本发明公开一种水冷散热装置，包括管道一、冷却管道以及散热件。管道一内设有隔板，隔板适于将管道一隔成进水区和出水区，进水区适于通入冷却水，出水区适于对冷却后的水排出。冷却管道的数量为多个，各个冷却管道的一端分别连通管道一，各个冷却管道的另...

本技术公开了一种半导体设备加工炉的炉门及所述半导体设备加工炉。炉门包括炉门门体、哈氏合金层、金属门板。哈氏合金层设置在炉门门体上且面向半导体设备加工炉的炉体内的一侧上，金属门板设置在炉门门体上且背向炉体内的一侧上，门板上开设有作为焊接孔...

本技术公开了一种液体气体单向阀，其包括阀体、分别安装在阀体的进口端和出口端上的两个接口。每个接口包括卡套螺母、前卡。进口端和出口端的端面处靠近内壁的位置均设置有朝内收拢的且呈喇叭状的锥面一。前卡的一端固定在卡套螺母的底部并与卡套螺母相通...

本实用新型涉及一种腔体控制门板阀。该门板阀包括横梁、支撑座和密封装置。支撑座固定连接在横梁的两端。密封装置包括主轴、密封板和传动组件。主轴两端转动连接在两个支撑座的相对内侧，传动组件包括第一摆杆、第二摆杆和顶杆。主轴、第一摆杆、第二摆杆...

本发明公开了一种压力控制的快速响应方法及装置。所述快速响应方法包括：根据真空反应腔体内的目标压力，通过一个对应关系表获取相应的预设编码值；根据预设编码值，控制电机驱动阀板在相应的预设位置上；当阀板在相应的预设位置上时，采集真空反应腔体内...

本发明涉及一种高速开关的大型门阀。该门阀包括：支撑装置、密封装置以及驱动装置。支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布，两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动...

本发明公开了一种抗腐蚀性实现单向导通的单向阀，其包括进口端阀体、出口端阀体、单向控制组件。单向控制组件包括组装在进口端阀体的连通槽内的密封台、弹簧和镂空垫片。弹簧的外表裹覆有防腐蚀性套管，密封台面向弹簧的一侧设置有“凸”字形的凸起，镂空...

本实用新型公开一种开关电磁阀，该电磁阀包括：阀体，具有阀口；阀盖；静铁芯；动铁芯；套筒；弹簧；密封圈；电磁线圈；电磁外壳；开口卡环。通过对电磁线圈通电而使动铁芯移动；静铁芯和动铁芯同轴设置且具有轴向间隙，套筒以其开放部插入到与阀盖的孔内...

本发明公开一种通过真空系统使用的电磁线圈驱动的气体开关电磁阀，该电磁阀包括：阀体，具有阀口；阀盖；静铁芯；动铁芯；套筒；弹簧；密封圈；电磁线圈；电磁外壳；开口卡环。通过对电磁线圈通电而使动铁芯移动；静铁芯和动铁芯同轴设置且具有轴向间隙，...