板式加热器以及加热腔制造技术

本实用新型专利技术提供板式加热器以及加热腔。所述板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。本实用新型专利技术能提高对载板中的硅片加热的均匀性，并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率。的转换效率。的转换效率。

【技术实现步骤摘要】
板式加热器以及加热腔


[0001]本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及板式加热器以及加热腔。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、物理气相沉积(PVD)设备等真空镀膜设备，以便分别形成非晶硅/微晶硅层、透明导电层TCO。加热腔可为在进行PECVD工艺或PVD工艺之前对硅片进行预热的预热腔。加热腔也可为直接进行PECVD工艺或PVD工艺的PECVD反应腔或PVD反应腔。加热腔将硅片加热到一定温度，具体温度要根据具体工艺进行确定，合适的加热温度可以使膜层与硅片的附着力增强、膜层致密，对于PVD工艺形成的ITO膜层，合适的加热温度(例如250℃左右)可降低方块电阻。同时要求加热腔对硅片加热均匀，以减少色差，使多片硅片的膜层性能一致。
[0003]目前大多数PVD产线的加热腔中的加热器都是采用板式加热器结构，其便于安装维护，体积小且占用腔体空间小，能实现大面积均匀加热。现有技术中的加热腔以及板式加热器的结构如图1以及图2所示，加热腔1用于对承载在载板2中的硅片进行加热，所述加热腔1包括一个或多个板式加热器，所述板式加热器包括支架11、依次安装在所述支架上的加热件12以及用于将所述加热件产生的热量辐射出去的辐射板13，支架11通过固定件10固定在腔壁上。如图2所示，现有技术中的辐射板13包括多个辐射单元130、131、132、...、138，多个辐射单元辐射板用几块波纹板或铝板拼接，但是考虑到温度升高时辐射板会膨胀，相邻辐射单元之间留有间隙D(如图3所示)，这个间隙D对硅片加热的均匀性非常不利，会使温度均匀性超过10℃。
[0004]因此，如何提供一种加热腔，以提高对载板中的硅片加热的均匀性，并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的上述问题，本技术提出了一种板式加热器，所述板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。
[0006]在一实施例中，所述预定间隙为2mm
‑
20mm，所述辐射板的厚度范围为5mm
‑
8mm。
[0007]在一实施例中，任意两个相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中设置有相互凹凸嵌套配合的台阶。
[0008]在一实施例中，任意两个相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中设置有相互凹凸嵌套配合的凹槽以及凸起。
[0009]在一实施例中，所述辐射板为黑色阳极氧化铝板，所述加热件为加热丝。
[0010]在一实施例中，所述辐射板的每个辐射单元范围内分别设置有加热丝，每个辐射单元上设置测温件以便对每个辐射单元单独控温。
[0011]本技术还提供一种加热腔，其用于对承载在载板中的硅片进行加热，所述加热腔包括一个或多个如上所述的板式加热器。
[0012]在一实施例中，所述板式加热器的多个辐射单元包括位于边缘的边缘辐射单元以及位于中部的中部加热单元，所述边缘辐射单元的功率密度大于中部加热单元的功率密度。
[0013]在一实施例中，所述载板的尺寸为1462mm
×
1597mm，所述辐射板的尺寸为1770mm
×
1930mm，所述辐射板包括4块边缘辐射单元以及5块中部加热单元。
[0014]在一实施例中，4块边缘辐射单元的功率密度为1.1w/cm2，加热丝间距为18mm；5块中部加热单元中靠近两侧的2块中部加热单元的功率密度为1.05w/cm2，加热丝间距为23mm，中间3块中部加热单元的功率密度为1w/cm2，加热丝间距为26mm。
[0015]与现有技术中板式加热器的辐射板包括的多个辐射单元彼此之间设置有间隙易导致对载板中的硅片加热不均匀，进而造成工艺不均匀以及太阳能电池转换效率降低相比，本技术的板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。本技术能提高对载板中的硅片加热的均匀性，并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率。
附图说明
[0016]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本技术的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0017]图1为现有技术的加热腔的组成结构示意图。
[0018]图2为图1中的板式加热器的组成结构示意图。
[0019]图3为图2中板式加热器中部区域的组成结构示意图。
[0020]图4为本技术的加热腔的组成结构示意图。
[0021]图5为图4中的板式加热器的组成结构示意图。
[0022]图6为图5中板式加热器一实施例中部区域的组成结构示意图。
[0023]图7为图5中板式加热器另一实施例中部区域的组成结构示意图。
具体实施方式
[0024]以下结合附图和具体实施例对本技术作详细描述，以便更清楚理解本技术的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本技术的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。本说明书以及权利要求书中所使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。
[0025]参见图4，其为本技术的加热腔的组成结构示意图。如图4所示，本技术的加热腔1”用于对承载在载板2中的硅片(未图示)进行加热，加热腔1”包括一个或多个板式
加热器，例如可包括设置在载板2上下两侧的两个板式加热器。板式加热器包括固定件10、支架11、依次安装在所述支架11上的加热件12以及辐射板13”。所述辐射板13”用于将所述加热件12产生的热量辐射出去。加热腔1”可为预热腔、传输腔或PVD工艺腔。
[0026]所述载板2的尺寸为1462mm
×
1597mm，所述辐射板13”的尺寸为1770mm
×
1930mm。载板2和辐射板13”的尺寸可根据加热腔1”的尺寸具体进行确定及调整。所述辐射板13”为黑色阳极氧化铝板，所述加热件为加热丝。黑色阳极氧化铝板的辐射系数近似为1，能有效辐射加热丝的热量到硅片上。
[0027]参见图5，其为图4中的板式加热器的组成结构示意图。如图5所示，所述辐射板13”包括多个辐射单元130”、131”、132”、...、138”，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙D(见图6和图7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种板式加热器，其包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，其特征在于，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。2.根据权利要求1所述的板式加热器，其特征在于，所述预定间隙为2mm
‑
20mm，所述辐射板的厚度范围为5mm
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8mm。3.根据权利要求2所述的板式加热器，其特征在于，任意两个相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中设置有相互凹凸嵌套配合的台阶。4.根据权利要求2所述的板式加热器，其特征在于，任意两个相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中设置有相互凹凸嵌套配合的凹槽以及凸起。5.根据权利要求1所述的板式加热器，其特征在于，所述辐射板为黑色阳极氧化铝板，所述加热件为加热丝。6.根据权利要求5所述的板式加热器，其特征在于，所述辐射板的每个辐射单元范围内分别设置有加热丝，每个辐射单元上设置测温...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐升东，徐和平，
申请(专利权)人：理想万里晖半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：