一种真空镀膜机料架制造技术

本申请涉及一种真空镀膜机料架，包括罐体和罐门，所述罐体的内部转动连接有转盘，罐体上方设置有电机，所述罐体的顶部轴线位置处固定连接有中间套件，所述转盘的顶部固定连接有永磁转子，且永磁转子轴向限位转动连接于中间套件内侧，所述中间套件外侧轴线限位转动连接有导磁转子，且导磁转子和电机输出轴套设固定，所述导磁转子和永磁转子之间组合成耦合器结构。本方案，通过在罐体顶部设置一体成型的中间套件，中间套件内外均分别转动连接永磁转子和导磁转子，相互之间形成磁力耦合结构，以此实现电机对转盘传动的同时，不会对罐体造成影响，相较于现有技术中采用密封结构，提升了装置的耐久度。装置的耐久度。装置的耐久度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机料架


[0001]本申请涉及真空镀膜的
，尤其是涉及一种真空镀膜机料架。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜过程中，需要将产品通过挂钩或机械手安置于真空镀膜机的内部，随后将加热的金属或非金属材料蒸发并凝结于工件表面，完成真空镀膜。
[0003]现有的真空镀膜机中通常设置有料架对工件进行安置，料架设置于转盘上，利用转盘的转动实现料架的匀速转动，现有的真空镀膜机转盘大都和外部的传动结构固定连接，外部的传动结构的输出轴贯穿真空镀膜机外壁设置，导致传动结构和真空镀膜机之间需要设置密封结构，密封结构长期使用过程中，容易老化、损毁，导致镀膜机无法正常抽真空。因此，为解决上述问题，本申请提供了一种真空镀膜机料架。
[0004]本
技术介绍
所公开的上述信息仅仅用于增加对本申请
技术介绍
的理解，因此，其可能包括不构成本领域普通技术人员已本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机料架，包括罐体(1)和罐门(2)，所述罐体(1)的内部转动连接有转盘(6)，罐体(1)上方设置有电机(4)，其特征在于：所述罐体(1)的顶部轴线位置处固定连接有中间套件(11)，所述转盘(6)的顶部固定连接有永磁转子(10)，且永磁转子(10)轴向限位转动连接于中间套件(11)内侧，所述中间套件(11)外侧轴线限位转动连接有导磁转子(5)，且导磁转子(5)和电机(4)输出轴套设固定，所述导磁转子(5)和永磁转子(10)之间组合成耦合器结构。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机料架，其特征在于：所述导磁转子(5)的顶部焊接有连接套(501)，且连接套(501)的内侧开设有限位槽(502)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马永超，
申请(专利权)人：安徽嘉硕真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：