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本实用新型涉及一种腔体控制门板阀。该门板阀包括横梁、支撑座和密封装置。支撑座固定连接在横梁的两端。密封装置包括主轴、密封板和传动组件。主轴两端转动连接在两个支撑座的相对内侧，传动组件包括第一摆杆、第二摆杆和顶杆。主轴、第一摆杆、第二摆杆、顶...
该专利属于中导半导体（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中导半导体（合肥）有限公司授权不得商用。

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