无阀压电微泵制造技术

本发明专利技术提供了一种无阀压电微泵，包括：基体，基体设有流体进口、流道和流体出口；至少两个阻流件，每个阻流件位于流道，每个阻流件能够对沿从流体出口向流体进口的流体产生第一流动阻力；两个振动膜，每个振动膜与流道形成泵腔，两个振动膜中的一个位于流体进口和靠近流体进口的阻流件之间，两个振动膜中的另一个位于两个阻流件之间；控制元件，控制元件分别与两个振动膜连接，以用于控制每个振动膜朝向或者远离基体活动，以增大或者减小对应的泵腔的体积。本发明专利技术实施例的无阀压电微泵，不仅能够减小流体的回流量，有利于流道内流体定向流动，还可以实现流体更大的泵送量，提高输送的流体的流量。流体的流量。流体的流量。

【技术实现步骤摘要】
无阀压电微泵


[0001]本专利技术涉及流体系统
，更具体地，涉及一种无阀压电微泵。

技术介绍

[0002]微型泵是微流体系统的核心部件，其性能的好坏直接决定微流体系统的性能。微型泵的运动部件通常是致动部件和微阀膜或阀瓣。微泵可以通过利用压电、静电、热气动、气动或磁效应来产生驱动力。
[0003]压电微型泵是一种常见的往复隔膜泵。通过依靠压电陶瓷的逆压电效应实现压电陶瓷片的振动，使泵腔的体积产生变化，从而达到输送流体的目的。压电微泵具有结构紧凑、体积小、响应快、不受电磁干扰等影响的优点，广泛应用在化学、生物医学、液体冷却以及燃料供应的多个不同领域。
[0004]压电微泵可分为有阀微泵和无阀微泵；有阀微泵通过止回阀的开闭实现流体的定向流动；无阀微泵对液体的吸取和泵送主要是靠收缩管/扩张管的压力损失差来实现的，无阀微泵因无止回阀，结构更简单、可靠性更高、寿命更长，更易制造。
[0005]对于现有的无阀微泵而言，在输送流体时不仅难以实现流体的定向流动，难以实现流体的较大的出口背压，而且输送的流体的流量也较小，流速较慢。

技术实现思路

[0006]本专利技术的一个目的是提供一种无阀压电微泵的新技术方案，能够解决现有技术中的无阀泵难以实现流体的定向流动，难以实现流体的较大的出口背压，输送的流体的流量也较小，流速较慢等的技术问题中的至少一个。
[0007]根据本专利技术的一个目的，提供了一种无阀压电微泵，包括：基体，所述基体设有流体进口、流道和流体出口，所述流道的第一端与所述流体进口连通，所述流道的第二端与所述流体出口连通；至少两个阻流件，两个所述阻流件沿从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向间隔开分布，每个所述阻流件位于所述流道，每个所述阻流件能够对沿从所述流体出口向所述流体进口的流体产生第一流动阻力，对沿从所述流体进口向所述流体出口的流体产生第二流动阻力，所述第一流动阻力大于所述第二流动阻力，以使流体从所述流体进口进入，从所述流体出口流出；两个所述振动膜，两个所述振动膜沿从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向间隔开分布，每个所述振动膜与所述流道形成泵腔，两个所述振动膜中的一个位于所述流体进口和靠近所述流体进口的所述阻流件之间，两个所述振动膜中的另一个位于两个所述阻流件之间；控制元件，所述控制元件分别与两个所述振动膜连接，以用于控制每个所述振动膜朝向或者远离所述基体活动，以增大或者减小对应的所述泵腔的体积。
[0008]可选地，所述流道包括：底壁和两个侧壁，两个所述侧壁间隔开分布且相对设置，每个所述侧壁与所述底壁连接，沿着从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向，至少一个所述侧壁包括依次连接的第一段体、第二段体和第三段体，所述阻流件设于所述底
壁，所述阻流件的侧壁面上与所述第三段体对应的部分的曲率大于所述第三段体的曲率，所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距大于所述阻流件的侧壁面与所述第三段体之间的间距。
[0009]可选地，所述阻流件的侧壁面与所述第一段体之间的间距小于所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距。
[0010]可选地，沿着从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向，所述阻流件的侧壁面上与所述流体出口对应的部分设有向内凹陷的槽体。
[0011]可选地，所述流道包括相互连通的第一流体通道和第二流体通道，所述第一流体通道和所述第二流体通道内分别设有一个所述阻流件，所述基体包括：第一板体和第二板体，所述第一板体和所述第二板体相互堆叠，所述第一板体设有所述流体出口和所述第一流体通道，所述第二板体上设有所述流体进口和所述第二流体通道且同时与两个所述振动膜对应。
[0012]可选地，所述第一流体通道包括：第一凹槽，所述第一凹槽设于所述第一板体靠近第二板体的一侧，所述第一凹槽内设有所述阻流件。
[0013]可选地，所述第二流体通道包括：第二凹槽，所述第二凹槽设于所述第二板体远离所述第一板体的一侧，所述第二凹槽内设有所述阻流件，且所述第二凹槽同时与两个所述振动膜对应。
[0014]可选地，所述第二凹槽包括：第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口在沿着从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向上间隔开分布，所述第一开口与一个所述振动膜对应，所述第二开口与另一个所述振动膜对应；第一槽，所述第一槽的第一端与所述第一开口连通；第二槽，所述第二槽的第一端与所述第一槽的第二端连通，所述第二槽内设有所述阻流件；第三槽，所述第三槽的第一端与所述第二槽的第二端连通，所述第三槽的第二端与所述第二开口连通；其中，所述第一开口的径向尺寸大于所述第一槽的径向尺寸，和/或，所述第二开口的径向尺寸大于所述第三槽的径向尺寸。
[0015]可选地，所述第二流体通道还包括：连通孔，所述连通孔沿所述第二板体的厚度方向贯通，在沿着从所述第二板体向所述第一板体的堆叠方向上，所述连通孔的第一端与所述第二凹槽连通，所述连通孔的第二端与所述第一流体通道连通，所述连通孔的第一端的径向尺寸小于所述连通孔的第二端的径向尺寸。
[0016]可选地，所述阻流件的数量为多个，两个所述振动膜之间的阻流件的数量小于所述振动膜和所述流体出口之间的阻流件的数量。
[0017]可选地，所述控制元件为压电片，所述压电片粘贴于所述振动膜远离所述基体的一侧。
[0018]根据本专利技术实施例的无阀压电微泵，采用基体、至少两个阻流件、两个振动膜和控制元件相结合，不仅能够减小流体的回流量，有利于流道内流体定向流动，还可以实现流体更大的泵送量，提高输送的流体的流量。
[0019]通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
[0020]被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本专利技术的实施例，并且连同其说明一起用于解释本专利技术的原理。
[0021]图1是根据本专利技术的一个实施例的无阀压电微泵的剖面图；
[0022]图2是根据本专利技术的一个实施例的无阀压电微泵的爆炸图；
[0023]图3是根据本专利技术的一个实施例的第二板的结构示意图；
[0024]图4是根据本专利技术的一个实施例的第一板的立体结构示意图；
[0025]图5是根据本专利技术的一个实施例的第一板的俯视图；
[0026]图6是根据本专利技术的一个实施例的流体沿正流动方向活动的流动示意图；
[0027]图7是根据本专利技术的一个实施例的流体沿反流动方向活动的流动示意图；
[0028]图8是根据本专利技术的一个实施例的控制元件的输入信号示意图。
[0029]附图标记
[0030]无阀压电微泵100；
[0031]基体10；
[0032]流体进口11；流体出口12；
[0033]流道13；
[0034]底壁131；
[0035]侧壁132；第一段体1321；第二段体1322；第三段体1323；
[0036]第一板体14；第一流体通道141；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无阀压电微泵，其特征在于，包括：基体，所述基体设有流体进口、流道和流体出口，所述流道的第一端与所述流体进口连通，所述流道的第二端与所述流体出口连通；至少两个阻流件，两个所述阻流件沿从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向间隔开分布，每个所述阻流件位于所述流道，每个所述阻流件能够对沿从所述流体出口向所述流体进口的流体产生第一流动阻力，对沿从所述流体进口向所述流体出口的流体产生第二流动阻力，所述第一流动阻力大于所述第二流动阻力，以使流体从所述流体进口进入，从所述流体出口流出；两个振动膜，两个所述振动膜沿从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向间隔开分布，每个所述振动膜与所述流道的一部分形成泵腔，两个所述振动膜中的一个位于所述流体进口和靠近所述流体进口的所述阻流件之间，两个所述振动膜中的另一个位于两个所述阻流件之间；控制元件，所述控制元件分别与两个所述振动膜连接，以用于控制每个所述振动膜朝向或者远离所述基体活动，以增大或者减小对应的所述泵腔的体积。2.根据权利要求1所述的无阀压电微泵，其特征在于，所述流道包括：底壁和两个侧壁，两个所述侧壁间隔开分布且相对设置，每个所述侧壁与所述底壁连接，沿着从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向，至少一个所述侧壁包括依次连接的第一段体、第二段体和第三段体，所述阻流件设于所述底壁，所述阻流件的侧壁面上与所述第三段体对应的部分的曲率大于所述第三段体的曲率，所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距大于所述阻流件的侧壁面与所述第三段体之间的间距。3.根据权利要求2所述的无阀压电微泵，其特征在于，所述阻流件的侧壁面与所述第一段体之间的间距小于所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距。4.根据权利要求2所述的无阀压电微泵，其特征在于，沿着从所述流体进口向所述流体出口的流体流动方向，所述阻流件的侧壁面上与所述流体出口对应的部分设有向内凹陷的槽体。5.根据权利要求1
‑
4中任一所述的无阀压电微泵，其特征在于，所述流道包括相互连通的第一流体通道和第二流体通道，所述第一流体通道和所述第二流体...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴邦，俞胜平，蒋朝阳，张丹阳，魏迎迎，
申请(专利权)人：歌尔微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：