本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，公开了一种镀膜装置，包括：传动轴、支架、连接件及安装组件；传动轴用于传动连接驱动机构；支架固定连接所述传动轴，连接件固定连接支架；安装组件包括固定架、可动件和调节件，固定架经由连接件可转动地连接支架，可动件和调节件均可活动地设置于固定架上；调节件带动可动件相对固定架活动，使可动件配合固定架以固定工件或释放工件。本实用新型专利技术还公开了一种镀膜设备，包括驱动机构和如上述的镀膜装置，驱动机构传动连接镀膜装置的传动轴，驱动机构用于驱使传动轴旋转以带动镀膜装置上的工件旋转，能够快速稳定地固定工件，拆卸操作简单，提高加工效率。提高加工效率。提高加工效率。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜装置及镀膜设备
[0001]本技术涉及镀膜
，特别涉及一种镀膜装置及镀膜设备。
技术介绍
[0002]化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition，简称CVD)是指高温下的气相反应，具体指利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程。例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。利用CVD技术进行镀膜，一般是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸汽及反应所需的其他气体引入反应室，在工件表面发生化学反应生成薄膜的过程。
[0003]然而，在现有镀膜设备中，对工件的固定稳定性不佳，且安装工件和拆卸工件都较为繁琐，导致加工效率低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种镀膜装置及镀膜设备，能够快速稳定地固定工件，拆卸操作简单，提高加工效率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术的第一方面提供了一种镀膜装置，包括：
[0006]传动轴、支架、连接件及安装组件；所述传动轴用于传动连接驱动机构；所述支架固定连接所述传动轴，所述连接件固定连接所述支架；所述安装组件包括固定架、可动件和调节件，所述固定架经由所述连接件可转动地连接所述支架，所述可动件和所述调节件均可活动地设置于所述固定架上；所述调节件带动所述可动件相对所述固定架活动，使所述可动件配合所述固定架以固定工件或释放工件。
[0007]本技术实施方式相对于现有技术而言，在装载待镀膜工件的固定架上可活动地设置可动件和调节件，调节件带动可动件相对固定架活动，使可动件配合固定架以固定工件或释放工件，实现快速稳定地固定工件，拆卸时操作简单；此外，固定架可转动的连接支架，在镀膜过程中，使固定架转动从而带动工件转动，从而使工件不同面镀膜均匀，节约二次镀膜的步骤，从而提高加工效率。
[0008]可选的，所述固定架具有容纳孔，所述可动件穿设过所述容纳孔中、且与所述容纳孔的内壁枢转连接；所述固定架还具有连通所述容纳孔的通孔，所述可动件具有驱动端和夹持端，所述调节件穿过所述通孔并可活动地连接位于所述容纳孔内的所述驱动端，所述调节件带动所述可动件旋转以使所述夹持端配合所述固定架夹持工件。
[0009]可选的，所述安装组件还包括推板，所述可动件具有导向滑槽，所述推板可滑动地设置在所述导向滑槽内，所述调节件伸入所述容纳孔的一端连接所述推板，所述调节件经由所述推板连接所述驱动端。
[0010]可选的，所述安装组件还包括转轴，所述通孔为螺纹孔，所述调节件为旋入所述螺纹孔的螺杆，所述螺杆伸入所述容纳孔的一端经由所述转轴与所述推板枢转连接。
[0011]可选的，所述夹持端设有弹性件，所述调节件带动所述可动件旋转以使所述弹性件将工件抵压固定至所述固定架上。
[0012]可选的，所述固定架包括连接所述连接件的竖杆，以及连接所述竖杆的横杆，所述容纳孔设于所述横杆上并沿所述竖杆的延伸方向贯穿所述横杆，所述通孔设于所述竖杆和所述横杆的连接处并沿所述横杆的延伸方向贯穿所述竖杆。
[0013]可选的，还包括齿圈，所述连接件包括行星齿轮，所述行星齿轮可旋转地固定在所述支架上；所述固定架设置在所述行星齿轮上，所述齿圈和所述传动轴同轴设置、且和所述行星齿轮啮合。
[0014]可选的，所述支架为连杆，所述连杆为多个，多个所述连杆环绕所述传动轴间隔设置并呈辐射状向远离所述传动轴的方向延伸；所述连杆的一端固定连接所述传动轴，所述连杆的另一端设置有所述连接件。
[0015]可选的，还包括多个固定盘，所述多个固定盘沿所述传动轴的轴向间隔套设于所述传动轴上，每个所述固定盘上固定连接有多个所述支架。
[0016]本技术的第二方面提供了一种镀膜设备，包括：
[0017]驱动机构和如第一方面所述的镀膜装置，所述驱动机构传动连接所述镀膜装置的传动轴，所述驱动机构用于驱使所述传动轴旋转以带动所述镀膜装置上的工件旋转。
附图说明
[0018]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0019]图1是本技术第一实施例的镀膜装置的立体结构示意图；
[0020]图2是本技术第一实施例的镀膜装置的安装组件的结构示意图；
[0021]图3是本技术第一实施例的镀膜装置的固定架、可动件和调节件的结构爆炸图；
[0022]图4是本技术第一实施例的镀膜装置的固定盘的结构示意图；
[0023]图5是本技术第二实施例的镀膜装置的固定架、可动件和调节件的结构爆炸图；
[0024]图6是本技术第三实施例的镀膜设备的立体结构示意图；
[0025]图7是本技术第三实施例的镀膜设备的剖面示意图。
[0026]附图说明：
[0027]100传动轴，110连轴杆；200支架；300连接件，310行星齿轮，320转动座，330固定轴；400安装组件，410固定架，411容纳孔，412通孔，413竖杆，414横杆，420可动件，421导向滑槽，422弹性件，430调节件，440推板；500齿圈；600固定盘；700驱动机构；800顶部旋转座。
具体实施方式
[0028]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本技术各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技
术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请各权利要求所要求保护的技术方案。
[0029]在本技术实施方式中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本技术及其实施方式，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0030]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本技术中的具体含义。
[0031]此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“开设”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置，用于装载工件，其特征在于，包括：传动轴、支架、连接件及安装组件；所述传动轴用于传动连接驱动机构；所述支架固定连接所述传动轴，所述连接件固定连接所述支架；所述安装组件包括固定架、可动件和调节件，所述固定架经由所述连接件可转动地连接所述支架，所述可动件和所述调节件均可活动地设置于所述固定架上；所述调节件带动所述可动件相对所述固定架活动，使所述可动件配合所述固定架以固定工件或释放工件。2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述固定架具有容纳孔，所述可动件穿设过所述容纳孔中、且与所述容纳孔的内壁枢转连接；所述固定架还具有连通所述容纳孔的通孔，所述可动件具有驱动端和夹持端，所述调节件穿过所述通孔并可活动地连接位于所述容纳孔内的所述驱动端，所述调节件带动所述可动件旋转以使所述夹持端配合所述固定架夹持工件。3.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述安装组件还包括推板，所述可动件具有导向滑槽，所述推板可滑动地设置在所述导向滑槽内，所述调节件伸入所述容纳孔的一端连接所述推板，所述调节件经由所述推板连接所述驱动端。4.根据权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述安装组件还包括转轴，所述通孔为螺纹孔，所述调节件为旋入所述螺纹孔的螺杆，所述螺杆伸入所述容纳孔的一端经由所述转轴与所述推板枢转连接。5.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述夹持...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡进，李鹏辉，秦伟，
申请(专利权)人：浙江脉通智造科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：
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