本实用新型专利技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种石墨盘烘烤除杂装置，所有所述吹气孔均匀设置在烘烤桶的底面中部；所述治具设置在烘烤桶中，多个所述石墨盘互相平行且间隔设置，所述石墨盘竖直设置在治具上，所述治具在石墨盘的侧边沿；所述烘烤桶具有顶盖，所述导流圆锥尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。本实用新型专利技术的有益效果在于：本实用新型专利技术提供的石墨盘烘烤除杂装置中，所述吹气孔向上吹出除杂气体，石墨盘和治具的方位设置，使除杂气体流过石墨盘表面之间的间隙，避免了石墨盘和治具阻挡除杂气体的流动。除杂气体在经过石墨盘后，被导流圆锥和顶盖导流而在烘烤桶中形成涡流，这提高了除杂气体与石墨盘接触的机会。高了除杂气体与石墨盘接触的机会。高了除杂气体与石墨盘接触的机会。
【技术实现步骤摘要】
一种石墨盘烘烤除杂装置
[0001]本技术涉及LED芯片
，具体涉及一种石墨盘烘烤除杂装置。
技术介绍
[0002]在LED芯片的制程中，常使用到MOCVD机台，将LED芯片的原料放置在石墨盘上，并将衬底和石墨盘放入MOCVD机台，使原料被反应后生长衬底上。
[0003]石墨盘在使用后要经过高温烘烤，在烘烤的过程中需要用到特定的除杂气体去反应石墨盘表面的杂质。
[0004]现有技术中，多个石墨盘是一同参与高温烘烤工序的，因为石墨盘是水平设置，而除杂气体的流向几乎是竖直的，这使多个石墨盘中，设置在中部的石墨盘较少的接触到了除杂气体。本领域技术人员为了使石墨盘被有效清洁，只得增大除杂气体的使用量(或者延长烘烤时长)，这大大增加了LED芯片的生产成本。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种石墨盘烘烤除杂装置，降低清洁石墨盘的成本。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种石墨盘烘烤除杂装置，包括烘烤桶、治具和导流圆锥；
[0007]所述烘烤桶的底面设有多个吹气孔，所有所述吹气孔均匀设置在烘烤桶的底面中部；
[0008]所述治具设置在烘烤桶中，多个所述石墨盘互相平行且间隔设置，所述石墨盘竖直设置在治具上，所述治具在石墨盘的侧边沿；
[0009]所述烘烤桶具有顶盖，所述导流圆锥尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。
[0010]进一步地，所述烘烤桶的内侧壁上设有竖直的滑轨，所述治具远离石墨盘的一侧设有与滑轨对应的滑槽。
[0011]进一步地，所有所述石墨盘设置在烘烤桶的中部。
[0012]进一步地，所述导流圆锥的母线为弧线。
[0013]进一步地，还包括外桶，所述烘烤桶设置在外桶中，所述外桶的内壁上设有保温石棉瓦。
[0014]本技术的有益效果在于：本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置中，所述吹气孔向上吹出除杂气体，石墨盘和治具的方位设置，使除杂气体流过石墨盘表面之间的间隙，避免了石墨盘和治具阻挡除杂气体的流动。
[0015]除杂气体在经过石墨盘后，被导流圆锥和顶盖导流而在烘烤桶中形成涡流，这提高了除杂气体与石墨盘接触的机会。
[0016]故本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置使除杂气体更多的接触各个石墨盘，降低了除杂气体的使用量，降低了清洁石墨盘的成本。
附图说明
[0017]图1为本技术具体实施方式的一种石墨盘烘烤除杂装置的部分结构示意图；
[0018]图2为本技术具体实施方式的一种石墨盘烘烤除杂装置的部分结构示意图；
[0019]标号说明：
[0020]1、烘烤桶；11、吹气孔；12、滑轨；
[0021]2、治具；3、导流圆锥；4、石墨盘。
具体实施方式
[0022]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0023]请参照图1
‑
2，一种石墨盘烘烤除杂装置，包括烘烤桶1、治具2和导流圆锥3；
[0024]所述烘烤桶1的底面设有多个吹气孔11，所有所述吹气孔11均匀设置在烘烤桶1的底面中部；
[0025]所述治具2设置在烘烤桶1中，多个所述石墨盘4互相平行且间隔设置，所述石墨盘4竖直设置在治具2上，所述治具2在石墨盘4的侧边沿；
[0026]所述烘烤桶1具有顶盖，所述导流圆锥3尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。
[0027]由上描述可知，本技术的有益效果在于：本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置中，所述吹气孔11向上吹出除杂气体，石墨盘4和治具2的方位设置，使除杂气体流过石墨盘4表面之间的间隙，避免了石墨盘4和治具2阻挡除杂气体的流动。
[0028]除杂气体在经过石墨盘4后，被导流圆锥3和顶盖导流而在烘烤桶1中形成涡流，这提高了除杂气体与石墨盘4接触的机会。
[0029]故本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置使除杂气体更多的接触各个石墨盘4，降低了除杂气体的使用量，降低了清洁石墨盘4的成本。
[0030]进一步地，所述烘烤桶1的内侧壁上设有竖直的滑轨12，所述治具2远离石墨盘4的一侧设有与滑轨12对应的滑槽。
[0031]由上描述可知，所述滑轨12提供一种简单高效的在烘烤桶1固定治具2的结构，在滑轨12上取放治具2，也使治具2的取放变得方便。
[0032]进一步地，所有所述石墨盘4设置在烘烤桶1的中部。
[0033]由上描述可知，上述设置使各个石墨盘4的除杂效果均匀。
[0034]进一步地，所述导流圆锥3的母线为弧线。
[0035]由上描述可知，上述设置使除杂气体流过导流圆锥3时受到的阻力降低。
[0036]进一步地，还包括外桶，所述烘烤桶1设置在外桶中，所述外桶的内壁上设有保温石棉瓦。
[0037]由上描述可知，所述外桶和保温石棉瓦提高烘烤桶1的保温效果，降低烘烤石墨盘4的成本。
[0038]本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置的应用背景为：当LED芯片制程中，石墨盘4需要被清洁时。
[0039]实施例一
[0040]请参照图1
‑
2，一种石墨盘烘烤除杂装置，包括烘烤桶1、治具2和导流圆锥3；
[0041]所述烘烤桶1的底面设有多个吹气孔11，所有所述吹气孔11均匀设置在烘烤桶1的底面中部；
[0042]所述治具2设置在烘烤桶1中，多个所述石墨盘4互相平行且间隔设置，所述石墨盘4竖直设置在治具2上，所述治具2在石墨盘4的侧边沿；
[0043]所述烘烤桶1具有顶盖，所述导流圆锥3尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。
[0044]所述烘烤桶1的内侧壁上设有竖直的滑轨12，所述治具2远离石墨盘4的一侧设有与滑轨12对应的滑槽。
[0045]所有所述石墨盘4设置在烘烤桶1的中部。
[0046]所述导流圆锥3的母线为弧线。
[0047]所述石墨盘烘烤除杂装置还包括外桶，所述烘烤桶1设置在外桶中，所述外桶的内壁上设有保温石棉瓦。
[0048]本技术提供的石墨盘烘烤除杂装置的使用及原理：
[0049]工作人员将多个石墨盘4互相平行地间隔设置在治具2上，工作人员旋转治具2后时治具2连接滑轨12并将治具2滑到滑轨12的底端。此时，治具2夹持石墨盘4的槽体的开口水平，石墨盘4为竖直状态，多个石墨盘4在烘烤桶1中部，治具2在石墨盘4的侧边沿。
[0050]启动吹气孔11后，除杂气体从底部向上流过石墨盘4之间的间隙，进而到达导流圆锥3和顶盖，除杂气体被导流圆锥3和顶盖改向后而在烘烤桶1中形成涡流。
[0051]这使除杂气体的流动速率提高，提高了除杂气体与石墨盘4的接触机会，以此降低了石墨盘4的清洁成本。
[0052]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，包括烘烤桶、治具和导流圆锥；所述烘烤桶的底面设有多个吹气孔，所有所述吹气孔均匀设置在烘烤桶的底面中部；所述治具设置在烘烤桶中，多个所述石墨盘互相平行且间隔设置，所述石墨盘竖直设置在治具上，所述治具在石墨盘的侧边沿；所述烘烤桶具有顶盖，所述导流圆锥尖端朝下且设置在顶盖内壁的中部。2.根据权利要求1所述石墨盘烘烤除杂装置，其特征在于，所述烘...
【专利技术属性】
技术研发人员：李林，朱建海，刘坚，欧辉映，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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