晶圆传送盒的检测方法和系统技术方案

本申请公开了一种晶圆传送盒的检测方法和系统，该方法包括：获取目标图像，目标图像是摄像头拍摄图形标记得到的图像，图形标记是附着在晶圆传送盒的舱门上的标记；根据目标图像确定舱门是否装反；当确定舱门装反时，发出警报指令，警报指令用于指示警报设备发送警报图像，和/或，发出警报音。本申请通过在半导体集成电路的生产过程中，在晶圆传送盒上附着图形标记，摄像头拍摄得到该图形标记的图像后，计算机设备以该图像为目标图像检测舱门是否装反，当确定舱门装反后发送报警指令，从而降低了由于舱门装反所导致的晶圆脱落的问题，提高了生产效率。了生产效率。了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆传送盒的检测方法和系统


[0001]本申请涉及半导体集成电路制造
，具体涉及一种晶圆传送盒的检测方法和系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造业中，可通过晶圆传送盒(front opening unified pod，Floup)装载和运输晶圆，在运输晶圆的过程中提供安全防护。由于半导体制造中会涉及不同的工艺(例如，沉积、刻蚀、曝光、显影等工艺)，不同的工艺对应不同类型的晶圆传送盒。
[0003]晶圆传送盒通常包括外壳，放置于外壳中用于承载晶圆的晶舟以及封闭外壳的舱门。在半导体集成电路产品的生产过程中，难免会发生将晶圆传送盒的舱门装反(上下倒置)的情况，被装反的舱门极易脱落，由于在不同的工艺之间晶圆会从一种类型的晶圆传送盒传送至另一种类型的晶圆传送盒，舱门装反的错误会导致晶圆脱落，存在安全隐患，进而降低了生产效率。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种晶圆传送盒的检测方法和系统，可以解决相关技术中提供的晶圆的传输方法由于难以避免晶圆传送盒的舱门装反从而具有安全隐患的问题。
[0005]一方面，本申请实施例提供了一种晶圆传送盒的检测方法，包括：
[0006]获取目标图像，所述目标图像是摄像头拍摄图形标记得到的图像，所述图形标记是附着在晶圆传送盒的舱门上的标记；
[0007]根据所述目标图像确定舱门是否装反；
[0008]当确定舱门装反时，发出警报指令，所述警报指令用于指示警报设备显示警报图像，和/或，发出警报音。
[0009]在一些实施例中，所述图形标记包括背景图和位于背景图上的标记符号，所述标记符号不位于所述背景图的中心。
[0010]在一些实施例中，所述根据所述目标图像确定舱门是否装反，包括：
[0011]将所述目标图像与标准图像比对，确定所述目标图像中的标记符号是否处于正确的区域；
[0012]当确定所述目标图像中的标记符号处于正确的区域时，确定舱门没有装反。
[0013]在一些实施例中，所述方法还包括：
[0014]当确定所述目标图像中的标记符号不处于正确的区域时，确定舱门装反。
[0015]另一方面，本申请实施例提供了一种晶圆传送盒的检测系统，包括：
[0016]摄像头，所述摄像头用于拍摄附着在晶圆传送盒的舱门上的图形标记得到目标图像；
[0017]计算机设备，所述计算机设备用于获取所述目标图像；根据所述目标图像确定舱门是否装反；当确定舱门装反时，向警报设备发出警报指令；
[0018]所述警报设备，用于根据所述警报指令显示警报图像，和/或，发出警报音。
[0019]在一些实施例中，所述图形标记包括背景图和位于背景图上的标记符号，所述标记符号不位于所述背景图的中心。
[0020]在一些实施例中，所述计算机设备，还用于将所述目标图像与标准图像比对，确定所述目标图像中的标记符号是否处于正确的区域；当确定所述目标图像中的标记符号处于正确的区域时，确定舱门没有装反。
[0021]在一些实施例中，所述计算机设备，还用于当确定所述目标图像中的标记符号不处于正确的区域时，确定舱门装反。
[0022]本申请技术方案，至少包括如下优点：
[0023]在半导体集成电路的生产过程中，在晶圆传送盒上附着图形标记，摄像头拍摄得到该图形标记的图像后，计算机设备以该图像为目标图像检测舱门是否装反，当确定舱门装反后发送报警指令，从而降低了由于舱门装反所导致的晶圆脱落的问题，提高了生产效率。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本申请一个示例性实施例提供的晶圆传送盒的检测系统的拓扑图；
[0026]图2是本申请一个示例性实施例提供的晶圆传送盒的检测方法的流程图。
具体实施方式
[0027]下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0028]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0030]此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0031]参考图1，其示出了本申请一个示例性实施例提供的晶圆传送盒的检测系统的拓扑图，如图1所示，该检测系统包括摄像头110、计算机设备120和报警设备130，摄像头110和计算机设备120之间建立有通信连接，计算机设备120和报警设备130建立有通信连接，其中：
[0032]摄像头110，其用于拍摄附着在晶圆传送盒(图1中未示出)的舱门上的图形标记200得到目标图像。
[0033]当晶圆传送盒从存储仓(stocker)外转移到存储仓内时，通常需要读取晶圆传送盒的标识(identity，ID)，因此，本申请实施例中执行的检测方法可应用于将晶圆传送盒从存储仓外转移到存储仓内的过程中，该摄像头110可以是识别晶圆传送盒的标识的摄像头。当摄像头110拍摄图形标记200的得到目标图像后，将目标图像传输至计算机设备120。
[0034]图形标记200包括背景图202和位于背景图202上的标记符号201，标记符号201不位于所述背景图202的中心，即标记符号201的中心与背景图202的中心不重复，其具有方位。例如，如图1所示，标记符号201位于背景图202中的左侧。通过设置具有方位的标记符号201能够更加精确和准确地对图形标记200的图像进行识别。
[0035]计算机设备120，其用于获取目标图像；根据目标图像确定舱门是否装反；当确定舱门装反时，向警报设备发出警报指令。
[0036]其中，计算机设备120可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送盒的检测方法，其特征在于，包括：获取目标图像，所述目标图像是摄像头拍摄图形标记得到的图像，所述图形标记是附着在晶圆传送盒的舱门上的标记；根据所述目标图像确定舱门是否装反；当确定舱门装反时，发出警报指令，所述警报指令用于指示警报设备显示警报图像，和/或，发出警报音。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述图形标记包括背景图和位于背景图上的标记符号，所述标记符号不位于所述背景图的中心。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标图像确定舱门是否装反，包括：将所述目标图像与标准图像比对，确定所述目标图像中的标记符号是否处于正确的区域；当确定所述目标图像中的标记符号处于正确的区域时，确定舱门没有装反。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当确定所述目标图像中的标记符号不处于正确的区域时，确定舱门装反。5.一种晶圆传送...

【专利技术属性】
技术研发人员：董俊，张其学，王雷，宋振伟，赵正元，张守龙，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：