一种轨道式夹紧定位机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种轨道式夹紧定位机构，包括用于间歇式带动晶圆前移与循环转动的动力装置，还包括所述动力装置底部设置的用于支撑和限制移动与挤压带动对中移动支撑装置，所述支撑装置上均匀设置有若干用于固定定位晶圆与支撑其加工的夹持装置。本实用新型专利技术所述的一种轨道式夹紧定位机构，通过在导轨顶部设置插杆的设计，插杆挤压夹持块夹紧晶圆，使位于顶部的夹持台在移动过程中自动锁紧晶圆，提高装置自动化程度，节约制造成本；通过凸轮旋转拨动从动轮间歇转动的设计，使同步带带动晶圆分段前移，便于拿取晶圆与进行晶圆加工；通过若干夹持台沿导轨循环移动的设计，便于进行连续加工，生产流程无停顿，提高加工速度。提高加工速度。提高加工速度。

【技术实现步骤摘要】
一种轨道式夹紧定位机构


[0001]本技术属于晶圆加工配套设施领域，特别是涉及一种轨道式夹紧定位机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指由单晶硅制造成的平板状硅片，通常直径为2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸等，厚度通常为数百微米。晶圆是集成电路制造的关键物料之一，可以切割成数千个芯片，并用于制造各种集成电路元件，例如微处理器、内存、传感器等等。晶圆在集成电路制造中的作用非常重要，因为它是集成电路芯片制造的基础。晶圆上通过光刻、蚀刻、氧化、沉积等一系列制造工艺，将电路图案逐层加工到晶圆表面，最终形成集成电路芯片。晶圆的质量和加工技术的水平直接关系到集成电路的性能和成本，因此晶圆的制造是集成电路制造中至关重要的环节之一，生产好的晶圆需要在定位夹持下边移动边进行加工，因此需要一种轨道式夹紧定位机构，便于自动化连续生产。
[0003]对比申请号为CN201921593169.7的中国专利，公开了一种轨道式移位定位机构，包括：第一调节立板上设置有第一夹紧片，第二调节立板上设置有第二夹紧片，产品导向条位于第一调节立板和第二调节立板之间，第一调节立板和第二调节立板之间设置有正反螺旋杆，第一调节立板和第二调节立板上均设置有夹紧气缸，产品导向条上放置有待加工产品；伺服电机安装于滑块安装板上，滑块安装板上设置有直线滑轨，伺服电机的一端连接有丝杠，丝杠上安装有螺母座，螺母座可沿直线滑轨滑动，滑台气缸安装于螺母座上，拨料片安装于滑台气缸上，滑台气缸用于驱动拨料片插入至待加工产品之间。
[0004]上述专利的缺点为：需要动力驱动夹板夹紧原料，所需成本较高，装置自动化程度不足。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种轨道式夹紧定位机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种轨道式夹紧定位机构，包括用于间歇式带动晶圆前移与循环转动的动力装置，还包括所述动力装置底部设置的用于支撑和限制移动与挤压带动对中移动支撑装置，所述支撑装置上均匀设置有若干用于固定定位晶圆与支撑其加工的夹持装置；所述支撑装置包括支撑壳，所述支撑壳顶部对称固定设置有两个导轨，所述导轨顶部固定设置有插杆；所述夹持装置包括夹持台，所述夹持台顶部前后对称固定设置有两个滑杆，所述滑杆之间对称滑动设置有两个夹持块，所述夹持块内侧前后对称固定设置有两个弹簧，所述夹持台两侧上下对称转动设置有四个支撑轮。
[0008]进一步地：所述动力装置包括支架，所述支架中间转动设置有凸轮，所述凸轮一侧安装有电机，所述凸轮上方平行设置有两个传动轴，所述传动轴一端设置有从动轮，所述传动轴中间设置有带轮，所述带轮之间设置有同步带。
[0009]进一步地：所述传动轴与所述支撑壳轴承连接，所述从动轮与所述传动轴花键连接。
[0010]进一步地：所述导轨截面为T形，所述插杆与所述导轨焊接在一起。
[0011]进一步地：所述插杆后端设置有圆角，所述夹持块底部设置有圆角。
[0012]进一步地：所述夹持台采用3A21铝材料。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]通过在导轨顶部设置插杆的设计，插杆挤压夹持块夹紧晶圆，使位于顶部的夹持台在移动过程中自动锁紧晶圆，提高装置自动化程度，节约制造成本；
[0015]通过凸轮旋转拨动从动轮间歇转动的设计，使同步带带动晶圆分段前移，便于拿取晶圆与进行晶圆加工；
[0016]通过若干夹持台沿导轨循环移动的设计，便于进行连续加工，生产流程无停顿，提高加工速度。
附图说明
[0017]图1是本技术所述一种轨道式夹紧定位机构的结构示意图；
[0018]图2是本技术所述一种轨道式夹紧定位机构的动力装置的结构示意图；
[0019]图3是本技术所述一种轨道式夹紧定位机构的支撑装置的结构示意图；
[0020]图4是本技术所述一种轨道式夹紧定位机构的夹持装置的结构示意图；
[0021]图5是本技术所述一种轨道式夹紧定位机构的支撑装置与夹持装置的工作原理的示意图。
[0022]附图标记中：1、动力装置；101、支架；102、凸轮；103、电机；104、从动轮；105、传动轴；106、带轮；107、同步带；2、支撑装置；201、支撑壳；202、导轨；203、插杆；3、夹持装置；301、夹持台；302、滑杆；303、夹持块；304、弹簧；305、支撑轮；4、机械手；5、加工组件。
实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0024]请参阅图1
‑
图5，一种轨道式夹紧定位机构，包括用于间歇式带动晶圆前移与循环转动的动力装置1，还包括动力装置1底部设置的用于支撑和限制移动与挤压带动对中移动支撑装置2，支撑装置2上均匀设置有若干用于固定定位晶圆与支撑其加工的夹持装置3。
[0025]本实施例中：动力装置1包括用于支撑转动的支架101，支架101采用Q235钢材料，支架101与支撑壳201焊接在一起，支架101为C形，支架101中间轴承连接有用于间歇式向外触碰的凸轮102，凸轮102一侧平键连接有用于作为动力源的电机103，电机103与支架101螺栓连接，凸轮102上方平行设置有两个用于传递动力的传动轴105，传动轴105与支撑壳201轴承连接，传动轴105一端设置有用于配合凸轮102定向转动的从动轮104，从动轮104与传动轴105花键连接，传动轴105中间平键连接有用于带动同步带107移动的带轮106，带轮106之间设置有用于带动若干夹持台301同步移动的同步带107，同步带107采用橡胶材料，支架101支撑电机103驱动凸轮102旋转，凸轮102每旋转一周便拨动从动轮104转动一定角度，从动轮104带动传动轴105间歇性转动，传动轴105通过带轮106带动同步带107间歇性移动，使
同步带107上固定的若干夹持台301沿导轨202移动；
[0026]本实施例中：支撑装置2包括用于整体承重支撑的支撑壳201，支撑壳201采用Q235钢材料，支撑壳201顶部对称焊接连接有两个用于限制移动方向的导轨202，导轨202截面为T形，导轨202顶部固定设置有用于向内挤压夹持块303使其自动夹持晶圆的插杆203，插杆203与导轨202焊接在一起，插杆203后端设置有便于滑动挤压的圆角，夹持台301继续向前移动，触碰到插杆203后端，插杆203插入夹持台301内部，挤压两个夹持块303使其沿滑杆302向内侧移动，从两侧夹持顶部晶圆，完成晶圆的定位夹紧操作；
[0027]本实施例中：夹持装置3包括用于盛放晶圆的夹持台301，夹持台301采用3A21铝材料，夹持台301顶部前后对称焊接设置有两个用于限制夹持块303移动方向的滑杆302，滑杆302截面为圆形，滑杆302之间对称滑动设置有两个用于夹持晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轨道式夹紧定位机构，包括用于间歇式带动晶圆前移与循环转动的动力装置（1），其特征在于：还包括所述动力装置（1）底部设置的用于支撑和限制移动与挤压带动对中移动支撑装置（2），所述支撑装置（2）上均匀设置有若干用于固定定位晶圆与支撑其加工的夹持装置（3）；所述支撑装置（2）包括支撑壳（201），所述支撑壳（201）顶部对称固定设置有两个导轨（202），所述导轨（202）顶部固定设置有插杆（203）；所述夹持装置（3）包括夹持台（301），所述夹持台（301）顶部前后对称固定设置有两个滑杆（302），所述滑杆（302）之间对称滑动设置有两个夹持块（303），所述夹持块（303）内侧前后对称固定设置有两个弹簧（304），所述夹持台（301）两侧上下对称转动设置有四个支撑轮（305）。2.根据权利要求1所述的一种轨道式夹紧定位机构，其特征在于：所述动力装置（1）包括支架（101），所述支架（101）中间...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹杭，韩衍博，李景源，戴建成，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：新型
国别省市：