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本申请公开了一种晶圆传送盒的检测方法和系统，该方法包括：获取目标图像，目标图像是摄像头拍摄图形标记得到的图像，图形标记是附着在晶圆传送盒的舱门上的标记；根据目标图像确定舱门是否装反；当确定舱门装反时，发出警报指令，警报指令用于指示警报设备发...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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