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本实用新型公开了一种轨道式夹紧定位机构，包括用于间歇式带动晶圆前移与循环转动的动力装置，还包括所述动力装置底部设置的用于支撑和限制移动与挤压带动对中移动支撑装置，所述支撑装置上均匀设置有若干用于固定定位晶圆与支撑其加工的夹持装置。本实用新型...
该专利属于郑州大学所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大学授权不得商用。

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