追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法技术

本发明专利技术提供即使看丢回归反射体也能再次开始测定的追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法。通过第一判定部（５２１）判定第一及第二接受光装置之中至少一方的接受光装置的受光量为所定第一阈值以下场合，图形射出控制部（５４）控制变更机构（１２１），使得来自光源的光沿所定图形射出。并且，通过图形射出控制部（５４）控制变更机构（１２１），来自光源的光沿所定图形射出期间，通过第二判定部（５２２）判定各接受光装置的受光量都为所定的第二阈值以上场合，追踪控制部（５１）使得变更机构（１２１）追踪回归反射体（１１）。因此，干涉仪（１）看丢回归反射体（１１）场合，沿着所定图形射出光，探索回归反射体（１１），检测到回归反射体（１１）场合，能再次追踪回归反射体（１１），能再次开始测定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
以往，作为测定至移动体距离的测定装置，利用例如追踪式激光干涉仪(例如参 照专利文献1)。专利文献1中记载的追踪式激光干涉仪系将激光分割为测定光和参照光，朝着安 装在移动体上的回归反射体(retro reflector)射出测定光，追踪回归反射体，使得从回归 反射体的返回光的偏移量处于所定范围内。另外，该干涉仪使得参照光在参照面反射，使用 在上述参照面反射的参照光和从回归反射体的返回光的干涉光，测定至回归反射体(移动 体)的距离。日本专利申请公开2008-128899号公报但是，在这种追踪式激光干涉仪中，由于测定光偏离回归反射体，或障害物位于干 涉仪和回归反射体之间，从回归反射体的返回光没有返回到干涉仪场合，看丢回归反射体， 朝着看丢方向继续射出测定光。因此，在这种追踪式激光干涉仪中，存在若一旦看丢回归反 射体，则不能再次开始测定移动体的问题。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述以往技术所存在的问题而提出来的，本专利技术的目的在于，提 供即使看丢回归反射体也能再次开始测定的。为了解决上述课题，本专利技术的追踪式激光干涉仪，其特征在于该追踪式激光干涉仪包括光源；回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；参照面，反射来自上述光源的光；第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的光 的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量的 受光信号；变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更机 构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点至 上述回归反射体的距离；上述变更机构控制装置包括第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号， 判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第一阈值 以下；图形射出控制部，由上述第一判定部判定至少一方的接受光装置的受光量为上述 第一阈值以下场合，控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光量是否为 对上述各接受光装置分别设定的所定的第二阈值以上；追踪控制部，通过上述第二判定部判定上述各接受光装置的上述受光量都为上述 第二阈值以上场合，使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定 范围内。按照本专利技术，由第一判定部判定第一接受光装置及第二接受光装置之中至少一方 的接受光装置的受光量为所定第一阈值以下场合，图形射出控制部控制变更机构，使得来 自光源的光沿所定图形射出。并且，通过图形射出控制部控制变更机构，来自光源的光沿 所定图形射出期间，通过第二判定部判定各接受光装置的受光量都为所定第二阈值以上场 合，追踪控制部使得变更机构追踪回归反射体。因此，本专利技术的追踪式激光干涉仪(以下简 记为“干涉计”)看丢回归反射体场合，沿着所定图形射出光，探索回归反射体，检测到回归 反射体场合，能再次追踪回归反射体，因此，即使看丢回归反射体，也能再次开始测定至回 归反射体的距离。本专利技术的另一种追踪式激光干涉仪，其特征在于该追踪式激光干涉仪包括光源；回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；参照面，反射来自上述光源的光；第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的光 的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量的 受光信号；变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更机 构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点至 上述回归反射体的距离；上述变更机构控制装置包括第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置之中某一方的 受光信号，判定上述一方的接受光装置的受光量是否为所定的第一阈值以下；图形射出控制部，由上述第一判定部判定上述受光量为上述第一阈值以下场合， 控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述一方的接受光装置的受光信号，判定上述一方的接受光装置的受光量是否为所定的第二阈值 以上；追踪控制部，通过上述第二判定部判定上述受光量为上述第二阈值以上场合，使 得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内。按照本专利技术，具有与上述干涉计相同的构成，因此，能具有相同的效果。另外，仅仅 根据来自第一接受光装置及第二接受光装置之中一方的接受光装置的受光信号，判定是否 看丢回归反射体，以及是否检测到回归反射体，因此，能使得构成简单。在本专利技术中，较好的是，上述图形系在通过所定点、且与上述光的射出方向直交的 平面内，一边以上述所定点为中心回转，一边逐渐朝外侧的涡流状图形，上述所定点系由上 述第一判定部判定上述受光量为上述第一阈值以下时来自上述光源的光的射出方向上的 所定点。按照本专利技术，干涉计探索回归反射体时光的射出图形系以看丢回归反射体时光的 射出方向上的所定点为中心的涡流状图形，因此，能一边抑制遗漏检测，一边有效地探索回 归反射体。在本专利技术中，较好的是，上述所定点系由上述第一判定部判定上述受光量为上述 第一阈值以下时，从上述基准点离开由上述距离计算装置计算的至上述回归反射体的距离 的点；上述图形系由曲线构成、且各周间的宽度为一定的涡流状图形，上述各周间的宽度设 定为由上述第一判定部判定受光量为上述第一阈值以下的接受光装置的可受光区域的宽 度以下。为了解决上述课题，本专利技术的干涉仪的距离测定方法，其特征在于，包括以下步 骤回归反射体安装在移动体上，在回归反射体反射来自光源的光，在参照面反射来 自上述光源的光；第一接受光装置接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的光 的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号，第二接受光装置接 受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量的受光信号；第一判定部根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判 定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第一阈值以 下；由上述第一判定部判定至少一方的接受光装置的受光量为上述第一阈值以下场 合，图形射出控制部控制变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，第二判定部根据来自上述第一 接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光量是否为对 上述各接受光装置分别设定的所定的第二阈值以上；通过上述第二判定部判定上述各接受光装置的上述受光量都为上述第二阈值以 上场合，追踪控制部使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定 范围内；由上述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种追踪式激光干涉仪，其特征在于：该追踪式激光干涉仪包括：光源；回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；参照面，反射来自上述光源的光；第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的光的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量的受光信号；变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点至上述回归反射体的距离；上述变更机构控制装置包括：第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第一阈值以下；图形射出控制部，由上述第一判定部判定至少一方的接受光装置的受光量为上述第一阈值以下场合，控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第二阈值以上；追踪控制部，通过上述第二判定部判定上述各接受光装置的上述受光量都为上述第二阈值以上场合，使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：原慎一，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]