一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘制造技术

一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，主要包括固定太阳轮、公转大齿轮、自转系、轨道滚轮系、定位系、顶部固定法兰、固定支撑杆、防污板、防污板支撑柱。所述固定太阳轮通过轨道滚轮系在腔体底板进行定位。所述公转大齿轮通过安装在固定太阳轮上端面的定位系进行定位。所述自转系在公转大齿轮上周向均布，自转小齿轮与所述固定太阳轮啮合。所述顶部固定法兰通过固定支撑杆与公转大齿轮连接。工件盘配套有防污板，防止传动零部件表面被沉积薄膜影响传动。所述防污板通过防污板支撑柱连接与公转大齿轮保持固定。本实用新型专利技术所提供的一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，可以使工件盘在实现公转、自转功能的同时，避免发生真空电离打火现象。火现象。火现象。

【技术实现步骤摘要】
一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘


[0001]本技术涉及工件表面镀膜
，特别涉及一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘。

技术介绍

[0002]在对回转工件的外圆表面进行磁控溅射镀膜时，需要工件可以实现自转，为提高生产效率，一般采用同时具有自转和公转功能的行星工件盘。有些工艺过程需要对工件引入偏压，使溅射出的靶材正离子在偏压的作用下获得动能，加速飞向工件并对工件进行轰击，打掉工件表面结合不牢固的原子，提高膜基结合力。在沉积开始之前引入偏压还可以使氩离子轰击工件表面，清除表面杂质，提高薄膜质量。
[0003]由于工件和工件盘接触，且工件盘一般为导体，如果工件和工件盘主体之间没有绝缘结构，对工件引入偏压的同时工件盘也将带有偏压，这不仅影响镀膜质量，甚至会在工件盘各零部件的配合间隙发生真空电离打火现象，造成设备使用安全隐患。另外，如果工件盘在长期使用下绝缘材料表面被镀上了薄膜或被膜层材料污染，绝缘材料表面也会发生打火现象。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提供了一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，使工件盘在实现公转、自转功能的同时，避免发生真空电离打火现象。
[0005]本技术采用如下技术方案：一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，主要包括固定太阳轮、公转大齿轮、自转系、轨道滚轮系、定位系、顶部固定法兰、固定支撑杆、防污板、防污板支撑柱。所述固定太阳轮通过底部的轨道滚轮系和安装在腔体底板上的导轨互相配合进行定位，然后通过夹紧装置将其锁紧在真空腔体内。所述公转大齿轮通过安装在固定太阳轮上端面周向均布的定位系进行定位，使公转大齿轮和固定太阳轮保持同轴。所述自转系在公转大齿轮上周向均布，自转系的自转小齿轮与所述固定太阳轮啮合。所述顶部固定法兰通过周向均布的固定支撑杆与公转大齿轮连接，使顶部固定法兰与公转大齿轮保持固定。工件盘配套有防污板，防止传动零部件表面被沉积薄膜影响传动。所述防污板与在公转大齿轮周向均布的防污板支撑柱连接，使防污板与公转大齿轮保持固定。
[0006]优选的，所述行星工件盘底部安装有轨道滚轮系，可在导轨上滑动。安装时，将工件盘坐在导轨上滑动到位，然后利用定位锥将工件盘的位置固定并锁死。
[0007]优选的，自转系采用分离式结构，分为自转齿轮部件和自转工件轴两部分。两者之间采用孔轴配合进行定位、拨盘进行传动。为防止镀膜过程中，陶瓷滚动轴承被镀上膜层而影响轴承的传动和绝缘效果，拨盘设计为“杯盖”形，并和轴承座保持3mm以上间隙。
[0008]优选的，自转系所用轴承为陶瓷轴承，自转齿轮传动轴分为三部分：拨盘传动轴、陶瓷绝缘轴、齿轮传动轴，自转系利用陶瓷轴承和陶瓷绝缘轴实现自转工件轴和自转齿轮部件之间绝缘。
[0009]优选的，为方便自转工件轴的拆装，顶部固定法兰设置开口槽并配有定位环。
[0010]优选的，防污板支撑柱和防污板的连接处配置有伞状绝缘结构，避免因在连接处沉积有连续的薄膜而导致绝缘失效。
附图说明
[0011]图1、图2是本技术的立体结构图，图1为俯视方向的轴测图，图2为仰视方向的轴测图。图3是去掉防污板和防污板支撑柱后工件盘的立体结构图。图4是自转系剖视图。图5是防污板支撑柱处的局部剖视图。
[0012]其中：1
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固定太阳轮、2
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定位系、3
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M6螺钉、4
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轨道滚轮系、5
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公转大齿轮、6
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自转系、7
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M6平垫、8
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M6弹垫、9
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M6螺钉、10
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固定杆支撑座、11
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M8螺钉、12
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固定支撑杆、13
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顶部固定法兰、14
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M16平垫、15
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M16弹垫、16
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M16螺母、17
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定位环、18
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防污板支撑柱、19
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防污板绝缘环、20
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防污板绝缘套、21
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防污板绝缘盖、22
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M10平垫、23
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M10螺母、24
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左防污板、25
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右防污板、26
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中心防污板、27
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防污板连接板、29
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M4螺钉、30
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轴承座、31
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陶瓷滚动轴承32
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拨盘传动轴、33
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绝缘陶瓷轴、34
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齿轮传动轴、35
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自转小齿轮、36
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销、37
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拨盘、38
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自转工件轴、39
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定位锁紧块、40
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拨盘锁紧垫圈、41
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拨盘锁紧螺母。
具体实施方式
[0013]为了对本技术的总体方案、技术特征、和该技术能达到的目的和效果有更加清楚的理解，下面结合附图对本技术作进一步阐述。
[0014]固定太阳轮1底面安装有4个轨道滚轮系4，每个轨道滚轮系4通过4个M6螺钉3紧固在固定太阳轮1上。轨道滚轮系4与导轨配合对工件盘进行安装定位。固定太阳轮1底面还焊接有2个背对的定位锁紧块39，当工件盘在导轨上滑动到锁紧位置之后，通过定位锁紧块39上的锥形孔即可实现锁紧。
[0015]公转大齿轮5通过安装在固定太阳轮1上端面周向均布的5个定位系2进行定位，使公转大齿轮5和固定太阳轮1保持同轴。每个定位系2由4个M6螺钉3紧固在固定太阳轮1上。10个自转系6分别通过3个M6螺钉9安装在公转大齿轮5上并周向均布，每个自转系6的自转小齿轮35与固定太阳轮1啮合。
[0016]自转系6采用分离式结构，分为自转齿轮部件和自转工件轴38两部分。自转齿轮部件中的自转小齿轮35通过键连接和齿轮传动轴34进行传动，通过销36使自转小齿轮35在齿轮传动轴34上保持固定的位置。拨盘传动轴32和齿轮传动轴34中间安装有绝缘陶瓷轴33，拨盘传动轴32和齿轮传动轴34靠近绝缘陶瓷轴33的一端为方形轴，绝缘陶瓷轴33两端面有方形盲孔，方形轴和方形盲孔配合实现传动。拨盘传动轴32和拨盘37之间同样使用键连接进行传动，拨盘37焊有3根周向均布的拨盘钉，自转工件轴38下端自转轴盘的内圆面也焊有一根拨盘钉，当自转系自转时，拨盘37的拨盘钉推动自转工件轴38的拨盘钉开始转动。拨盘传动轴32和齿轮传动轴34配有陶瓷滚动轴承31，使自转工件轴38和轴承座之间保持绝缘。为防止镀膜过程中，陶瓷滚动轴承31被镀上膜层而影响轴承的传动和绝缘效果，拨盘37设计为“杯盖”形，在护住轴承座30上端开口的同时，和轴承座30保持3mm以上间隙。
[0017]公转大齿轮5上端面还安装有周向均布的5个固定杆支撑座1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，其特征在于：主要包括固定太阳轮、公转大齿轮、自转系、轨道滚轮系、定位系、顶部固定法兰、固定支撑杆、防污板、防污板支撑柱，所述固定太阳轮通过底部的轨道滚轮系和安装在腔体底板上的导轨互相配合进行定位，然后通过夹紧装置将其锁紧在真空腔体内，所述公转大齿轮通过安装在固定太阳轮上端面周向均布的定位系进行定位，使公转大齿轮和固定太阳轮保持同轴，所述自转系在公转大齿轮上周向均布，自转系的自转小齿轮与所述固定太阳轮啮合，所述顶部固定法兰通过周向均布的固定支撑杆与公转大齿轮连接，使顶部固定法兰与公转大齿轮保持固定，工件盘配套有防污板，防止传动零部件表面被沉积薄膜影响传动，所述防污板与在公转大齿轮周向均布的防污板支撑柱连接，使防污板与公转大齿轮保持固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：范志鹏，韩辉，林启璇，胡佳，张松林，
申请(专利权)人：成都超迈光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：