用于对接光学检查机的大基板搬运系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，包括：上下料机、对接平台、移栽和吸盘机构以及翻转机构；所述移栽和吸盘机构包括：第二X轴移栽机构、Z轴移栽机构以及吸盘机构；所述Z轴移栽机构安装在所述第二X轴移栽机构上，所述吸盘机构安装在所述Z轴移栽机构上；所述Z轴移栽机构周侧设置所述上下料机、所述对接平台以及所述翻转机构，所述对接平台靠近所述上下料机。本申请解决了大基板在AOI检测过程中依赖人工搬运的问题，避免了大基板在搬运过程中造成的易损坏和混乱放置。置。置。

【技术实现步骤摘要】
用于对接光学检查机的大基板搬运系统


[0001]本技术涉及基板生产加工系统领域，具体地，涉及用于对接光学检查机的大基板搬运系统。

技术介绍

[0002]大基板为基板未切割前的最大规格尺寸，根据半导体原件大小切割，是芯片封装后电路连接重要组成器件。
[0003]目前，当大基板需要进行光学检查机(AOI)检测时，普遍通过人工搬运的方式把大基板搬到AOI台面上，由AOI进行检测。对于两面检测的基板，需要人工翻转基板后AOI进行背面检测。基板的尺寸和重量大，AOI检测时间较短，人工搬运基板上下料耗时耗力，极容易在搬运过程中损伤大基板。且由于大基板层数多，抽取大基板容易造成混乱，长期弯腰搬运基板，也会损伤人的健康。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统。
[0005]根据本技术提供的一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，包括：上下料机、对接平台、移栽和吸盘机构以及翻转机构；
[0006]所述移栽和吸盘机构包括：第二X轴移栽机构、Z轴移栽机构以及吸盘机构；
[0007]所述Z轴移栽机构安装在所述第二X轴移栽机构上，所述吸盘机构安装在所述Z轴移栽机构上；
[0008]所述移栽和吸盘机构周侧设置所述上下料机、所述对接平台以及所述翻转机构，所述对接平台靠近所述上下料机。
[0009]优选地，所述对接平台、所述移栽和吸盘机构、所述翻转机构以及所述传送台外侧安装机架。
[0010]优选地，所述上下料机包括：基板料仓机构、基板搬运机构、轴向移动装置以及出料口；
[0011]所述基板料仓机构和所述出料口之间设置所述轴向移动装置，所述基板搬运机构安装在所述轴向移动装置上并通过所述轴向移动装置在所述基板料仓机构和所述出料口之间移动。
[0012]优选地，所述对接平台包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构、U轴旋转机构、顶升机构、夹紧机构以及第一伺服电机；
[0013]所述U轴旋转机构安装在所述第一X轴移栽机构上并通过所述第一X轴移栽机构实现直线移动，所述对接平台台面安装在所述U轴旋转机构上并通过所述U轴旋转机构旋转；
[0014]所述对接平台台面上安装所述顶升机构、所述夹紧机构和第一伺服电机，所述第一伺服电机带动磁力轮转动实现基板传输。
[0015]优选地，所述翻转机构包括：基板平台、翻转机架、Z轴升降机构、X轴定位机构、Y轴定位机构、翻转机构主体以及边支撑机构；
[0016]所述Z轴升降机构和所述翻转机构主体安装在所述翻转机架上，所述基板平台安装在所述Z轴升降机构上；
[0017]所述翻转机构主体上安装Y轴定位机构，所述基板平台上安装X轴定位机构和边支撑机构。
[0018]优选地，所述Z轴移栽机构周侧设置光学检查机。
[0019]优选地，所述Z轴升降机构采用伺服电机驱动丝杠带动丝杠上的基板平台移动；
[0020]所述X轴定位机构由气缸带动连杆机构运动并通过所述连杆机构夹紧基板；
[0021]所述Y轴定位机构通过两侧的滑台气缸推动夹爪夹紧基板；
[0022]所述翻转机构主体两侧设置伺服电机和减速机；
[0023]所述边支撑机构设置在所述基板平台两侧朝向所述翻转机架方向，所述边支撑机构设置有气缸，所述边支撑机构的气缸朝向所述翻转机架实现支撑。
[0024]与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
[0025]1、本申请解决了大基板在AOI检测过程中依赖人工搬运的问题，避免了大基板在搬运过程中造成的易损坏和混乱放置，搬运平稳，不会引入新的干扰物，效率高；
[0026]2、本申请通过上下料机实现基板的上料和回收，通过对接平台实现基板对接和旋转，通过移栽和吸盘机构搬运基板，通过翻转机构实现基板的翻转；
[0027]3、本申请通过各机构上的夹持或吸附方式可以兼容各种规格芯片产品，可以通过各机构的平台带动芯片产品在AOI相机下多次成像，实现拼接；
[0028]4、本申请的起始位置开放，方便连接上下游设备，整机结构紧凑，占地空间小，方便布置。
附图说明
[0029]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0030]图1为大基板搬运系统原理图；
[0031]图2为机架结构示意图；
[0032]图3为上下料机结构示意图；
[0033]图4为对接平台结构示意图；
[0034]图5为移栽和吸盘机构结构示意图；
[0035]图6为翻转机构结构示意图；
[0036]图中所示：
[0037]具体实施方式
[0038]下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本技术的保护范围。
[0039]实施例1
[0040]如图1和图2所示，本实施例包括：上下料机100、对接平台200、移栽和吸盘机构300以及翻转机构400；移栽和吸盘机构300周侧设置上下料机100、对接平台200以及翻转机构400，对接平台200靠近上下料机100。对接平台200、移栽和吸盘机构300、翻转机构400以及传送台外侧安装机架500。移栽和吸盘机构300周侧设置光学检查机。
[0041]如图3所示，上下料机100包括：基板料仓机构101、基板搬运机构102、轴向移动装置以及出料口；基板料仓机构101和出料口之间设置轴向移动装置，基板料仓机构101负责将料仓中基板推至基板搬运机构102中，基板搬运机构102安装在轴向移动装置上并通过轴向移动装置在基板料仓机构101和出料口之间移动。
[0042]如图4所示，对接平台200包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构201、U轴旋转机构202、顶升机构203、夹紧机构204以及第一伺服电机205；U轴旋转机构202安装在第一X轴移栽机构201上并通过第一X轴移栽机构201实现直线移动，对接平台台面安装在U轴旋转机构202上并通过U轴旋转机构202旋转，对接平台台面上安装顶升机构203、夹紧机构204和第一伺服电机205。第一伺服电机205带动磁力轮转动，基板放置在磁力轮上并通过磁力轮的转动实现基板传输。
[0043]如图5所示，移栽和吸盘机构300包括：第二X轴移栽机构301、Z轴移栽机构302以及吸盘机构303；Z轴移栽机构302安装在第二X轴移栽机构301上，吸盘机构303安装在Z轴移栽机构302上；
[0044]如图6所示，翻转机构400包括：基板平台、翻转机架、Z轴升降机构401、X轴定位机构402、Y轴定位机构403、翻转机构主体404以及边支撑机构405；Z轴升降机构401和翻转机构主体404本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，包括：上下料机(100)、对接平台(200)、移栽和吸盘机构(300)以及翻转机构(400)；所述移栽和吸盘机构(300)包括：第二X轴移栽机构(301)、Z轴移栽机构(302)以及吸盘机构(303)；所述Z轴移栽机构(302)安装在所述第二X轴移栽机构(301)上，所述吸盘机构(303)安装在所述Z轴移栽机构(302)上；所述移栽和吸盘机构(300)周侧设置所述上下料机(100)、所述对接平台(200)以及所述翻转机构(400)，所述对接平台(200)靠近所述上下料机(100)。2.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述对接平台(200)、所述移栽和吸盘机构(300)、所述翻转机构(400)以及传送台外侧安装机架(500)。3.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述上下料机(100)包括：基板料仓机构(101)、基板搬运机构(102)、轴向移动装置以及出料口；所述基板料仓机构(101)和所述出料口之间设置所述轴向移动装置，所述基板搬运机构(102)安装在所述轴向移动装置上并通过所述轴向移动装置在所述基板料仓机构(101)和所述出料口之间移动。4.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述对接平台(200)包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构(201)、U轴旋转机构(202)、顶升机构(203)、夹紧机构(204)以及第一伺服电机(205)；所述U轴旋转机构(202)安装在所述第一X轴移栽机构(201)上并通过所述第一X轴移栽机构(201)实现直线移动，所述对接平台台面安装在所述U轴旋转机构(202)上并通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：林海涛，赵凯，梁猛，卢升，万仲宇，周彪，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：