一种腔体控制门板阀制造技术

本实用新型专利技术涉及一种腔体控制门板阀。该门板阀包括横梁、支撑座和密封装置。支撑座固定连接在横梁的两端。密封装置包括主轴、密封板和传动组件。主轴两端转动连接在两个支撑座的相对内侧，传动组件包括第一摆杆、第二摆杆和顶杆。主轴、第一摆杆、第二摆杆、顶杆和横梁依次铰接，由此构成平面四杆机构。密封板固定连接在顶杆与第二摆杆的铰接处，通过驱动主轴旋转带动密封板翻转实现开合。顶杆远离横梁的一端为挤压侧。顶杆的挤压侧上固定连接有限位块。密封板上开设有与限位块匹配的限位槽。传动组件还包括两块压板，分别位于限位块的两端，并将限位块盖合在限位槽内，且每块压板通过螺栓固定安装在密封板上。该门板阀具有装配难度低的优点。难度低的优点。难度低的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种腔体控制门板阀


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，特别是涉及一种腔体控制门板阀。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下利用加热金属或非金属材料，使其蒸发或溅射在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法。真空镀膜设备的腔体内需要形成不同的真空度，因此需要设置阀门对真空镀膜腔体提供密封。
[0003]现有技术中常采用可翻转的门板阀对真空镀膜进行密封，一般是通过螺栓和螺孔配合实现密封板与传动结构的固定。但在门板阀将密封板与传动结构进行组装时，由于传动结构各连杆等部件存在形位误差，密封板和传动结构上的多个螺栓、螺孔难以实现对准，这使得门板阀的组装难度大大加大，不便于高效地投入使用。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有技术中针对真空镀膜腔体的门板阀结构，其密封板组装难度较大的技术问题，本技术提供一种腔体控制门板阀。
[0005]本技术公开一种腔体控制门板阀，包括横梁、支撑座和密封装置。支撑座设置有两个固定连接在横梁的两端。密封装置包括主轴、密封板和传动组件。主轴两端转动连接在两个支撑座的相对内侧，传动组件包括第一摆杆、第二摆杆和顶杆。主轴、第一摆杆、第二摆杆、顶杆和横梁依次铰接，由此构成平面四杆机构。密封板固定连接在顶杆与第二摆杆的铰接处，通过驱动主轴旋转带动密封板翻转实现开合。顶杆远离横梁的一端为挤压侧。顶杆的挤压侧上固定连接有限位块。密封板上开设有与限位块匹配的限位槽。传动组件还包括两块压板。两块压板分别位于限位块的两端，并将限位块盖合在限位槽内，且每块压板通过螺栓固定安装在密封板上。
[0006]作为上述方案的进一步改进，所述压板为可形变的弹性结构。所述限位块安装在相应的限位槽内时，限位块的顶面凸出于密封板的表面，由此使压板安装在密封板上时产生弯曲形变。
[0007]作为上述方案的进一步改进，限位块和压板的其中之一者开设有凹口，凹口与其中之另一者配合卡接。
[0008]作为上述方案的进一步改进，所述限位块呈横截面为等边三角形的三棱柱结构。
[0009]作为上述方案的进一步改进，所述传动组件设置有多组，且多组传动组件沿主轴的轴向等距分布。
[0010]作为上述方案的进一步改进，所述密封板背离顶杆的一侧为密封侧，密封侧上设置有密封橡胶圈。
[0011]作为上述方案的进一步改进，横梁上通过螺栓固定连接有支耳座。支耳座与顶杆的端部铰接，进而实现顶杆与横梁之间的铰接。
[0012]作为上述方案的进一步改进，顶杆与支耳座之间通过第二摆杆转轴连接，且支耳
座和第二摆杆转轴的轴向间隙设置有摆杆垫。
[0013]作为上述方案的进一步改进，所述门板阀还包括驱动装置。驱动装置包括一个用于提供转矩的输出轴。输出轴与主轴同轴固定连接。
[0014]作为上述方案的进一步改进，输出轴与主轴之间通过联轴器固定。
[0015]与现有技术相比，本技术公开的技术方案具有如下有益效果：
[0016]1、本技术公开的真空腔体门板阀通过四连杆结构驱动密封板，可对真空镀膜腔体的开口提供密封，以实现门板阀控制腔体与大气之间的连通状态。通过在平面四杆机构中用于固定密封板的顶杆上设置固定的限位块，并在密封板上设置匹配的限位槽，从而在将限位块置于限位槽内时实现密封板的初步定位，减少形位误差所造成的后续螺孔对准难度。然后通过压板将限位块的盖合在限位槽内，并通过螺栓将压板与密封板固定，最终实现密封板与传动结构的稳固组装。整个过程难度低，利于门板阀高效地投入使用。
[0017]2、通过将限位块设置成位于限位槽内时的顶面凸出于密封板表面，并利用弹性的压板，使压板安装在密封板上时产生弯曲形变，这样以来，可以为压板两端的螺栓提供预紧力，进一步增加顶杆与密封板安装的稳固性。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例1中腔体控制门板阀的立体结构图；
[0019]图2为图1中门板阀背面的立体结构图；
[0020]图3为图1中门板阀的局部立体结构图；
[0021]图4为图3中门板阀的支撑装置以及密封装置的局部结构图；
[0022]图5为图4中B处局部放大图；
[0023]图6为本技术实施例1中四杆机构和密封板运动时的位移量
‑
时间变化曲线；
[0024]图7为图4中传动组件的剖视图；
[0025]图8为本技术实施例1中套件中的一种顶杆(无限位块)的侧视图；
[0026]图9为本技术实施例1中顶杆的立体结构图；
[0027]图10为本技术实施例1中门板阀的密封板在开启状态的侧视结构示意图；
[0028]图11为图10中密封板关闭时的侧视结构示意图；
[0029]图12为本技术实施例1中门板阀在主视剖面图；
[0030]图13为图12中驱动装置的侧视剖面图。
[0031]主要元件符号说明
[0032]1、支撑装置；11、横梁；111、支耳座；12、支撑座；121、轴承端盖；2、密封装置；21、主轴；22、密封板；221、密封侧；222、限位槽；23、传动组件；231、第一摆杆；232、第二摆杆；233、顶杆；2331、挤压侧；2332、腰型孔；2333、限位块；234、压板；2341、凹口；3、驱动装置；31、气缸；32、齿轮箱；33、齿条；34、齿轮；35、输出轴；36、支架；4、基板；41、通口；501、联轴器；502、深沟球轴承；503、滚针轴承；504、第一摆杆转轴；505、第二摆杆转轴；506、开口挡圈；507、轴承垫；508、摆杆垫。
[0033]以上主要元件符号说明结合附图及具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]需要说明的是，当组件被称为“安装于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
[0036]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0037]实施例1
[0038]请参阅图1至4，本实施例提供一种腔体控制门板阀，其可安装在真空镀膜腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腔体控制门板阀，包括横梁(11)、支撑座(12)和密封装置(2)；支撑座(12)设置有两个固定连接在横梁(11)的两端；密封装置(2)包括主轴(21)、密封板(22)和传动组件(23)；主轴(21)两端转动连接在两个支撑座(12)的相对内侧，传动组件(23)包括第一摆杆(231)、第二摆杆(232)和顶杆(233)；主轴(21)、第一摆杆(231)、第二摆杆(232)、顶杆(233)和横梁(11)依次铰接，由此构成平面四杆机构；密封板(22)固定连接在顶杆(233)与第二摆杆(232)的铰接处，通过驱动主轴(21)旋转带动密封板(22)翻转实现开合；其特征在于，顶杆(233)远离横梁(11)的一端为挤压侧(2331)；顶杆(233)的挤压侧(2331)上固定连接有限位块(2333)；密封板(22)上开设有与限位块(2333)匹配的限位槽(222)；传动组件(23)还包括两块压板(234)；两块压板(234)分别位于限位块(2333)的两端，并将限位块(2333)盖合在限位槽(222)内，且每块压板(234)通过螺栓固定安装在密封板(22)上。2.根据权利要求1所述的腔体控制门板阀，其特征在于，所述压板(234)为可形变的弹性结构；所述限位块(2333)安装在相应的限位槽(222)内时，限位块(2333)的顶面凸出于密封板(22)的表面，由此使压板(234)安装在密封板(22)上时产生弯曲形变。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴大鹏，董方方，张进，
申请(专利权)人：中导半导体合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：