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本发明涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤：提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取...
该专利属于深圳晶源信息技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳晶源信息技术有限公司授权不得商用。

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