一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及纳米晶体薄膜制备技术领域，具体是涉及一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法，夹具台包括基板、用于吸附固定玻璃衬片的承托机构及能将导电丝的两端夹紧并绷设在承托机构上的两组夹丝机构，制备装置包括夹具台、开槽机构、嵌丝机构、等离子清洁机构及磁控溅射机构；夹具台能够在开槽机构、嵌丝机构、等离子清洁机构和磁控溅射机构所在的工作区间内移动。本发明专利技术通过将玻璃衬片放置在夹具台上，通过开槽机构在玻璃衬片上开槽后嵌入导电丝，在等离子清洁机构清洁后通过磁控溅射机构在玻璃衬片上溅射纳米晶膜，提供一种新的制备纳米晶薄膜的制备装置及其制备方法，操作过程简单，效率高，能够实现批量产品的加工。的加工。的加工。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法


[0001]本专利技术涉及纳米晶体薄膜制备
，具体是涉及一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法。

技术介绍

[0002]纳米晶指纳米尺寸上的晶体材料，或具有晶体结构的纳米颗粒。纳米晶体具有很重要的研究价值。纳米晶体的电学和热力学性质显现出很强的尺寸依赖性，从而可以通过细致的制造过程来控制这些性质。而纳米晶膜是一种由纳米晶颗粒构成、尺寸在2至10nm范围内的薄膜，由于其纳米尺度的特性，赋予了其很多独特的性能，使其在生命科学、信息、环境、能源和催化等领域具有广泛的应用前景。
[0003]热电材料能实现热能与电能的转换，器件的热电性能依赖于其品质因子。热电薄膜器件能实现更低的尺寸，这一优点使得热电薄膜器件更能适用于现有的微电子封装技术，同时也更易实现微电子处理器的定点的冷却与加热；因此，热电薄膜器件在微电子领域具有潜在的应用。
[0004]到目前为止，高性能的无机热电薄膜通常都采用高真空沉积技术或化学气相沉积法来获得，如中国专利CN102867906A公开了一种利用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，包括有基板（3）、用于吸附固定玻璃衬片（5）的承托机构（1）及能将导电丝（6）的两端夹紧并绷设在所述承托机构（1）上的两组夹丝机构（2），所述两组夹丝机构（2）分别位于所述承托机构（1）的两侧，且均装设在所述基板（3）上；所述承托机构（1）包括有固定座（11）、滑动座（12）、单向阀件（13）、托板（14）及第一弹簧（15），固定座（11）固定地设置在基板（3）上，滑动座（12）同轴滑动地设置在固定座（11）上，第一弹簧（15）同轴地设置在滑动座（12）和固定座（11）之间，滑动座（12）中具有上下贯穿的第一气道（101），固定座（11）具有上下贯穿的第二气道（102），第一气道（101）和第二气道（102）相连通，单向阀件（13）设置在第二气道（102）中，托板（14）具有连接口（141），滑动座（12）的顶端与连接口（141）相连接，玻璃衬片（5）放置在托板（14）上。2.根据权利要求1所述的一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，所述固定座（11）包括固定设置在所述基板（3）上的座体（111）和连接于所述座体（111）上的筒体（112），所述滑动座（12）同轴滑动设置在所述筒体（112）内；所述筒体（112）的顶部设有防止滑动座（12）脱出的限位结构；所述座体（111）中具有安置通道（103），所述单向阀件（13）设置在所述安置通道（103）中。3.根据权利要求2所述的一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，所述限位结构包括固定环（121）和限位环（16）；所述固定环（121）设置在所述滑动座（12）外圆周面的底端，所述固定环（121）同轴滑动的设置在所述筒体（112）中，所述限位环（16）同轴地设置在所述筒体（112）内圆周面的顶端，所述限位环（16）与所述滑动座（12）的外圆周面滑动配合。4.根据权利要求2所述的一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，所述单向阀件（13）包括滚珠（131）和第二弹簧（132），所述安置通道（103）的顶端具有横截面自下向上逐渐减小的锥口（104），所述滚珠（131）滑动设置在所述锥口（104）中，所述第二弹簧（132）的顶端抵接在所述滚珠（131）的底端；所述座体（111）的底部还同轴设有限位盘（17）；所述限位盘（17）上设有与所述安置通道（103）相连通的气口，所述限位盘（17）的气口顶端设置有向上延伸的定位筒（171），所述第二弹簧（132）套设在所述定位筒（171）上。5.根据权利要求1所述的一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，所述第一气道（101）的顶端设置有与其同轴的密封环（18）。6.根据权利要求1至5任一项所述的一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，所述夹丝机构（2）包括安置座（21）、第一光杆（22）、第二光杆（23）、第一齿板（24）、第二齿板（25）、第三弹簧（26）和第四弹簧（27），所述安置座（21）设置在所述基板（3）上，所述第一光杆（22）和第二光杆（23）水平地设置在安置座（21）上，所述第一齿板（24）滑动地设置在所述第一光杆（22）上，所述第二齿板（25）滑动地设置在所述第二光杆（23）上，所述第一齿板（24）的顶端等间距地设置有第一夹槽，所述第二齿板（25）的顶端等间距地设置有第二夹槽，所述第三弹簧（26）套设在第一光杆（22）上，所述第四弹簧（27）套设在第二光杆（23）上，所述第一夹槽和第二夹槽可弹性夹持导电丝（6）的端部。7.根据权利要求6所述的一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台，其特征在于，所述夹丝机构（2）还包括高度调节组件，所述高度调节组件包括第一滑块（281）、第二滑块（282）、双向丝杆（283）、第一连杆（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：许高坡，梁蝉，滕飞，
申请(专利权)人：广州广钢气体能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：