一种多波段LDI曝光系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。通过每一种波段的光束均配置一个反射式空间光调制器，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。射率不同导致存在位置色差的问题。射率不同导致存在位置色差的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种多波段LDI曝光系统


[0001]本技术涉及多波段LDI曝光系统
，尤其涉及一种多波段LDI曝光系统。

技术介绍

[0002]LDI(laser direct imaging)，中文全称是激光直接成像技术，用于pcb工艺中的曝光工序，与传统的底片接触曝光方法有所不同,传统曝光是通过汞灯照射底片将图像转移至PCB上，而LDI是用激光扫面的方法直接将图像在PCB上成像，图像更精细。
[0003]但是目前一般的多波段LDI曝光系统如附图1所示，包括波段1光源、波段2光源和波段3光源，并通过对应的合光镜a进行折射到透镜b，透镜b将光束发送到发射镜c中，反射镜c通过角度的调节使得光线射入到数字微镜器件(Digtial Micromirror Devices,DMD)中，DMD作为空间光调制器的一种，就是借助微镜装置反射需要的光，同时通过光吸收器吸收不需要的光来实现影像的投影，而其光照方向则是借助静电作用，通过控制微镜片角度来实现，DMD再把光束反射到成像镜头D中。但是，目前的多波段LDI曝光系统由于不同波长的光源折射率不同，导致存在位置色差(纵向色差)，从而导致PCB曝光色差。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种多波段LDI曝光系统，用于解决由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
[0005]鉴于此目的，本技术实施例提供一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的所述光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。
[0006]进一步的，所述不同波段的光束包括第一波段光束和第二波段光束，所述第一波段光束的出光光路上设置有第一反射式空间光调制器，所述第二波段光束的出光光路上设置有第二反射式空间光调制器，在所述第一反射式空间光调制器和所述第二反射式空间光调制器的出光光束照射到所述合光棱镜中。
[0007]进一步的，所述第一波段光束的出光光路上设置有反射镜，所述反射镜用于将所述第一波段光束反射到所述第一反射式空间光调制器中。
[0008]进一步的，所述照明光源、所述分色镜、所述反射镜位于同一直线上。
[0009]进一步的，所述照明光源发出的所述第二波段光束经过所述分色镜折射后形成夹角大于
°
的第二波段光束。
[0010]进一步的，所述第一反射式空间光调制器和第一位置微调滑台组件连接。
[0011]进一步的，所述第二反射式空间光调制器和第二位置微调滑台组件连接。
[0012]进一步的，所述焦平面和第三位置调节组件连接。
[0013]进一步的，所述照明光源包括第一波段光源和第二波段光源。
[0014]本技术的有益效果：本技术实施例提供一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。通过每一种不同波段的光束均配置一个反射式空间光调制器，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0016]图1为现有技术中的一种多波段LDI曝光系统的结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例提供的一种多波段LDI曝光系统的结构示意图。
[0018]图中：1、照明光源；2、分色镜；3、光束；30、第一波段光束；31、第二波段光束；4、反射式空间光调制器；40、第一反射式空间光调制器；41、第二反射式空间光调制器；5、合光棱镜；6、投影镜头；7、焦平面；8、反射镜；9、第一位置微调滑台组件；10、第二位置微调滑台组件。
具体实施方式
[0019]本技术实施例提供一种多波段LDI曝光系统，用于解决由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
[0020]为使得本技术的技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0022]实施例：
[0023]图2为一种多波段LDI曝光系统，如图2所示，一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源1、沿所述二合一照明光源1的出光光路上设置有分色镜2，所述分色镜2用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束3，不同波段的光束3的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器4，多个所述反射式空间光调制器4的出光光路上设置有合光棱镜5，所述合光棱镜5的光束出光方向上设置有投影镜头6，所述投影镜头6的前方设置有焦平面7。
[0024]在具体的实施例中，该照明光源1为二合一照明光源，在该照明光源1的出光光路上设置有分色镜2，分色镜2将光束分为第一波段光束30和第二波段光束31，第一波段光束30反射到一反射式空间光调制器4，经反射后，汇集到合光棱镜5中，第二波段光束31经分色
镜2后和第一波段光束30呈一定夹角往反射式空间光调制器4照射过去，然后反射到合光棱镜5中，该第一波段光束30和第二波段光束31经过合光棱镜5后折射到投影镜头中，每一种波段的光束均对应一个反射式空间光调制器4，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
[0025]进一步的，所述光束3包括第一波段光束30和第二波段光束31，所述第一波段光束30的出光光路上设置有第一反射式空间光调制器40，所述第二波段光束31的出光光路上设置有第二反射式空间光调制器41，在所述第一反射式空间光调制器40和所述第二反射式空间光调制器41的出光光束照射到所述合光棱镜5中。
[0026]具体的，该照明光源1为二合一照明光源，发出两个波段的光束，分别为第一波段光束30和第二波段光束31，第一波段光束30对应第一反射式空间光调制器40，第二波段光束31对应第二反射式空间光调制器41，不同波长分别对应不同反射式空间光调制器4，每块反射式空间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多波段LDI曝光系统，其特征在于，包括照明光源(1)、沿所述照明光源(1)的出光光路上设置有分色镜(2)，所述分色镜(2)用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束(3)，不同波段的所述光束(3)的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器(4)，多个所述反射式空间光调制器(4)的出光光路上设置有合光棱镜(5)，所述合光棱镜(5)的光束出光方向上设置有投影镜头(6)，所述投影镜头(6)的前方设置有焦平面(7)。2.根据权利要求1所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述不同波段的光束(3)包括第一波段光束(30)和第二波段光束(31)，所述第一波段光束(30)的出光光路上设置有第一反射式空间光调制器(40)，所述第二波段光束(31)的出光光路上设置有第二反射式空间光调制器(41)，在所述第一反射式空间光调制器(40)和所述第二反射式空间光调制器(41)的出光光束照射到所述合光棱镜(5)中。3.根据权利要求2所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述第一波段光束(30)的出光光...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建勋，黄洪裕，
申请(专利权)人：广东思沃激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：