热炉结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种热炉结构，该热炉结构包括炉体、炉口法兰和测温装置，炉体的一端敞开设置，另一端封闭设置，炉口法兰配合于炉体的敞开端，测温装置穿设于炉体的封闭端和/或炉口法兰，且伸入炉体内部。本实用新型专利技术的热炉结构可以根据实际需要在炉体的密封端和/或炉口法兰上设置测温装置，灵活性较强，能够避免测温装置长度过长的现象发生，既能够降低了材料浪费，又能够有效地降低漏电或者短路的故障的发生概率，降低热炉的结构的使用成本。降低热炉的结构的使用成本。降低热炉的结构的使用成本。

【技术实现步骤摘要】
热炉结构


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种热炉结构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积法不仅广泛应用于光伏电池片加工领域，在半导体加工领域也发挥着重要作用。在光伏电池片加工领域，常见的化学气相沉积工艺包括常压化学沉积、低压化学沉积以及等离子体增强化学沉积。除了化学沉积方法，扩散工艺也广泛应用在光伏电池片加工环节，例如硼扩散、磷扩散等等。化学沉积设备和扩散设备，都是采用高温加热的方式对硅片进行加工。随着光伏加工设备硅片装载量逐渐增大，如何保证高温炉内硅片镀膜均匀性是光伏电池片加工的关键核心之一。为保证高温炉内硅片镀膜的均匀性，可以从提高温度场的均匀性着手。随着光伏化学沉积设备和扩散设备长度增加，高温炉需要分为多个温区独立监测温度并进行调节。
[0003]现有的热炉结构的测温装置通常从热炉的尾部穿入，这样虽然能够提升密封性，避免安装测温装置带来的泄露问题，但是灵活性较差，如果需要测量的温区在炉口的位置，那么测温装置就需要较长的长度，一方面造成了材料浪费，另一方面在工作过程中，较长的测温装置也容易损坏，增加了热炉结构的使用成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种热炉结构，该热炉结构可以根据实际需要在炉体的密封端和/或炉口法兰上设置测温装置，灵活性较强，能够避免测温装置长度过长的现象发生，既能够降低了材料浪费，又能够有效地降低漏电或者短路的故障的发生概率，降低热炉的结构的使用成本。
[0005]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0006]本技术公开了一种热炉结构，包括：炉体，所述炉体的一端敞开设置，另一端封闭设置；炉口法兰，所述炉口法兰配合于所述炉体的敞开端；测温装置，所述测温装置穿设于所述炉体的封闭端和/或所述炉口法兰，且伸入所述炉体内部。
[0007]在一些实施例中，所述测温装置包括第一密封保护套和第一热电偶，所述第一密封保护套穿设于所述炉体的封闭端，所述第一热电偶穿设于所述第一密封保护套，所述第一热电偶的一端伸入所述炉体且对应所述炉体内的待测温区设置。
[0008]在一些具体的实施例中，所述第一热电偶为多个，多个所述第一热电偶分别对应所述炉体内的多个所述待测温区设置。
[0009]在一些实施例中，所述测温装置包括第二密封保护套和第二热电偶，所述第二密封保护套穿设于所述炉口法兰，所述第二热电偶穿设于所述第二密封保护套，所述第二热电偶的一端伸入所述炉体且对应所述炉体内的待测温区设置。
[0010]在一些具体的实施例中，所述炉口法兰的外周壁上设有安装孔，所述安装孔沿所述炉口法兰的径向延伸设置，所述第二密封保护套插接于所述安装孔，所述第二热电偶位
于所述炉体外侧的部分沿所述炉体的径向延伸设置，所述第二热电偶位于所述炉体内侧的部分沿所述炉体的轴向延伸设置。
[0011]在一些更具体的实施例中，所述炉口法兰上还设有环绕所述安装孔设置的安装套筒，所述第二密封保护套插接于所述安装套筒。
[0012]在一些具体的实施例中，所述第二热电偶为多个，多个所述第二热电偶分别对应所述炉体内的多个所述待测温区设置。
[0013]在一些实施例中，所述测温装置伸入所述炉体的部分与所述炉体的内壁间隔设置。
[0014]在一些实施例中，所述热炉结构还包括炉门，所述炉门能够抵接于所述炉口法兰且用于密封所述炉体的敞开端，穿设于所述炉口法兰的所述测温装置位于所述炉门的径向外侧；或者，所述炉门上设有用于避让所述测温装置的避让缺口，所述避让缺口与所述炉体内部空间隔绝。
[0015]在一些实施例中，所述热炉结构还包括进气管，所述进气管穿设于所述炉体的封闭端，所述进气管与穿设于所述炉体的封闭端的所述测温装置错开设置。
[0016]本技术的热炉结构的有益效果：在实际工作过程中，如果炉体内的待测温区位于炉口位置，那么就只需要在炉口法兰上设置测温装置即可；如果炉体内的待测温区位于炉尾位置，那么就只需要在炉体的封闭端设置测温装置即可。如果炉体的待测温区位于炉口、炉尾以及炉体中部的位置，那么就需要在炉口法兰以及炉体的封闭端上均设置测温装置。由此，热炉结构可以根据实际需要在炉体的密封端和/或炉口法兰上设置测温装置，灵活性较强，能够避免测温装置长度过长的现象发生，既能够降低了材料浪费，又能够有效地降低漏电或者短路的故障的发生概率，降低热炉的结构的使用成本。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例一的热炉结构的结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例一的热炉结构的另一个方向的结构示意图；
[0020]图3是本技术实施例一的热炉结构的炉口法兰的结构示意图；
[0021]图4是本技术实施例二的热炉结构的结构示意图；
[0022]图5是本技术实施例三的热炉结构的结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]100、炉体；200、炉口法兰；210、安装套筒；300、测温装置；310、第一密封保护套；320、第一热电偶；330、第二密封保护套；340、第二热电偶；400、炉门；500、进气管。
具体实施方式
[0025]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
“
顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]下面参考图1
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图5描述本技术实施例的热炉结构的具体结构。
[0030]本技术公开了一种热炉结构，如图1、图4及图5所示，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.热炉结构，其特征在于，包括：炉体(100)，所述炉体(100)的一端敞开设置，另一端封闭设置；炉口法兰(200)，所述炉口法兰(200)配合于所述炉体(100)的敞开端；测温装置(300)，所述测温装置(300)穿设于所述炉体(100)的封闭端和/或所述炉口法兰(200)，且伸入所述炉体(100)内部。2.根据权利要求1所述的热炉结构，其特征在于，所述测温装置(300)包括第一密封保护套(310)和第一热电偶(320)，所述第一密封保护套(310)穿设于所述炉体(100)的封闭端，所述第一热电偶(320)穿设于所述第一密封保护套(310)，所述第一热电偶(320)的一端伸入所述炉体(100)且对应所述炉体(100)内的待测温区设置。3.根据权利要求2所述的热炉结构，其特征在于，所述第一热电偶(320)为多个，多个所述第一热电偶(320)分别对应所述炉体(100)内的多个所述待测温区设置。4.根据权利要求1所述的热炉结构，其特征在于，所述测温装置(300)包括第二密封保护套(330)和第二热电偶(340)，所述第二密封保护套(330)穿设于所述炉口法兰(200)，所述第二热电偶(340)穿设于所述第二密封保护套(330)，所述第二热电偶(340)的一端伸入所述炉体(100)且对应所述炉体(100)内的待测温区设置。5.根据权利要求4所述的热炉结构，其特征在于，所述炉口法兰(200)的外周壁上设有安装孔，所述安装孔沿所述炉口法兰(200)的径向延伸设置，所述第二密封保护套(330)插接于所述安装孔，所述第二热电偶(340)位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，万林，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：