SRAM标记图形检测方法技术

本发明专利技术提供一种SRAM标记图形检测方法，包括：建立SRAM图形库；获取SRAM标记图形；从SRAM标记图形选出预检区域，将位于预检区域的子单元图形与各标准SRAM图形进行匹配以找出目标标准SRAM图形，根据目标标准SRAM图形确定初始匹配位置；将处于初始匹配位置的目标标准SRAM图形以第一预设步长沿第一方向对SRAM标记图形的子单元图形进行匹配，将所有子单元图形作为一个整体形成重构标准SRAM图形；将重构标准SRAM图形以第二预设步长沿第二方向对子单元图形进行匹配；输出SRAM标记图形中完成匹配的各子单元图形的OPC差异。通过本发明专利技术解决了现有的因资源不足导致产品出货速度受到影响的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
SRAM标记图形检测方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种SRAM标记图形检测方法。

技术介绍

[0002]随着半导体
的发展，对芯片的性能和功耗要求越来越高，相应的芯片关键尺寸越来越小，而由于光学临近效应的影响，导致光刻图形与光罩上的图形出现偏差，从而严重影响芯片的良率。而光学临近效应修正(OPC，Optical Proximity Correction)成为当前解决这一问题的主要手段。
[0003]静态随机存取存储器(Static Random Access Memory，SRAM)图形掩膜版上占比较大，而且由于其高度的图形重复性，当客户设计图形出现不规范时，手动检测不易被发现，而OPC在此基础上进行修正，即使修正未发生错误，也会造成产品良率的丢失，甚至报废。再者，现有的SRAM图形匹配技术是mentor公司的pattern match技术，其技术是加密的且需要licenses，当线上产品出版较多时，造成licenses出现拥挤现象，导致产品的出货速度受到影响，因此，提出一种能够解决该问题的SRAM图形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SRAM标记图形检测方法，其特征在于，所述方法包括：步骤1)获取芯片所有层次版图原始设计数据，并据此对版图重复单元建立SRAM图形库，且将最小重复单元作为所述SRAM图形库的标准SRAM图形；步骤2)获取芯片所有层次版图原始设计数据下所有的SRAM标记图形，其中，所述SRAM标记图形为矩形；步骤3)将一所述SRAM标记图形划分为至少一个区域，并选出预检区域，将位于所述预检区域的子单元图形与各所述标准SRAM图形进行匹配以判断是否对所述SRAM标记图形进行检测，若判断结果为否，不对所述SRAM标记图形进行检测，若判断结果为是，找出目标标准SRAM图形，并根据所述目标标准SRAM图形确定初始匹配位置；步骤4)将处于所述初始匹配位置的所述目标标准SRAM图形以第一预设步长沿第一方向对所述SRAM标记图形的子单元图形进行匹配，在对所述第一方向的所有所述子单元图形匹配完成后，若所述第一方向上的所述子单元图形均与所述目标标准SRAM图形相匹配，将所有所述子单元图形作为一个整体形成重构标准SRAM图形；步骤5)将所述重构标准SRAM图形以第二预设步长沿第二方向对所述SRAM标记图形的子单元图形进行匹配；步骤6)输出所述SRAM标记图形中完成匹配的各所述子单元图形的OPC差异；步骤7)重复步骤3)～步骤6)对所有所述SRAM标记图形完成检测。2.根据权利要求1所述的SRAM标记图形检测方法，其特征在于，在步骤3)中，所述SRAM标记图形划分为多个区域，所述预检区域包括所述SRAM标记图形的左上角区域及中心区域。3.根据权利要求2所述的SRAM标记图形检测方法，其特征在于，在步骤3)中，判断是否对所述SRAM标记图形进行检测的方法包括：判断所述SRAM图形库中是否存在所述标准SRAM图形与位于所述左上角区域或所述中心区域的子图形单元相匹配，若判断结果为否，不对所述SRAM标记图形进行检测，若判断结果为是，对所述SRAM标记图形进行检测，并找出所述目标标准SRAM图形，确定所述初始匹配位置。4.根据权利要求3所述的SRAM标记图形检测方法，其特征在于，找出所述目标标准SRAM图形，确定所述初始匹配位置的方法包括：将各所述标准SRAM图形的左上顶点偏移到所述左上方区域的左上角的顶点处，且从此处开始，以第三预设步长沿所述第一方向及所述第二方向滑动以与所述子单元图形进行匹配，若存在所述标准SRA...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂超，顾婷婷，陈翰，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：