一种获取目标光源光斑分布方法技术

本发明专利技术涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤：提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标以及平均光强；预设阈值，从初始光强收敛坐标中输出平均光强大于该阈值的光斑的目标光强收敛坐标，解决了现有技术中难以准确的对光斑进行定位的技术问题。定位的技术问题。定位的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种获取目标光源光斑分布方法


[0001]本专利技术涉及计算光刻
，具体涉及一种获取目标光源光斑分布方法。

技术介绍

[0002]光源光点检测作为光刻流程中步骤，主要应用于芯片、平板显示器等微电子制造行业。随着光刻工艺的不断发展，新目标节点的不断逼近，目标光斑位置是否准确成了决定光刻精度的关键因素之一。目前比较常见的检测光斑中心的算法有灰度质心法、圆拟合法、Hough变换法以及多种改进算法等。
[0003]如果光斑光强分布均匀，使用恰当的算法可以使光斑定位精度达到亚像素级别，但是在一些实际应用中，光源存在散斑，非对称，光强不均等多种情况，很难快速得到目标光源光强分布的相关信息。特别是对于复杂的光源，传统算法得到的最大光点时常是噪点，导致光源信息传递不准确，同时不规则的光斑信息很难快速确认，需要工程师对此二次确认，准确度低，为此，本专利技术提供一种获取目标光源光斑分布方法。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中难以准确的对光斑进行定位的技术问题，本专利技术提供一种获取目标光源光斑分布方法。本专利技术解决技术问题的方案是提供一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤：
[0005]提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；
[0006]根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；
[0007]对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；
[0008]从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(S/>x
,S
y
)以及平均光强l
avg
；
[0009]预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(S
x
,S
y
)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(S
′
x
,S
′
y
)。
[0010]优选的，所述光源数据包括至少一光源的坐标像素点n、光源坐标(x,y)、光源强度l
xy
以及光斑面积。
[0011]优选的，在获取所述光源强度l
xy
后，还包括对所述光源强度l
xy
进行归一化得到归一化后光源强度l
′
xy
。
[0012]优选的，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：
[0013]选取一最小的光斑面积预设一初始搜寻步长ds；
[0014]根据该光斑的坐标像素点n，以及从该光斑中提取出光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)，计算出该光源的实际搜索步长step。
[0015]优选的，所述对所述光源数据进行预处理以剔除背景噪点具体为：
[0016]针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；
[0017]若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除。
[0018]优选的，若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强可以收敛至该预设范围内的一光源坐标(x2,y2)处，则判断为光斑，并通过计算获得计算光强I(x,y)。
[0019]优选的，对所述光源数据进行预处理后还包括对计算光强进行归一化处理得到归一化光强l
x,y
。
[0020]优选的，所述从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(S
x
,S
y
)以及平均光强l
avg
具体包括：
[0021]获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光源划分成若干相同的集群；
[0022]选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑的集合L；计算光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合L的平均光强l
avg
。
[0023]优选的，所述选择一存在光斑的集群进行分析具体为：
[0024]对划分后的集群选择任一集群判定是否存在光斑；
[0025]若未存在光斑，则顺时针或者逆时针选择该集群相邻的集群进行判定是否存在光斑；直到获取到含有光斑信息的集群。
[0026]优选的，设置一阈值l1，若l
avg
＞l1时，则输出目标光强收敛坐标(S
′
x
,S
′
y
)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(S
x
,S
y
)以及平均光强l
avg
位置。
[0027]与现有技术相比，本专利技术提供的一种获取目标光源光斑分布方法具有以下优点：
[0028]1、本专利技术实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(S
x
,S
y
)以及平均光强l
avg
；预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(S
x
,S
y
)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(S
′
x
,S
′
y
)，通过这样的设计，对于情况复杂的实际图像，包括噪声、变形、部分区域残缺等有很好的适应性和抗干扰能力，对于不均匀的光源也可以快速计算得到最佳分布矢量结果信息，且不占用内存，极大提高了对光斑亮度不均匀的光源、散点光源、以及边缘不规则光源的光源等诸多实用光源的支持性。
[0029]2、本专利技术实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，在获取所述光源强度l
xy
后，还包括以下步骤：对所述光源强度l
xy
进行归一化得到归一化后光源强度l
′
xy
；并判断所述光源数据是否完整，若光源数据不完整，则对缺失的光源数据进行提示以及补充；通过对光源强度归一化处理，方便将所有的光源强度固定在一个范围内，便于后期计算。
[0030]3、本专利技术实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：选取一最小的光源面积预设一初始搜寻步长ds，根据该光源的坐标像素点n，以及从该光源坐标(x,y)中提取出光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种获取目标光源光斑分布方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(S
x
，S
y
)以及平均光强l
avg
；预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(S
x
，S
y
)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(S
′
x
，S
′
y
)。2.如权利要求1所述的一种获取目标光源光斑分布方法，其特征在于，所述光源数据包括至少一光源的坐标像素点n、光源坐标(x，y)、光源强度l
xy
以及光斑面积。3.如权利要求2所述的一种获取目标光源光斑分布方法，其特征在于，在获取所述光源强度l
xy
后，还包括以下步骤：对所述光源强度l
xy
进行归一化得到归一化后光源强度l
′
xy
。4.如权利要求3所述的一种获取目标光源光斑分布方法，其特征在于，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：选取一最小的光斑面积预设一初始搜寻步长ds；根据该光斑的坐标像素点n，以及从该光斑中提取出光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)，计算出该光源的实际搜索步长step。5.如权利要求4所述的一种获取目标光源光斑分布方法，其特征在于，所述对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑具体为：针对其中一光源的光源坐标(x1，y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1，y1)预设范...

【专利技术属性】
技术研发人员：何振飞，
申请(专利权)人：深圳晶源信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：