镀机的电子枪的线圈方向延伸的侧挡板。
[0005]进一步地，所述遮挡翼还包括连接板和安装板；所述连接板的一端与遮挡主板连接，所述安装板的一端与连接板远离遮挡主板的一端连接，所述安装板上设置有用于与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接的装配孔，所述安装板远离连接板的一端与侧挡板连接。
[0006]所述侧挡板远离安装板的一端朝向连接板方向倾斜，所述侧挡板与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架抵接。
[0007]进一步地，所述遮挡主板远离所述金属蒸镀机的电子枪的一端面上设置有防镀板。
[0008]进一步地，所述防镀板与遮挡翼的高度比为1:1.5～2。
[0009]本技术的有益效果在于：在金属蒸镀机的电子枪前增设遮挡主板，由遮挡主板阻挡蒸发材料从正面掉落在金属蒸镀机的电子枪上，由遮挡翼的侧挡板阻挡蒸发材料从掉落在金属蒸镀机的电子枪的线圈附近，并且遮挡主板利用电子束避让缺口能够保证金属蒸镀机的电子枪射出的电子束能够正常进入到磁场中进行偏转。
附图说明
[0010]图1为本技术在具体实施方式的一种金属蒸镀机的电子枪遮件的结构示意图；
[0011]图2为本技术在具体实施方式的一种金属蒸镀机的电子枪遮件的俯视结构示意图；
[0012]标号说明：
[0013]1、遮挡主板；11、电子束避让缺口；12、防镀板；
[0014]2、遮挡翼；21、连接板；22、安装板；221、装配孔；
[0015]3、侧挡板。
具体实施方式
[0016]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0017]由于操作人员在添加蒸发材料时，存在蒸发材料掉落在电子枪的线圈附近的风险。尤其是针对一些具有磁性的蒸发材料，这些附着在电子枪的线圈的蒸发材料会干扰磁场，进而影响电子束的偏转角度，使得电子束难以有效轰击蒸发材料，从而降低蒸发效率。严重时可能会偏移轰击到金属蒸镀机自身造成设备损坏和产品污染。
[0018]基于此，本申请提供一种金属蒸镀机的电子枪遮件，能够降低蒸发材料附着在电子枪上的风险。
[0019]请参照图1和图2所示，本技术一种金属蒸镀机的电子枪遮件，包括遮挡主板1和遮挡翼2；所述遮挡主板1相对的两侧边上设置有遮挡翼2，所述遮挡主板1上设置有电子束避让缺口11；所述遮挡翼2与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接，所述遮挡翼2远离遮挡主板1的一端设置有朝向所述金属蒸镀机的电子枪的线圈方向延伸的侧挡板3。操作人员在添加蒸发材料时，由遮挡主板1阻挡蒸发材料从正面掉落在金属蒸镀机的电子枪上，由遮挡翼2的侧挡板3阻挡蒸发材料从掉落在金属蒸镀机的电子枪的线圈附近，并且遮挡主板1利用电子束避让缺口11能够保证金属蒸镀机的电子枪射出的电子束能够正常进入到磁场中进行偏转。
[0020]一种实施例中，请参照图1和图2所示，所述遮挡翼2包括连接板21和安装板22；所述连接板21的一端与遮挡主板1连接，所述安装板22的一端与连接板21远离遮挡主板1的一端连接，所述安装板22上设置有用于与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接的装配孔221，所述安装板22远离连接板21的一端与侧挡板3连接。由安装板22上的装配孔221能够使遮挡翼2固定在蒸镀机的电子枪的安装架上。
[0021]可选地，所述侧挡板3远离安装板22的一端朝向连接板21方向倾斜，所述侧挡板3与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架抵接。让侧挡板3抵接在金属蒸镀机的电子枪的安装架上，能够进一步的提升侧挡板3的遮挡效果，以防止蒸发材料从侧挡板3与金属蒸镀机的电子枪的安装架之间的缝隙处附着到金属蒸镀机的电子枪的线圈附近。
[0022]一种实施例中，请参照图1和图2所示，所述遮挡主板1远离所述金属蒸镀机的电子枪的一端面上设置有防镀板12。金属蒸镀机在作业过程中，利用防镀板12防止蒸发材料蒸镀到遮挡主板1上，而干扰电子束的偏转。
[0023]具体地，所述防镀板12与遮挡翼2的高度比为1:1.5～2。防镀板12的高度低于遮挡翼2的高度，不仅防止蒸发材料蒸镀到遮挡主板1上，而且操作人员在添加蒸发材料时，防镀板12不会与操作人员的手臂发生碰触。
[0024]实施例一
[0025]一种金属蒸镀机的电子枪遮件，请参照图1和图2所示，包括遮挡主板1和遮挡翼2；所述遮挡主板1相对的两侧边上设置有遮挡翼2，所述遮挡主板1上设置有电子束避让缺口11；所述遮挡翼2包括连接板21和安装板22；所述连接板21的一端与遮挡主板1连接，所述安装板22的一端与连接板21远离遮挡主板1的一端连接，所述安装板22上设置有用于与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接的装配孔221，所述安装板22远离连接板21的一端与侧挡板3连接，所述侧挡板3朝向所述金属蒸镀机的电子枪的线圈方向延伸。所述侧挡板3远离安装板22的一端朝向连接板21方向倾斜，所述侧挡板3与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架抵接。所述遮挡主板1远离所述金属蒸镀机的电子枪的一端面上设置有防镀板12。所述防镀板12与遮挡翼2的高度比为1:1.5。
[0026]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属蒸镀机的电子枪遮件，其特征在于：包括遮挡主板和遮挡翼；所述遮挡主板相对的两侧边上设置有遮挡翼，所述遮挡主板上设置有电子束避让缺口；所述遮挡翼与所述金属蒸镀机的电子枪的安装架连接，所述遮挡翼远离遮挡主板的一端设置有朝向所述金属蒸镀机的电子枪的线圈方向延伸的侧挡板。2.根据权利要求1所述金属蒸镀机的电子枪遮件，其特征在于：所述遮挡翼包括连接板和安装板；所述连接板的一端与遮挡主板连接，所述安装板的一端与连接板远离遮挡主板的一端连接，所述安装板上设置有用于与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：林亮，陈之峰，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：