一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置制造方法及图纸

技术编号:39236527 阅读:12 留言:0更新日期:2023-10-30 11:40
本申请涉及一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置,包括壳体,所述壳体的内部设有蒸发室和加热设备,且蒸发室上设有投射孔,所述壳体的后内壁设有固定板,所述固定板的前表面通过活动块安装有基板,所述基板的下表面开设有开槽,所述开槽的内部安装有双向丝杆,所述双向丝杆的外壁安装有两个套环,且两个套环均通过连接板的下表面均安装有夹板,且两个夹板通过多个防滑条活动安装有工件;两个所述连接板上均活动贯穿有两个横杆;通过开槽、夹板、防滑条、连接板、双向丝杆、旋钮等部件的设置,能够通过两个夹板对工件进行夹紧固定,从而在基板进行移动的过程,使工件不易从基板上掉落,不易影响后续的镀膜效果。不易影响后续的镀膜效果。不易影响后续的镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置


[0001]本申请涉及蒸发镀膜的
,尤其是涉及一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等。
[0003]例如[中国技术]CN202022042689.8一种真空蒸发镀膜装置,包括壳体和蒸发室,壳体的内底壁与蒸发室固定连接,蒸发室内部设置有加热设备,蒸发室的顶端开设有投射孔,壳体的内侧壁固定连接有固定板,固定板的一侧固定连接有齿条,齿条的表面啮合有齿轮,齿轮的内壁固定连接有电机,电机的两端转动连接有活动块,活动块远离固定板的一端固定连接有基板。
[0004]但是,上述的专利在对工件进行镀膜时,其工件在基板移动时容易与其发生相对位移,从而容易使得工件从基板上掉落,进而影响其镀膜效果。因此,本领域技术人员提供了一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0005]为了解决上述
技术介绍
中提出的问题,本申请提供一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置。
[0006]本申请提供的一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置采用如下的技术方案:
[0007]一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置,包括壳体,所述壳体的内部设有蒸发室和加热设备,且蒸发室上设有投射孔,所述壳体的后内壁设有固定板,所述固定板的前表面通过活动块安装有基板,所述基板的下表面开设有开槽,所述开槽的内部安装有双向丝杆,所述双向丝杆的外壁安装有两个套环,且两个套环均通过连接板的下表面均安装有夹板,且两个夹板通过多个防滑条活动安装有工件。
[0008]通过采用上述技术方案,将工件置于两个夹板之间,旋转两个旋钮中的任意一个,旋带动双向丝杆转动,双向丝杆在转动时,即可带动两个套环相互靠近,进而,两个套环即可通过连接板带动两个夹板相互靠近,直至两个夹板相互靠近对工件进行夹紧,两个夹板上的防滑条能够增加夹板侧壁与工件之间的摩擦力,增加其固定夹紧的效果,从而在基板进行移动的过程,使工件不易从基板上掉落,不易影响后续的镀膜效果。
[0009]优选的,两个所述连接板上均活动贯穿有两个横杆,且两个横杆的两端分别与开槽的两侧内壁固定连接。
[0010]优选的,两个所述连接板均位于开槽的内部,且两个连接板分别固定安装在套环外周侧的下表面。
[0011]优选的,位于同侧的多个所述防滑条分别设在两个夹板相邻的侧壁,且相邻的两个防滑条之间的间隔相同。
[0012]优选的,所述双向丝杆的两端分别转动贯穿至基板的外部,且双向丝杆的两端均安装有旋钮。
[0013]综上所述,本申请包括以下有益技术效果:
[0014]通过开槽、夹板、防滑条、连接板、双向丝杆、旋钮等部件的设置,能够通过两个夹板对工件进行夹紧固定,从而在基板进行移动的过程,使工件不易从基板上掉落,不易影响后续的镀膜效果。
附图说明
[0015]图1是本申请实施例中一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置的结构示意图;
[0016]图2是本申请实施例中图1中A处的放大结构示意图;
[0017]图3是本申请实施例中双向丝杆和两个夹板的立体结构示意图。
[0018]附图标记说明:1、壳体;2、蒸发室;3、加热设备;4、投射孔;5、固定板;6、基板;7、开槽;8、双向丝杆;9、旋钮;10、套环;11、连接板;12、夹板;121、防滑条;13、横杆;14、工件。
具体实施方式
[0019]以下结合附图1

3对本申请作进一步详细说明。
[0020]本申请实施例公开一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置。参照图1

3,一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置,包括壳体1,壳体1的内部设有蒸发室2和加热设备3,且蒸发室2上设有投射孔4,壳体1的后内壁设有固定板5,固定板5的前表面通过活动块安装有基板6,其中,固定板5通过活动块带动基板6移动、以及加热蒸发对工件14进行镀膜的原理和过程以及均可采用
技术介绍
中的专利文件,基板6的下表面开设有开槽7,开槽7的内部安装有双向丝杆8,双向丝杆8的外壁安装有两个套环10,且两个套环10均通过连接板11的下表面均安装有夹板12,且两个夹板12通过多个防滑条121活动安装有工件14。
[0021]参照图2

3,两个连接板11上均活动贯穿有两个横杆13,且两个横杆13的两端分别与开槽7的两侧内壁固定连接;两个连接板11均位于开槽7的内部,且两个连接板11分别固定安装在套环10外周侧的下表面,贯穿两个连接板11的横杆13能够对连接板11进行限位,从而对套环10进行限位,使套环10在移动时不发生转动。
[0022]参照图3,位于同侧的多个防滑条121分别设在两个夹板12相邻的侧壁,且相邻的两个防滑条121之间的间隔相同,能够增加夹板12侧壁与工件14之间的摩擦力,增加其固定夹紧的效果。
[0023]参照图2

3,双向丝杆8的两端分别转动贯穿至基板6的外部,且双向丝杆8的两端均安装有旋钮9,便于对双向丝杆8的任意一端进行旋转,从而带动双向丝杆8转动。
[0024]本申请实施例一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置的实施原理为:使用时,将工件14置于两个夹板12之间,旋转两个旋钮9中的任意一个,旋带动双向丝杆8转动,双向丝杆8在转动时,即可带动两个套环10相互靠近,其中,贯穿两个连接板11的横杆13能够对连接板11进行限位,从而对套环10进行限位,使套环10在移动时不发生转动,进而,两个套环10即可通过连接板11带动两个夹板12相互靠近,直至两个夹板12相互靠近对工件14进行夹紧,其中,两个夹板12上的防滑条121能够增加夹板12侧壁与工件14之间的摩擦力,
增加其固定夹紧的效果,从而在基板6进行移动的过程,使工件14不易从基板6上掉落,不易影响后续的镀膜效果,当工件14镀膜完毕时,只需按照与上述相反的方向旋转旋钮9,旋钮9带动双向丝杆8转动,两个套环10即可通过连接板11带动两个夹板12相互远离,从而可将工件14进行取下。
[0025]以上均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置,包括壳体(1),所述壳体(1)的内部设有蒸发室(2)和加热设备(3),且蒸发室(2)上设有投射孔(4),所述壳体(1)的后内壁设有固定板(5),所述固定板(5)的前表面通过活动块安装有基板(6),其特征在于:所述基板(6)的下表面开设有开槽(7),所述开槽(7)的内部安装有双向丝杆(8),所述双向丝杆(8)的外壁安装有两个套环(10),且两个套环(10)均通过连接板(11)的下表面均安装有夹板(12),且两个夹板(12)通过多个防滑条(121)活动安装有工件(14)。2.根据权利要求1所述的一种具有加热蒸发机构的镀膜红外真空装置,其特征在于:两个所述连接板(11)上均活动贯穿有两个横...

【专利技术属性】
技术研发人员:马永超
申请(专利权)人:安徽嘉硕真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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