【技术实现步骤摘要】
一种氢能气动巨量转移机构
[0001]本专利技术涉及一种半导体光电技术,尤其涉及一种氢能气动巨量转移机构。
技术介绍
[0002]信息时代的到来意味着更多的资讯和资源都会通过显示屏幕传播,显示技术从阴极射线管(CRT:Cathode Ray Tube)到液晶显示器(LCD:Liquid Crystal Display)实现了高清显示,但显示残影和无法做到自发光的缺陷,遏制液晶显示器发展。从有机发光二极管(OLED:Organic Light
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Emitting Diode)开始实现了自发光显示,并且响应速度极快,但是OLED显示屏寿命不长,容易产生“烧屏”现象,屏幕会以低频率闪烁,伤害人的眼睛。Mini LED作为新一代显示技术,采用阵列化的无机自发光微米级LED芯片,降低了响应时间和功耗等,提高了色域、动态分区程度和对比度等,解决了上述问题。
[0003]Mini LED显示面板生产的工艺流程链长且复杂,主要包括芯片制备、芯片转移和缺陷检测与修复等环节。其中,巨量转移技术是指通过高精度转移设备,将近亿颗Mini/Micro LED晶粒从源基板中拾取或剥离,通过高速精准定位机构转移至目标基板。生产一台普通的4K屏幕,需要转移的微米级LED芯片将达到数百万甚至千万量级。一次转移1万颗,至少需要重复上百次,转移芯片数量巨大,且准确度要求极高,致使巨量转移成为Mini LED后段封装工艺中限制产能的关键环节。目前世界上主流转移方式分为四个流派:流体自组装、滚轴转印、针刺转移和激光转移。流体自组装、 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氢能气动巨量转移机构,主要由工作平台移动系统、氢氧反应器系统和工装移动系统组成,其特征在于:所述工作平台移动系统主要包括:大理石底座(1)、弓形大理石支柱(2)、上X轴直线电机(3)定子、上X轴直线电机(3)前导轨、上X轴直线电机(3)后导轨、上X轴光栅(4)金属条、上X轴光栅(4)读数头、上X轴滑台(5)、上Y轴直线电机(6)定子、上Y轴直线电机(6)左导轨、上Y轴直线电机(6)右导轨;所述氢氧反应器系统主要包括:上滑台(7)、CCD相机(8)、反应器滑槽板(9)、氢氧反应器(10)、氢气管道(11A)、氧气管道(11B)、氢气电磁阀(12A)和氧气电磁阀(12B);所述工装移动系统主要包括:下Y轴直线电机(13)定子、下Y轴直线电机(13)左导轨、下Y轴直线电机(13)右导轨、下Y轴光栅(14)金属条、下Y轴光栅(14)读数头、下Y轴滑台(15)、下X轴光栅(16)金属条、下X轴光栅(16)读数头、下X轴直线电机(17)定子、下X轴直线电机(17)左导轨、下X轴直线电机(17)右导轨、下X轴滑台(18)、音圈电机组(19)、限位装置组(20)、真空底座(21)和芯片载板(22);所述大理石底座(1)位于弓形大理石支柱(2)的下方,弓形大理石支柱(2)位于大理石底座(1)的上表面,并通过紧固螺钉固定在大理石底座(1)的上表面,上X轴直线电机(3)定子位于弓形大理石支柱(2)的上表面横向中轴线上,并通过紧固螺钉固定在弓形大理石支柱(2)的上表面,上X轴直线电机(3)前滑轨与上X轴直线电机(3)后滑轨呈对称状分布在上X轴直线电机(3)定子的两侧,上X轴光栅(4)金属条水平放置于弓形大理石支柱(2)的前侧面,并通过环氧树脂胶固定在弓形大理石支柱(2)的前侧面,上X轴滑台(5)位于上X轴直线电机(3)前滑轨与上X轴直线电机(3)后滑轨上表面,并通过自身滑块的卡槽卡在上X轴直线电机(3)前滑轨和上X轴直线电机(3)后滑轨上,上Y轴直线电机(6)定子位于上X轴滑台(5)的上表面纵向中轴线上,并通过紧固螺钉固定在上X轴滑台(5)上,上Y轴直线电机(6)左滑轨与上Y轴直线电机(6)右滑轨呈对称状分布在上Y轴直线电机(6)定子的两侧,上滑台(7)位于上Y轴直线电机(6)左滑轨和上Y轴直线电机(6)右滑轨上表面,并通过自身滑块的卡槽卡在上Y轴直线电机(6)左滑轨和上Y轴直线电机(6)右滑轨上,上X轴光栅(4)读数头位于上滑台(7)的下表面右侧,并通过环氧树脂胶固定在上滑台(7)上,上X轴光栅(4)读数头的感应区域正对上X轴光栅(4)金属条,CCD相机(8)位于上滑台(7)的前侧,并通过上滑台(7)右侧卡槽固定在上滑台(7)上,反应器滑槽板(9)位于上滑台(7)的上表面和CCD相机(8)的左侧,并通过紧固螺钉固定在上滑台(7)的上表面,氢氧反应器(10)位于上滑台(7)的前侧和CCD相机(8)的左侧,氢氧反应器(10)位于反应器滑槽板(9)的前侧,并通过上滑台(7)的左侧卡槽固定在上滑台(7)上,氢气管道(11A)和氧气管道(11B)位于氢氧反应器(10)上表面,并通过密封胶固定在氢氧反应器(10)上表面孔内,氢气电磁阀(12A)位于氢气管道(11A)上半段径向外侧,并通过自身阀门结构固定在氢气管道(11A)上,氧气电磁阀(12B)位于氧气管道(11B)上半段径向外侧,并通过自身阀门结构固定在氧气管道(11B)上,下Y轴直线电机(13)定子位于大理石底座(1)的上表面纵向中轴线上,并通过紧固螺钉固定在大理石底座(1)的上表面,下Y轴直线电机(13)左导轨与下Y轴直线电机(13)右导轨呈对称状分布在下Y轴直线电机(13)定子的两侧,下Y轴光栅(14)金属条位于大理石底座(1)的上表面,平行放置于下Y轴直线电机(13)左导轨左侧,下Y轴滑台(15)位于下Y轴直线电机(13)左导轨和下Y轴直线电机(13)右导轨上表面,下Y轴滑台(15)通过自身的滑块卡槽卡在下Y轴直线电机
(13)左导轨和下Y轴直线电机(13)右导轨上,下Y轴光栅(14)读数头位于下Y轴滑台(15)的下表面左侧,并通过环氧树脂胶固定在下Y轴滑台(15)上,下Y轴光栅(14)读数头的感应区域正对下Y轴光栅(14)金属条,下X轴光栅(16)金属条水平放置于下Y轴滑台(15)的前侧面,并通过环氧树脂胶固定在下Y轴滑台(15)上,下X轴直线电机(17)定子位于下Y轴滑台(15)的上表面横向中轴线上,并通过紧固螺钉固定在下Y轴滑台(15)的上表面,下X轴直线电机(17)前导轨与下X轴直线电机(17)后导轨呈对称状分布在下X轴直线电机(17)定子的两侧,并通过紧固螺钉固定在下Y轴滑台(15)上,下X轴滑台(18)位于下X轴直线电机(17)前导轨和下X轴直线电机(17)后导轨上表面,下Y轴滑台(15)通过自身的滑块卡槽卡在下X轴直线电机(17)前导...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘强,樊竞超,廖永龙,李衡,徐杰,
申请(专利权)人:北京海炬电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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