本发明专利技术提供了刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，涉及半导体加工技术领域，包括内置固定座，所述内置固定座的前侧固定设置有两组滑座板，滑座板前侧固定设置有外置架；U形滑架，所述U形滑架配合导轨滑动设置在两组滑座板的顶部；根据本发明专利技术的各实施例的打磨板，提供了辅助打磨并且利用打磨增温的功能，启动传动电机，通过锥齿轮带动两侧传动轴、从动轴、摆动转轴、摆动轮和偏心杆旋转，偏心杆带动条形框架和打磨板前后往复运动，摩擦线路板的底面，同时通过摩擦加热，提高晶圆的刻蚀效率，通过加热提高晶圆活性，解决了现有夹紧装置缺乏辅助打磨并且利用打磨增温，提高晶圆活性的辅助功能的问题。活性的辅助功能的问题。活性的辅助功能的问题。
【技术实现步骤摘要】
刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，特别涉及刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置。
技术介绍
[0002]蚀刻机分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类，在化学蚀刻中是使用化学溶液经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，工作方式主要为固定半导体板，刻蚀开孔后将零部件安装固定；晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，成形后为原子晶体，晶体的活性会根据温度的升降自动升降。
[0003]然而目前使用的夹紧装置主要作用为固定安装半导体线路板，缺乏辅助打磨并且利用打磨增温，提高晶圆活性的辅助功能，以及保证打磨稳定性的辅助润滑和供给功能。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本专利技术提供刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其具有承接托座和上扣押架，能够通过二者的对接，收缩夹紧使线路板进行固定。
[0005]本专利技术提供了刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，具体包括：内置固定座，所述内置固定座的前侧固定设置有两组滑座板，滑座板前侧固定设置有外置架；U形滑架，所述U形滑架配合导轨滑动设置在两组滑座板的顶部；U形滑架的顶部固定设置有上扣押架，上扣押架的前后侧为通槽结构；承接托座，所述承接托座滑动在U形滑架内，承接托座的顶部两侧之间一体式设置有连接条，连接条位于上扣押架中；打磨板，所述打磨板的底部固定设置有条形框架，条形框架配合导轨滑动设置在承接托座的内部；摆动转轴，所述摆动转轴的数量设置为四组，四组摆动转轴旋转设置在U形滑架的两侧上方，同侧上下的摆动转轴设置齿轮传动连接；套壳，所述套壳配合两组气密轴承旋转设置在上侧两组摆动转轴的外部；油盒，所述油盒固定设置在U形滑架的底部。
[0006]可选地，所述内置固定座还包括有：导压架，外置架的顶部两侧一体式设置有两组向后上仰的导压架；传动丝杠，外置架和内置固定座之间两侧旋转设置有传动丝杠；传动丝杠与U形滑架螺纹连接；梯形导向块A，滑座板的后侧上方固定设置有梯形导向块A；侧转轴，外置架的前侧旋转设置有两组侧转轴；手摇轴，外置架的前侧中间旋转设置有手摇轴，手摇轴与两组侧转轴设置锥齿轮传动连接；侧转轴与传动丝杠设置锥齿轮传动连接。
[0007]可选地，所述U形滑架还包括有：从动轴，U形滑架的两侧旋转设置有从动轴；下侧摆动转轴和从动轴设置锥齿轮传动连接；传动轴，U形滑架的底部两侧旋转设置有两组传动轴；传动电机，U形滑架的前侧固定设置有传动电机，传动电机与两组传动轴设置锥齿轮传动连接；传动轴与从动轴设置锥齿轮传动连接。
[0008]可选地，所述承接托座包括有：复位横杆，承接托座的两侧前端固定设置有两组复位横杆；梯形导向块B，承接托座的底部后侧固定设置有两组梯形导向块B。
[0009]可选地，所述摆动转轴包括有：摆动轮，两侧摆动转轴的相邻端均固定设置有摆动轮，两侧摆动轮的相邻面均一体式设置有偏心杆；偏心杆滑动在条形框架的两侧中间；通孔A，上侧两组摆动转轴外位于套壳内的位置开设有通孔A；通孔B，上侧两组偏心杆外开设有通孔B，通孔B与通孔A连通；H形滑块，偏心杆的外部均配合两组气密轴承旋转设置有H形滑块，H形滑块包裹通孔B；通孔C，上侧两组H形滑块的两侧开设有通孔C。
[0010]可选地，所述套壳包括有：输油管，套壳的后侧均连接设置有输油管，两侧输油管设置三通连接。
[0011]可选地，所述油盒包括有：单向阀A，油盒的后侧底部一体式设置有凸块，凸块顶部连接设置有单向阀A，单向阀A的顶部连接设置有连接管。
[0012]可选地，所述U形滑架的后侧固定设置有输油活塞，输油活塞与连接管连接相通；输油活塞的伸缩端连接设置有单向阀B，单向阀B与输油管设置管道连通。
[0013]有益效果：1.本专利技术各实施例的打磨板，提供了辅助打磨并且利用打磨增温的功能，启动传动电机，通过锥齿轮带动两侧传动轴、从动轴、摆动转轴、摆动轮和偏心杆旋转，偏心杆带动条形框架和打磨板前后往复运动，摩擦线路板的底面，同时通过摩擦加热，提高晶圆的刻蚀效率，通过加热提高晶圆活性。
[0014]2.梯形导向块B与梯形导向块A的设置，提供了卡位夹紧功能，转动手摇轴，通过锥齿轮带动两组侧转轴旋转，传动丝杠通过螺纹传动推进U形滑架向后移动，将承接托座向后移动，当梯形导向块B与梯形导向块A斜面接触的时候，承接托座升起，将线路板卡住，完成固定安装，操作方便稳定。
[0015]3.输油活塞的设置，提供了润滑功能，在承接托座升降的过程中，输油活塞进行一次伸缩，输油活塞伸展的时候产生负压，将油盒内的润滑油穿过单向阀A和连接管吸入输油活塞，在输油活塞收缩的时候，将润滑油穿过单向阀B输入输油管，从套壳内进入通孔A，从通孔B排出，进而进入H形滑块，从通孔C输出，利用涂抹的方式均匀润滑，保证每次安装线路板后实现润滑。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
[0017]下面描述中的附图仅仅涉及本专利技术的一些实施例，而非对本专利技术的限制。
[0018]在附图中：图1示出了根据本专利技术的实施例整体的立体结构示意图；图2示出了根据本专利技术的实施例整体的轴侧结构示意图；图3示出了根据本专利技术的实施例整体的侧仰结构示意图；图4示出了根据本专利技术的实施例整体的安装位置结构示意图；图5示出了根据本专利技术的实施例夹紧装置的装配位置结构示意图；图6示出了根据本专利技术的实施例夹紧装置的局部侧仰结构示意图；图7示出了根据本专利技术的实施例的摩擦动作传动结构示意图；图8示出了根据本专利技术的实施例摆动转轴的立体拆分结构示意图。
[0019]附图标记列表
1、内置固定座；101、滑座板；102、外置架；103、导压架；104、传动丝杠；105、梯形导向块A；106、侧转轴；107、手摇轴；2、U形滑架；201、从动轴；202、传动轴；203、传动电机；204、上扣押架；3、承接托座；301、复位横杆；302、梯形导向块B；4、打磨板；401、条形框架；5、摆动转轴；501、摆动轮；502、偏心杆；503、通孔A；504、通孔B；505、H形滑块；506、通孔C；6、套壳；601、输油管；7、油盒；701、单向阀A；702、连接管；8、输油活塞；9、单向阀B。
具体实施方式
[0020]为了使得本专利技术的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本专利技术的具体实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。
[0021]实施例：请参考图1至图8：本专利技术提出了刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，包括：内置固定座1，内置固定座1的前侧固定设置有两组滑座板101，滑座板101前侧固定设置有外置架102；U形滑架2，U形滑架2配合导轨滑动设置在两组滑座板101的顶部；U形滑架2的顶部固定设置有上扣押架204，上扣押本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，包括：内置固定座（1），所述内置固定座（1）的前侧固定设置有两组滑座板（101），滑座板（101）前侧固定设置有外置架（102）；U形滑架（2），所述U形滑架（2）配合导轨滑动设置在两组滑座板（101）的顶部；U形滑架（2）的顶部固定设置有上扣押架（204），上扣押架（204）的前后侧为通槽结构；承接托座（3），所述承接托座（3）滑动在U形滑架（2）内，承接托座（3）的顶部两侧之间一体式设置有连接条，连接条位于上扣押架（204）中；打磨板（4），所述打磨板（4）的底部固定设置有条形框架（401），条形框架（401）配合导轨滑动设置在承接托座（3）的内部；摆动转轴（5），所述摆动转轴（5）的数量设置为四组，四组摆动转轴（5）旋转设置在U形滑架（2）的两侧上方，同侧上下的摆动转轴（5）设置齿轮传动连接；套壳（6），所述套壳（6）配合两组气密轴承旋转设置在上侧两组摆动转轴（5）的外部；油盒（7），所述油盒（7）固定设置在U形滑架（2）的底部；输油活塞（8），所述U形滑架（2）的后侧固定设置有输油活塞（8）。2.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述内置固定座（1）还包括有：导压架（103），外置架（102）的顶部两侧一体式设置有两组向后上仰的导压架（103）；传动丝杠（104），外置架（102）和内置固定座（1）之间两侧旋转设置有传动丝杠（104）；传动丝杠（104）与U形滑架（2）螺纹连接；梯形导向块A（105），滑座板（101）的后侧上方固定设置有梯形导向块A（105）；侧转轴（106），外置架（102）的前侧旋转设置有两组侧转轴（106）；手摇轴（107），外置架（102）的前侧中间旋转设置有手摇轴（107），手摇轴（107）与两组侧转轴（106）设置锥齿轮传动连接；侧转轴（106）与传动丝杠（104）设置锥齿轮传动连接。3.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述U形滑架（2）还包括有：从动轴（201），U形滑架（2）的两侧旋转设置有从动轴（201）；下侧摆动转轴（5）和从动轴（...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵述承，
申请(专利权)人：恒鑫盛机械设备潍坊有限公司，
类型：发明
国别省市：
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