本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体公开了蒸发装置及真空镀膜设备。该装置包括蒸发源料架、抬升组件和供料装置，蒸发源料架转动连接有多个绕切换轴线周向分布的安装底板，安装底板上固接有第一蒸发源，安装底板能相对蒸发源料架在底板蒸发位置与底板上料位置之间摆动，安装底板处于底板蒸发位置时，安装底板抵压于蒸发源料架，安装底板处于底板上料位置时，安装底板与蒸发源料架之间呈上料夹角；蒸发源料架能带动每个安装底板经过抬起位；抬升组件能推动位于抬起位的安装底板；供料装置能向位于抬起位且处于底板上料位置的安装底板所连接的第一蒸发源加料。该装置通过蒸发源料架与抬升组件的配合，实现单一供料装置对多个第一蒸发源的补充。第一蒸发源的补充。第一蒸发源的补充。
【技术实现步骤摘要】
蒸发装置及真空镀膜设备
[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及蒸发装置及真空镀膜设备。
技术介绍
[0002]现有技术中，蒸发装置在进行超长时间连续镀膜时，如采用单次加料方式，物料量通常难以满足使用需求；如采用打开真空镀膜腔室进行加料的方式，则会因为破真空而严重影响基板镀膜效率，并可能因为破真空而影响镀膜品质的稳定性。现有技术中，还可采用为每个蒸发源配备一个对应加料装置的加料方式，但这样既增大了设备成本，又提高了故障风险，同时还增大了占用空间。
[0003]综上所述，亟需一种蒸发装置。该设备需要将物料快速添加到蒸发源处，之后进行镀膜操作。而且期间要尽量减少破真空所造成的不利影响，保证镀膜设备始终处于高真空状态下。同时还需要考虑到蒸发源与加料装置的对应关系，以减少加料装置的数量，优化真空镀膜设备的结构。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供蒸发装置及真空镀膜设备，通过蒸发源料架与抬升组件的配合，达到对第一蒸发源进行位置切换的目的，从而实现单一供料装置对多个第一蒸发源的补充。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]蒸发装置，包括蒸发源料架、抬升组件和供料装置；所述蒸发源料架上转动连接有若干绕切换轴线周向分布的安装底板，所述安装底板上固接有第一蒸发源，所述安装底板能相对所述蒸发源料架在底板蒸发位置与底板上料位置之间摆动，当所述安装底板处于所述底板蒸发位置时，所述安装底板抵压于所述蒸发源料架上，当所述安装底板处于所述底板上料位置时，所述安装底板与所述蒸发源料架之间呈上料夹角；所述蒸发源料架能带动每个所述安装底板经过抬起位；所述抬升组件能推动位于所述抬起位的所述安装底板，以使所述安装底板处于所述底板上料位置；所述供料装置能向位于所述抬起位且处于所述底板上料位置的所述安装底板所连接的所述第一蒸发源加料。
[0007]作为蒸发装置的优选技术方案，所述蒸发源料架包括蒸发源料架主体以及与所述蒸发源料架主体滑动匹配的蒸发源升降料架，所述安装底板转动连接于所述蒸发源料架主体，所述蒸发源料架主体能绕所述切换轴线旋转，以带动所述安装底板；料架旋转驱动单元用于驱动所述蒸发源料架主体，料架升降驱动单元的输出端与所述蒸发源升降料架相连接，所述蒸发源升降料架能带动所述蒸发源料架主体沿所述切换轴线移动。
[0008]作为蒸发装置的优选技术方案，所述蒸发源料架主体贯通有抬升避让口，所述抬升避让口与所述安装底板的数量相同且一一对应；所述抬升组件包括抬升驱动单元和抬升转轮，所述抬升转轮转动连接于所述抬升驱动单元的输出端，所述抬升驱动单元能带动所述抬升转轮穿过所述抬升避让口并抵压于所述安装底板。
[0009]作为蒸发装置的优选技术方案，所述安装底板与所述蒸发源料架之间弹性连接有复位弹簧，所述复位弹簧用于带动所述安装底板朝向所述底板蒸发位置摆动。
[0010]真空镀膜设备，包括加料室、用于对基板治具进行镀膜的镀膜室以及上述的蒸发装置，所述加料室选择性连通所述镀膜室，所述蒸发源料架转动设置于所述镀膜室内，所述供料装置设于加料室内，且所述供料装置能够部分伸入所述镀膜室。
[0011]作为真空镀膜设备的优选技术方案，所述供料装置包括供料模块、供料直线模组和供料模组驱动单元，所述供料模块滑设于所述供料直线模组上，所述供料模组驱动单元用于带动所述供料模块沿所述供料直线模组的长度方向在补料位置与加料位置之间往复移动，当所述供料模块处于所述补料位置时，所述供料装置全部位于所述加料室内，当所述供料模块处于所述加料位置时，所述供料模块部分伸入所述镀膜室内，且所述供料模块的输出端正对位于所述抬起位的所述安装底板所连接的所述第一蒸发源。
[0012]作为真空镀膜设备的优选技术方案，所述加料室通过分隔口与所述镀膜室相连通，当所述供料模块处于所述加料位置时，所述供料模块从所述分隔口伸入所述镀膜室内；所述加料室上还安装有分隔门，所述分隔门选择性开闭所述分隔口。
[0013]作为真空镀膜设备的优选技术方案，所述加料室的顶部开设有补料口，所述加料室通过补料口与外部环境相连通，所述加料室的上方安装有补料装置，所述补料装置从所述补料口向处于所述补料位置的所述供料模块补料；所述加料室上还设有补料门，所述补料门选择性开闭所述补料口。
[0014]作为真空镀膜设备的优选技术方案，所述第一蒸发源上还连接有第二蒸发源，所述第二蒸发源收纳有第二物料，所述第二物料不同于所述第一蒸发源所收纳的第一物料；所述供料装置包括分别滑设于两个所述供料直线模组上的两个所述供料模块，一个用于提供所述第一物料，另一个用于提供所述第二物料，所述补料装置包括用于补充所述第一物料的第一料筒和用于补充所述第二物料的第二料筒。
[0015]作为真空镀膜设备的优选技术方案，所述补料装置还包括移动加料平台、平台直线模组和平台模组驱动单元，所述第一料筒和所述第二料筒均固接于所述移动加料平台上，所述移动加料平台滑设于所述平台直线模组上，所述平台模组驱动单元用于带动所述移动加料平台沿所述平台直线模组的长度方向往复移动。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]该蒸发装置借助蒸发源料架能带动每个安装底板经过抬起位的设计，使得每个第一蒸发源均能与供料装置相对应，致使所有的第一蒸发源能够利用同一供料装置进行第一物料补充操作，以上设计减少了供料装置设置数量的需求，减少了蒸发装置的成本，降低了蒸发装置故障的风险，同时还缩小了蒸发装置所占用的空间。转动连接于蒸发源料架上的安装底板与抬升组件相配合，实现了安装底板在底板蒸发位置与底板上料位置之间的摆动，以确保连接于其上的第一蒸发源处于接收第一物料或是进行蒸发的位置。通过对抬升组件的控制，能够实现第一蒸发源的工作状态切换。以上改进实现了对第一蒸发源的第一物料补充操作和第一物料蒸发操作。以上改进有助于减少破真空所造成的不利影响，确保蒸发装置始终处于高真空状态下，同时还考虑到第一蒸发源与供料装置的对应关系，减少了供料装置的设置数量，优化了真空镀膜设备的结构。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例提供的供料装置、蒸发源料架和第一蒸发源的俯视图；
[0019]图2是本技术实施例提供的供料装置、蒸发源料架和第一蒸发源的侧视图；
[0020]图3是本技术实施例提供的供料装置、蒸发源料架和第一蒸发源的结构示意图；
[0021]图4是本技术实施例提供的移动加料平台、第一料筒和第二料筒的结构示意图；
[0022]图5是本技术实施例提供的第一料筒的剖面侧视图；
[0023]图6是本技术实施例提供的供料模块的结构示意图；
[0024]图7是本技术实施例提供的供料模块的剖面侧视图；
[0025]图8是本技术实施例提供的供料装置的剖面侧视图；
[0026]图9是本技术实施例提供的蒸发源料架和第一蒸发源的剖面侧视图；
[0027]图10是本技术实施例提本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.蒸发装置，其特征在于，包括：蒸发源料架，所述蒸发源料架上转动连接有若干绕切换轴线周向分布的安装底板(630)，所述安装底板(630)上固接有第一蒸发源(110)，所述安装底板(630)能相对所述蒸发源料架在底板蒸发位置与底板上料位置之间摆动，当所述安装底板(630)处于所述底板蒸发位置时，所述安装底板(630)抵压于所述蒸发源料架上，当所述安装底板(630)处于所述底板上料位置时，所述安装底板(630)与所述蒸发源料架之间呈上料夹角；所述蒸发源料架能带动每个所述安装底板(630)经过抬起位；抬升组件(620)，能推动位于所述抬起位的所述安装底板(630)，以使所述安装底板(630)处于所述底板上料位置；供料装置(300)，能向位于所述抬起位且处于所述底板上料位置的所述安装底板(630)所连接的所述第一蒸发源(110)加料。2.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述蒸发源料架包括蒸发源料架主体(613)以及与所述蒸发源料架主体(613)滑动匹配的蒸发源升降料架(614)，所述安装底板(630)转动连接于所述蒸发源料架主体(613)，所述蒸发源料架主体(613)能绕所述切换轴线旋转，以带动所述安装底板(630)；料架旋转驱动单元(611)用于驱动所述蒸发源料架主体(613)，料架升降驱动单元(612)的输出端与所述蒸发源升降料架(614)相连接，所述蒸发源升降料架(614)能带动所述蒸发源料架主体(613)沿所述切换轴线移动。3.根据权利要求2所述的蒸发装置，其特征在于，所述蒸发源料架主体(613)贯通有抬升避让口，所述抬升避让口与所述安装底板(630)的数量相同且一一对应；所述抬升组件(620)包括抬升驱动单元(621)和抬升转轮(623)，所述抬升转轮(623)转动连接于所述抬升驱动单元(621)的输出端，所述抬升驱动单元(621)能带动所述抬升转轮(623)穿过所述抬升避让口并抵压于所述安装底板(630)。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的蒸发装置，其特征在于，所述安装底板(630)与所述蒸发源料架之间弹性连接有复位弹簧(640)，所述复位弹簧(640)用于带动所述安装底板(630)朝向所述底板蒸发位置摆动。5.真空镀膜设备，其特征在于，包括加料室(220)、用于对基板治具(700)进行镀膜的镀膜室(210)以及权利要求1
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4任一项所述的蒸发装置，所述加料室(220)选择性连通所述镀膜室(210)，所述蒸发源料架转动设置于所述镀膜室(210)内，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄永长，龙汝磊，吴萍，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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