一种晶圆制造用边缘检测取像装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆检测技术领域，且公开了一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台，所述载台的上表面安装有放置台，所述放置台的内侧安装有内侧件，所述载台上表面安装有伸缩件，所述伸缩件的外侧套接有滑动件，所述伸缩件的输出端安装有连接板，所述滑动件内腔中安装有主动齿轮，所述滑动件的左侧内壁安装有回转件，所述主动齿轮的左侧缠绕有连接绳，所述滑动件内部安装有从动齿轮，所述滑动件内部安装有限位件，所述从动齿轮左右杆体的端部均安装有撞击板，所述内侧件与放置台共同围成容纳腔，所述容纳腔的上部位置安装有接触件。本发明专利技术通过伸缩件与滑动件的设置，进而降低大量晶圆接触污染物的概率，间接提高晶圆的质量。间接提高晶圆的质量。间接提高晶圆的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆制造用边缘检测取像装置


[0001]本专利技术涉及晶圆检测
，具体为一种晶圆制造用边缘检测取像装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，它在制作完成后，需要使用边缘检测取像装置来对晶圆的边缘进行检测，进而筛选出不合格的晶圆，避免不合格的晶圆对关联装置产生影响。
[0003]现有的边缘检测取像装置在使用时，首先通过机械手将单片晶圆放置到晶圆载台的放置台上，之后，令放置台内部产生负压，使得放置台表面的晶圆被吸附固定，然后，令晶圆载台带动晶圆间歇发生水平移动，并通过摄像头拍摄晶圆边缘，使得拍摄出的图像传递给计算机，从而令计算机判断晶圆边缘是否存在缺陷，通过上述动作，进而实现对晶圆边缘的检测取像作业，但是在上述过程中，由于晶圆是经过一系列工艺制作而成，进而导致其背面容易存在污染物(如晶渣、灰尘等)，之后，当上述晶圆处于放置台表面时，上述污染物容易滞留在放置台上，进而导致后续晶圆接触污染物，使得大量晶圆受到污染，从而令晶圆的质量受到影响。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提出的现有边缘检测取像装置在使用过程中存在的不足，本专利技术提供了一种晶圆制造用边缘检测取像装置，具备降低大量晶圆接触污染物的概率、提高晶圆质量的优点，解决了上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台，所述载台的上表面固定安装有放置台，所述载台的一侧设置有机械手，用以将晶圆放置在放置台的表面，所述晶圆左侧的位置设置有摄像头，用以拍摄晶圆的边缘图像，所述载台的另一侧设置有检测机构，用以检测摄像头拍摄的图像是否存在缺陷，所述放置台的内侧安装有内侧件，所述载台上表面位于内侧件内侧的位置固定安装有伸缩件，所述伸缩件的外侧滑动套接有滑动件，所述伸缩件的输出端固定安装有连接板，所述连接板的四周与滑动件的内壁形成密封固定，所述滑动件内腔中位于连接板上侧的位置转动安装有主动齿轮，所述滑动件的左侧内壁固定安装有回转件，所述主动齿轮与回转件连接，所述主动齿轮的左侧缠绕有连接绳，所述连接绳的上端与主动齿轮的左侧形成固定连接，所述连接绳的下端穿过滑动件，并与伸缩件的侧面形成固定连接，所述滑动件内部位于主动齿轮上方的位置转动安装有与主动齿轮形成啮合传动的从动齿轮，所述滑动件内部位于从动齿轮上方的位置安装有限位件，用以限制从动齿轮逆时针转动，所述从动齿轮左右两侧杆体的端部均固定安装有撞击板，所述内侧件的外侧面与放置台的内侧面共同围成容纳腔，所述容纳腔的上部位置密封活动安装有接触件，所述接触件与撞击板形成固定连接。
[0006]优选的，所述放置台为两段密封式设置，所述内侧件的底面与放置台的斜面之间安装有滤网，所述滤网的底面与放置台内侧位置的斜面形成密封接触，所述滤网的底面固
定安装有固定板，所述固定板的底面与载台的上表面形成固定连接，所述放置台内部位于滤网下方的位置开设有固定槽，所述固定板的外侧面与固定槽的外侧壁体贴合。
[0007]优选的，所述主动齿轮由轮体、连接杆、滑槽、轮齿、一号挡块、二号挡块与一号弹性件组成，所述滑动件内腔中位于连接板上侧的位置安装有轮体，所述轮体的左右两侧均固定安装有连接杆，右侧所述连接杆与滑动件的右侧内壁形成转动连接，所述轮体的内部周向等距开设有滑槽，所述滑槽的一侧壁体铰接有轮齿，所述轮齿能收入滑槽，所述轮齿的底面与滑槽的侧壁之间共同固定安装有一号弹性件，所述轮齿的左右两侧均固定安装有一号挡块，所述滑槽内壁上位于槽口的位置固定安装有二号挡块，所述一号挡块与二号挡块相互接触，用以限制轮齿过度伸出滑槽，所述轮齿上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述主动齿轮的轮齿数少于从动齿轮的齿牙数，所述从动齿轮的齿牙上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述连接绳缠绕在左侧连接杆表面，所述连接绳的一端与左侧连接杆形成固定连接。
[0008]优选的，所述回转件由壳体与扭簧组成，所述壳体的周向内壁上固定安装有扭簧，左侧所述连接杆与扭簧的另一端固定连接。
[0009]优选的，所述撞击板的下表面接触内侧件的上表面，所述连接绳靠近主动齿轮的一段为放松设置。
[0010]优选的，所述滑动件与伸缩件形成密封滑动连接，所述滑动件内腔中位于连接板下方位置的腔体为抽吸腔，所述连接板的内部纵向贯穿开设有二号开口，所述二号开口内固定安装有一号单向阀，所述一号单向阀的流通方向为由滑动件内腔中位于连接板上方位置的腔体向抽吸腔流通，所述滑动件内部位于连接板下方的位置开设有导气孔，所述导气孔的一端与抽吸腔连通，所述导气孔的另一端开设在滑动件外侧面的底部位置。
[0011]优选的，所述放置台内部位于容纳腔下方的位置开设有气腔，所述气腔中密封活动安装有推板，所述推板的下表面与气腔的底面之间共同固定安装有二号弹性件，所述放置台内部位于气腔的内侧位置开设有进气孔，所述进气孔的一端与气腔中位于推板上侧位置的腔体连通，所述进气孔的另一端开设在放置台内侧面的底部位置，所述放置台内侧面与滑动件外侧面之间共同固定安装有软管，所述软管的长度大于导气孔与进气孔的直线距离，所述软管的长度大于连接绳的长度，所述软管连通进气孔与导气孔，所述进气孔内固定安装有二号单向阀，所述二号单向阀的流通方向为由软管向进气孔流通，所述放置台内部位于气腔上方的位置开设有出气孔，用以连通气腔中位于推板上侧位置的腔体与容纳腔，所述出气孔的上侧端口朝向接触件的下表面，所述出气孔内固定安装有三号单向阀，所述三号单向阀的流通方向为由直孔向环形孔流通。
[0012]优选的，所述放置台内侧位于出气孔上侧端口的位置开设有限位槽，所述限位槽中滑动卡接有开合件，所述开合件由封闭环与推动杆组成，所述封闭环与限位槽形成滑动卡接，所述封闭环的上表面固定安装有推动杆，所述推动杆的上端与接触件的下表面接触，所述封闭环的下表面与限位槽的底面之间共同固定安装有三号弹性件，所述开合件为两段密封式设置。
[0013]优选的，所述接触件由主体、滑槽、移动件、弹簧与封闭槽组成，所述主体的数量为两个，两个所述主体均密封活动安装在容纳腔的上部位置，两个所述主体的内侧面与对应方向上的撞击板的外侧端连接，所述主体内靠近端部的位置开设有滑槽，所述主体的端部
设置有移动件，所述移动件内侧位置的滑块与滑槽形成密封活动连接，所述移动件的内侧面与主体形成密封滑动连接，两个所述主体上相邻的两个移动件相互抵接，所述滑槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的两端分别连接滑块靠近对应方向上撞击板的侧面与滑槽的内壁，所述主体内部的上下两侧均开设有封闭槽，所述封闭槽与对应方向的移动件形成密封活动连接。
[0014]本专利技术具备以下有益效果：
[0015]1、本专利技术通过伸缩件与滑动件的设置，在晶圆离开放置台后，伸缩件带动滑动件上移，使得主动齿轮带动从动齿轮转动半圈，进而令接触件的底面与上表面发生置换，之后，滑动件下移，使得接触件不发生回转，通过上述动作，进而降低大量晶圆接触污染物的概率，间接提高晶圆的质量。
[0016]2、本专利技术通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆制造用边缘检测取像装置，包括载台(1)，所述载台(1)的上表面固定安装有放置台(2)，所述载台(1)的一侧设置有机械手，用以将晶圆放置在放置台(2)的表面，所述晶圆左侧的位置设置有摄像头，用以拍摄晶圆的边缘图像，所述载台(1)的另一侧设置有检测机构，用以检测摄像头拍摄的图像是否存在缺陷，其特征在于：所述放置台(2)的内侧安装有内侧件(3)，所述载台(1)上表面位于内侧件(3)内侧的位置固定安装有伸缩件(6)，所述伸缩件(6)的外侧滑动套接有滑动件(7)，所述伸缩件(6)的输出端固定安装有连接板(8)，所述连接板(8)的四周与滑动件(7)的内壁形成密封固定，所述滑动件(7)内腔中位于连接板(8)上侧的位置转动安装有主动齿轮(9)，所述滑动件(7)的左侧内壁固定安装有回转件(10)，所述主动齿轮(9)与回转件(10)连接，所述主动齿轮(9)的左侧缠绕有连接绳(11)，所述连接绳(11)的上端与主动齿轮(9)的左侧形成固定连接，所述连接绳(11)的下端穿过滑动件(7)，并与伸缩件(6)的侧面形成固定连接，所述滑动件(7)内部位于主动齿轮(9)上方的位置转动安装有与主动齿轮(9)形成啮合传动的从动齿轮(12)，所述滑动件(7)内部位于从动齿轮(12)上方的位置安装有限位件(13)，用以限制从动齿轮(12)逆时针转动，所述从动齿轮(12)左右两侧杆体的端部均固定安装有撞击板(14)，所述内侧件(3)的外侧面与放置台(2)的内侧面共同围成容纳腔，所述容纳腔的上部位置密封活动安装有接触件(15)，所述接触件(15)与撞击板(14)形成固定连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述放置台(2)为两段密封式设置，所述内侧件(3)的底面与放置台(2)的斜面之间安装有滤网(4)，所述滤网(4)的底面与放置台(2)内侧位置的斜面形成密封接触，所述滤网(4)的底面固定安装有固定板(5)，所述固定板(5)的底面与载台(1)的上表面形成固定连接，所述放置台(2)内部位于滤网(4)下方的位置开设有固定槽，所述固定板(5)的外侧面与固定槽的外侧壁体贴合。3.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述主动齿轮(9)由轮体、连接杆、滑槽、轮齿、一号挡块、二号挡块与一号弹性件组成，所述滑动件(7)内腔中位于连接板(8)上侧的位置安装有轮体，所述轮体的左右两侧均固定安装有连接杆，右侧所述连接杆与滑动件(7)的右侧内壁形成转动连接，所述轮体的内部周向等距开设有滑槽，所述滑槽的一侧壁体铰接有轮齿，所述轮齿能收入滑槽，所述轮齿的底面与滑槽的侧壁之间共同固定安装有一号弹性件，所述轮齿的左右两侧均固定安装有一号挡块，所述滑槽内壁上位于槽口的位置固定安装有二号挡块，所述一号挡块与二号挡块相互接触，用以限制轮齿过度伸出滑槽，所述轮齿上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述主动齿轮(9)的轮齿数少于从动齿轮(12)的齿牙数，所述从动齿轮(12)的齿牙上位于顺时针方向的侧面为弧面结构设置，所述连接绳(11)缠绕在左侧连接杆表面，所述连接绳(11)的一端与左侧连接杆形成固定连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述回转件(10)由壳体与扭簧组成，所述壳体的周向内壁上固定安装有扭簧，左侧所述连接杆与扭簧的另一端固定连接。5.根据权利要求1所述的一种晶圆制造用边缘检测取像装置，其特征在于：所述撞击板(14)的下表面接触内侧件(3)的上表面，所述连接绳(11)靠近主动齿轮(9)的一段...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘继谦，何丽芳，林晋安，
申请(专利权)人：马鞍山芯乔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：