本实用新型专利技术涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，包括遮挡板和安装支架；所述遮挡板的底面沿轮廓边沿朝向所述真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁，所述挡壁远离遮挡板的一端设置有斜向外的翻边；所述安装支架具有一装配端，所述装配端与遮挡板的顶面连接。本实用新型专利技术在遮挡板的底面沿轮廓边沿朝向真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁，并且挡壁上斜向外的翻边，利用翻边增大遮挡板的收集面积，使得遮挡板能够远离蒸发材料，且不会影响遮挡板的遮挡效果，同时还降低了蒸发材料附近高温对遮挡板上附着的材料薄膜的影响。材料薄膜的影响。材料薄膜的影响。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的预熔遮挡装置
[0001]本技术涉及气相沉积设备
，尤其涉及一种真空镀膜机的预熔遮挡装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机应用于需要在较高真空度下进行的镀膜。其中采用电子枪加热蒸发的真空镀膜机由于需要对蒸发材料进行预熔，以保证镀膜时，蒸发材料的蒸发速率达到要求。在预熔蒸发材料的过程中，会设置遮挡板防止材料蒸发附着到目标物的表面，从而避免目标物镀膜后出现膜层厚度异常。然而为了防止材料绕过遮挡板附着到目标物的表面，遮挡板与蒸发材料之间的距离只有8cm，而遮挡板在长时间多次预熔遮挡后，遮挡板的表面会附着较多的材料薄膜，进而使得在高温预熔蒸发材料的同时，遮挡板上附着的材料薄膜受高温影响会发生脱落，导致污染蒸发材料。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，在保证遮挡材料的同时，能够增大遮挡板与蒸发材料之间的距离，从而降低高温对遮挡板上附着的材料薄膜影响。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，包括遮挡板和安装支架；所述遮挡板的底面沿轮廓边沿朝向所述真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁，所述挡壁远离遮挡板的一端设置有斜向外的翻边；所述安装支架具有一装配端，所述装配端与遮挡板的顶面连接。
[0005]进一步地，所述翻边与挡壁之间的夹角为130
°
～140
°
。
[0006]进一步地，所述翻边与挡壁的长度比为1:1.5～2。
[0007]进一步地，上述一种真空镀膜机的预熔遮挡装置还包括调节机构，所述调节机构具有调节端和活动端，所述调节端设置在所述安装支架的装配端上，所述活动端与遮挡板的顶面连接，所述活动端的移动方向为竖直方向。
[0008]进一步地，所述调节机构包括螺丝和螺纹连接在螺丝的螺杆上的螺纹筒，所述螺丝转动设置在所述安装支架的装配端上，所述螺纹筒设置在遮挡板的顶面。
[0009]进一步地，所述螺纹筒在螺丝上移动的最高点至螺纹筒在螺丝上移动的最低点的距离为8.5mm～9mm。
[0010]本技术的有益效果在于：遮挡板通过安装支架设置在真空镀膜机上，在遮挡板的底面沿轮廓边沿朝向真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁，并且挡壁上斜向外的翻边，利用翻边增大遮挡板的收集面积，使得遮挡板能够远离蒸发材料，且不会影响遮挡板的遮挡效果，同时还降低了蒸发材料附近高温对遮挡板上附着的材料薄膜的影响。
附图说明
[0011]图1为本技术在具体实施方式的一种真空镀膜机的预熔遮挡装置的结构示意图；
[0012]图2为本技术在具体实施方式的一种真空镀膜机的预熔遮挡装置的遮挡板剖面结构示意图；
[0013]标号说明：
[0014]1、遮挡板；11、挡壁；
[0015]2、安装支架；3、翻边；
[0016]4、调节机构；41、螺丝；42、螺纹筒。
具体实施方式
[0017]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0018]由于遮挡板与蒸发材料之间的距离较近，而遮挡板在长时间多次预熔遮挡后，遮挡板的表面会附着较多的材料薄膜，进而使得在高温预熔蒸发材料的同时，遮挡板上附着的材料薄膜受高温影响会发生脱落，导致污染蒸发材料。
[0019]基于此，本申请提供一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，能够降低遮挡板上附着的材料薄膜脱落的风险。
[0020]请参照图1和图2所示，本技术一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，包括遮挡板1和安装支架2；所述遮挡板1的底面沿轮廓边沿朝向所述真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁11，所述挡壁11远离遮挡板1的一端设置有斜向外的翻边3；所述安装支架2具有一装配端，所述装配端与遮挡板1的顶面连接。在遮挡板1的底面沿轮廓边沿朝向真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁11，并且挡壁11上斜向外的翻边3，利用翻边3增大遮挡板1的收集面积，使得遮挡板1能够远离蒸发材料，且不会影响遮挡板1的遮挡效果，同时还降低了蒸发材料附近高温对遮挡板1上附着的材料薄膜的影响。
[0021]具体地，所述翻边3与挡壁11之间的夹角为130
°
～140
°
。优选地，翻边3与挡壁11之间的夹角为135
°
。
[0022]具体地，所述翻边3与挡壁11的长度比为1:1.5～2。优选地，翻边3与挡壁11的长度比为1:2。
[0023]一种实施例中，请参照图1和图2所示，一种真空镀膜机的预熔遮挡装置还包括调节机构4，所述调节机构4具有调节端和活动端，所述调节端设置在所述安装支架2的装配端上，所述活动端与遮挡板1的顶面连接，所述活动端的移动方向为竖直方向。利用调节机构4能够适当的调节遮挡板1在安装支架2上的安装高度，使遮挡板1的使用更佳灵活。
[0024]可选地，所述调节机构4包括螺丝41和螺纹连接在螺丝41的螺杆上的螺纹筒42，所述螺丝41转动设置在所述安装支架2的装配端上，所述螺纹筒42设置在遮挡板1的顶面。其中，优先地，所述螺纹筒42在螺丝41上移动的最高点至螺纹筒42在螺丝41上移动的最低点的距离为9mm。通过转动螺丝41能够使得螺纹筒42携带遮挡板1沿螺丝41的螺杆长度方向上移动，从而微调遮挡板1在安装支架2上的安装高度。
[0025]本技术一种真空镀膜机的预熔遮挡装置的应用场景：在进行预熔蒸发材料
时，在遮挡板1的底面沿轮廓边沿朝向真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁11，并且挡壁11上斜向外的翻边3，利用翻边3增大遮挡板1的收集面积，使得遮挡板1能够远离蒸发材料，且不会影响遮挡板1的遮挡效果，同时还降低了蒸发材料附近高温对遮挡板1上附着的材料薄膜的影响。
[0026]实施例一
[0027]一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，请参照图1和图2所示，包括遮挡板1和安装支架2；所述遮挡板1的底面沿轮廓边沿朝向所述真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁11，所述挡壁11远离遮挡板1的一端设置有斜向外的翻边3；所述安装支架2具有一装配端，所述装配端与遮挡板1的顶面连接。所述翻边3与挡壁11之间的夹角为135
°
。所述翻边3与挡壁11的长度比为1:2。还包括调节机构4，所述调节机构4具有调节端和活动端，所述调节端设置在所述安装支架2的装配端上，所述活动端与遮挡板1的顶面连接，所述活动端的移动方向为竖直方向。所述调节机构4包括螺丝41和螺纹连接在螺丝41的螺杆上的螺纹筒42，所述螺丝41转动设置在所述安装支架2的装配端上，所述螺纹筒42设置在遮挡板1的顶面。所述螺纹筒42在螺丝41上移动的最高点至螺纹筒42在螺丝41上移动的最低点的距离为9mm。
[0028]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的预熔遮挡装置，其特征在于：包括遮挡板和安装支架；所述遮挡板的底面沿轮廓边沿朝向所述真空镀膜机的蒸发材料方向延伸有挡壁，所述挡壁远离遮挡板的一端设置有斜向外的翻边；所述安装支架具有一装配端，所述装配端与遮挡板的顶面连接。2.根据权利要求1所述真空镀膜机的预熔遮挡装置，其特征在于：所述翻边与挡壁之间的夹角为130
°
～140
°
。3.根据权利要求2所述真空镀膜机的预熔遮挡装置，其特征在于：所述翻边与挡壁的长度比为1:1.5～2。4.根据权利要求1所述真空镀...
【专利技术属性】
技术研发人员：林亮，陈之峰，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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