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一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，主要包括固定太阳轮、公转大齿轮、自转系、轨道滚轮系、定位系、顶部固定法兰、固定支撑杆、防污板、防污板支撑柱。所述固定太阳轮通过轨道滚轮系在腔体底板进行定位。所述公转大齿轮通过安装在固定太阳轮上端面的定位系...
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