【技术实现步骤摘要】
一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构
[0001]本专利技术涉及半导体光电
，尤其是涉及一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构。
技术介绍
[0002]近年来，Mini/Micro LED显示技术出现，Mini/Micro LED显示屏由巨量微米级LED显示芯片通过独立封装形成单个像素点，在发光效率、功耗、对比度、响应速度、寿命等方面具有无可比拟的优势，是下一代主流显示屏的最佳选择，被成为“21世纪终极显示技术”。
[0003]Mini/Micro LED显示屏的生产流程从上游：晶圆沉积、掩膜曝光、刻蚀、PCB设计、金线飞线等工艺，到中游：锡膏印刷、巨量转移(MT，Mass Transfer)、激光焊接、涂胶封装等工艺，再到下游：板间调屏、整版拼接、封装电视等工艺，无不影响生产效率和生产成本。其中巨量转移是将数百万甚至千万量级微型LED芯片精准高效地从源基板转移到目标基板上。即使一次转移1万颗，至少需要重复上百次，转移芯片数量巨大，且准确度要求极高，巨量转移成为Mini/Micro LED封装工艺中限制产能的关键...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构，其特征在于：包括上平台移动系统、转移平台系统、下平台移动系统，转移平台系统设置于上平台移动系统上，转移平台系统包括转移滑台、垂直动力模组、针刺夹持支架、激光辅助针刺组件、相机组件、激光器支架和激光发生器，垂直动力模组和相机组件并排固定在转移滑台上，针刺夹持支架设置于垂直动力模组的前端面上，激光器支架设置于垂直动力模组的顶部，激光发生器固定在激光器支架上方，激光发生器朝向激光辅助针刺组件，激光辅助针刺组件固定在针刺夹持支架上，激光辅助针刺组件为中空的圆筒形，激光辅助针刺组件包括激光部、气动部和微孔针头，激光部与气动部之间通过激光聚焦物镜隔开，激光部的侧面顶部开口形成激光视窗，激光视窗处设置有视窗平透镜，激光视窗内设置有视窗反光镜，视窗反光镜成45
°
放置，激光发生器发射的激光穿过视窗平透镜后，经视窗反光镜反射后依次穿过激光聚焦物镜、气动部和微孔针头，气动部的侧面开设圆形的进气孔，微孔针头的针尖朝向下平台移动系统，下平台移动系统的顶部设置有固定不动的蓝膜组件和三自由度移动的基板治具。2.根据权利要求1所述的一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构，其特征在于：上平台移动系统包括大理石底座、左大理石支柱、右大理石支柱、上Y轴左电机、上Y轴右电机、横梁，左大理石支柱和右大理石支柱对称设置于大理石底座的上表面两侧，上Y轴左电机的定子设置于左大理石支柱的左侧上表面，上Y轴右电机的定子设置于右大理石支柱的右侧上表面，横梁的左右两端分别与上Y轴左电机的动子、上Y轴右电机的动子固定连接，横梁的前端面中部设置有上X轴电机，上X轴电机的上方和下方分别设置有上X轴上导轨和上X轴下导轨，上X轴上导轨和上X轴下导轨均与横梁的前端面固定连接。3.根据权利要求1所述的一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构，其特征在于：转移滑台包括转移滑台过度板和转移滑台A滑块、转移滑台B滑块、转移滑台C滑块、转移滑台D滑块，转移滑台A滑块、转移滑台B滑块、转移滑台C滑块和转移滑台D滑块分为两排设置于转移滑台过度板的背面，其中转移滑台A滑块、转移滑台C滑块与上X轴上导轨滑动连接，转移滑台B滑块、转移滑台D滑块与上X轴下导轨滑动连接，上X轴电机的动子与转移滑台过度板的背面固定连接，垂直动力模组包括垂直动力模组定子和垂直动力模组动子，垂直动力模组定子与转移滑台过度板的左侧前端面固定连接，垂直动力模组动子与垂直动力模组定子滑动连接，针刺夹持支架固定在垂直动力模组动子上。4.根据权利要求1所述的一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构，其特征在于：蓝膜组件包括蓝膜支架和蓝膜，蓝膜支架的两端分别与左大理石支柱的内侧面和右大理石支柱的内侧面固定连接，蓝膜支架的材料为不锈钢、铝材和合金材料中的...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛德树，樊竞超，张利辉，张育恒，
申请(专利权)人：北京海炬电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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