下载一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构的技术资料

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本发明公开了一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构,涉及半导体光电技术领域,包括上平台移动系统、转移平台系统、下平台移动系统,转移平台系统设置于上平台移动系统上,转移平台系统包括转移滑台、垂直动力模组、针刺夹持支架、激光辅助针刺组件、相机组件...
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