一种高速开关的大型门阀制造技术

本发明专利技术涉及一种高速开关的大型门阀。该门阀包括：支撑装置、密封装置以及驱动装置。支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布，两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动组件。传动组件包括第一摆杆、第二摆杆及顶杆，与横梁一同构成平面四杆机构。每组传动组件的顶杆从多个型号的顶杆组成的套件中择一选取。顶杆靠近密封板的一侧为平行于密封板的挤压侧，套件中的各型号顶杆与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度，提升真空镀膜腔体开口的密封效果。的密封效果。的密封效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高速开关的大型门阀


[0001]本专利技术涉及真空镀膜设备
，特别是涉及一种高速开关的大型门阀，还涉及应用该门阀的镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下利用加热金属或非金属材料，使其蒸发或溅射在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法。真空镀膜设备的腔体内需要形成不同的真空度，因此需要设置阀门对真空镀膜腔体提供密封。
[0003]现有技术中常采用可翻转的门阀对真空镀膜进行密封，但现有门阀结构在翻转盖合腔体的开口时，由于加工误差和形位误差，容易造成盖板不能完整的贴靠在腔体外壁，从而使得密封效果变差。另外，现有的门阀的适用性较差，其装配件仅支持少数特定型号的腔体，而部分厂商因担心定位精度等其他问题，不愿以打孔、开槽等破坏腔体原有外壁结构的形式来加装门阀，从而产生门阀安装困难的问题。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有技术中真空镀膜腔体的开口密封结构密封效果欠佳的技术问题，本专利技术提供一种高速开关的大型门阀。
[0005]本专利技术公开一种高速开关的大型门阀，包括：支撑装置、密封装置以及驱动装置。
[0006]支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布，两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。
[0007]密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动组件。主轴的轴向平行于横梁和密封板的延伸方向，且主轴的两端分别与两个支撑座转动连接。每组传动组件包括第一摆杆、第二摆杆以及顶杆。第一摆杆的一端固定套接在主轴上，另一端与第二摆杆的一端铰接。第二摆杆的另一端与顶杆的一端铰接。顶杆的另一端与横梁铰接。密封板的一侧为密封侧，另一侧固定连接在顶杆与第二摆杆的铰接处，且密封板与顶杆相对固定。其中，第一摆杆、第二摆杆、顶杆以及横梁一同构成平面四杆机构，进而通过转动主轴实现密封板在竖直状态和非竖直状态的切换，密封板的密封侧用于在其处于竖直状态下时贴合并密封腔体的开口。
[0008]驱动装置用于驱动主轴绕自身轴线转动。
[0009]其中，每组传动组件的顶杆从多个型号的顶杆组成的套件中择一选取。顶杆靠近密封板的一侧为平行于密封板的挤压侧，套件中的各型号顶杆与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度。
[0010]作为上述方案的进一步改进，门阀还包括：基板。基板与腔体上提供的标准连接件可拆卸式固定连接。基板的一侧与腔体贴合密封，另一侧与两个支撑座可拆卸式固定连接。基板上开设有与腔体的开口匹配且投影面重合的通口。
[0011]作为上述方案的进一步改进，基板靠近腔体的一侧，以及密封板的密封侧上均设
置有密封橡胶圈。
[0012]作为上述方案的进一步改进，驱动装置包括气缸、齿轮箱、齿条。气缸与齿轮箱固定安装，且气缸的活塞端伸入齿轮箱内并与齿条固定。齿轮箱内转动连接有输出轴。输出轴上固定套接有与齿条啮合的齿轮，且输出轴与主轴同轴固定。
[0013]作为上述方案的进一步改进，驱动装置还包括支架，支架的一端同时与齿轮箱和气缸固定连接，另一端固定安装在腔体上。
[0014]作为上述方案的进一步改进，主轴的两端分别通过轴承与两个支撑座转动连接。每个支撑座背离主轴的一侧上还固定安装有轴承端盖。
[0015]作为上述方案的进一步改进，横梁上通过螺钉固定连接有支耳座。支耳座的数量与传动组件的数量相对应，且每个支耳座与相应的顶杆铰接，进而实现顶杆与横梁间的铰接。
[0016]作为上述方案的进一步改进，顶杆靠近相应支耳座的一端开设的铰接孔为腰型孔，相应的铰接轴可转动式安装在腰型孔内，进而实现密封板切换至竖直状态的阶段由转动变为水平的平移运动。
[0017]作为上述方案的进一步改进，传动组件设置有多组，且多组传动组件沿主轴的轴向等间距排布。
[0018]本专利技术还公开一种镀膜机，包括：腔体以及安装在腔体开口处的门阀。门阀采用上述任意一种门阀。
[0019]与现有技术相比，本专利技术公开的技术方案具有如下有益效果：
[0020]1、本专利技术公开的门阀通过四连杆结构驱动密封板对腔体的开口提供密封，通过将四连杆机构中的顶杆设置为可选择的不同型号组成套件，不同信号顶杆在装配时与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，以此通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度，从而通过调试可以将密封板较为紧密地密封在腔体开口处。
[0021]2、本专利技术通过在支撑装置内增设横梁，为顶杆提供良好地支撑，横梁可以保证翻板阀的一体性，免除在真空镀膜腔体上打孔安装四杆机构的工序。另外还提供可选择的基板，基板同时与支撑装置及真空镀膜腔体可拆卸连接，这样以来，由于基板的结构简单，易于制造，通过加装基板这一部件，可以使得密封装置适用于更多型号的腔体，且不需要破坏腔体原有的外壁结构，降低门阀的安装难度。
[0022]3、本专利技术对四连杆机构的顶杆还进行结构改进，在顶杆的一铰接端开设腰型孔，从而密封板在转动的最后阶段，铰接轴从腰型孔的一端挪向另外一端，将密封板由转动变为平移运动，压缩密封橡胶圈来实现密封。
附图说明
[0023]图1为本专利技术实施例1中高速开关的大型门阀的立体结构图；
[0024]图2为图1中门阀背面的立体结构图；
[0025]图3为图1中门阀的局部立体结构图；
[0026]图4为图3中门阀的支撑装置以及密封装置的局部结构图；
[0027]图5为图4中B处局部放大图；
[0028]图6为本专利技术实施例1中四杆机构和密封板运动时的位移量
‑
时间变化曲线；
[0029]图7为图4中传动组件的剖视图；
[0030]图8为本专利技术实施例1中套件中的一种顶杆(无限位块)的侧视图；
[0031]图9为本专利技术实施例1中顶杆的立体结构图；
[0032]图10为本专利技术实施例1中门阀的密封板在开启状态的侧视结构示意图；
[0033]图11为图10中密封板关闭时的侧视结构示意图；
[0034]图12为本专利技术实施例1中门阀在主视剖面图；
[0035]图13为图12中驱动装置的侧视剖面图；
[0036]图14为本专利技术实施例1中氦检漏仪在测试门阀密封效果时的显示面板状态图。
[0037]主要元件符号说明
[0038]1、支撑装置；11、横梁；111、支耳座；12、支撑座；121、轴承端盖；2、密封装置；21、主轴；22、密封板；221、密封侧；222、限位槽；23、传动组件；231、第一摆杆；232、第二摆杆；233、顶杆；2331、挤压侧；2332、腰型孔；2333、限位块；234、压板；2341、凹口；3、驱动装置；31、气缸；32、齿轮箱；33、齿条；34、齿轮；35、输出轴；36、支架；4、基板；41、通口；501、联轴器；502、深沟球轴承；503、滚针轴承；504、第一摆杆转轴；505、第二摆杆转轴；506、开口挡圈；507本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高速开关的大型门阀，其特征在于，包括：支撑装置(1)，其包括横梁(11)和支撑座(12)；支撑座(12)设置有两个且对称分布，两个支撑座(12)固定安装在所述腔体上；横梁(11)的两端分别与两个支撑座(12)固定连接；密封装置(2)，其包括主轴(21)、密封板(22)以及至少一组传动组件(23)；主轴(21)的轴向平行于横梁(11)和密封板(22)的延伸方向，且主轴(21)的两端分别与两个支撑座(12)转动连接；每组传动组件(23)包括第一摆杆(231)、第二摆杆(232)以及顶杆(233)；第一摆杆(231)的一端固定套接在主轴(21)上，另一端与第二摆杆(232)的一端铰接；第二摆杆(232)的另一端与顶杆(233)的一端铰接；顶杆(233)的另一端与横梁(11)铰接；密封板(22)的一侧为密封侧(221)，另一侧固定连接在顶杆(233)与第二摆杆(232)的铰接处，且密封板(22)与顶杆(233)相对固定；其中，第一摆杆(231)、第二摆杆(232)、顶杆(233)以及横梁(11)一同构成平面四杆机构，进而通过转动主轴(21)实现密封板(22)在竖直状态和非竖直状态的切换，密封板(22)的密封侧(221)用于在其处于所述竖直状态下时贴合并密封所述腔体的开口；以及驱动装置(3)，其用于驱动所述主轴(21)绕自身轴线转动；其中，每组传动组件(23)的顶杆(233)从多个型号的顶杆(233)组成的套件中择一选取；顶杆(233)靠近密封板(22)的一侧为平行于密封板(22)的挤压侧(2331)，所述套件中的各型号顶杆(233)与第二摆杆(232)铰接处的铰接轴心到挤压侧(2331)的间距不同，通过更换所述套件中不同型号的顶杆(233)以调节所述密封板(22)的盖合度。2.根据权利要求1所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，所述门阀还包括：基板(4)，其与所述腔体上提供的标准连接件可拆卸式固定连接；基板(4)的一侧与所述腔体贴合密封，另一侧与两个支撑座(12)可拆卸式固定连接；基板(4)上开设有与所述腔体的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴大鹏，董方方，张进，
申请(专利权)人：中导半导体合肥有限公司，
类型：发明
国别省市：