DMD投影系统的焦距测量方法、装置、存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了DMD投影系统的焦距测量方法、装置和存储介质，其中，该方法包括如下步骤：S1、将相机置于DMD投影系统的下方，以使所述DMD投影系统投影的图像在预设高度范围内恒落入所述相机的成像区域内；S2、通过所述DMD投影系统进行图像投影，以在所述相机的成像区域内形成投影图像；S3、将所述相机沿Z轴方向从初始位置移动至终点位置，并在移动过程中，令所述相机每间隔预设步长进行图像拍摄，以获得多张不同高度下基于所述投影图像的捕获图片；S4、分析每一捕获图片的图片质量；S5、依据分析结果获得所述DMD投影系统的最佳焦距；本发明专利技术的焦距测量过程简单且精度高，适于为DMD投影系统测量获得最佳焦距。系统测量获得最佳焦距。系统测量获得最佳焦距。

【技术实现步骤摘要】
DMD投影系统的焦距测量方法、装置、存储介质


[0001]本专利技术涉及DMD投影
，尤其涉及DMD投影系统的焦距测量方法、装置、存储介质。

技术介绍

[0002]数字微反射镜DMD是pcb曝光设备LDI光学系统的重要组成部分。DMD由许多小型铝制反射镜面组成，每个镜面能够绕每个正方向小镜子的对角线偏转﹢12
°
、0
°
、﹣12
°
三种状态。其工作过程中，通过微型镜面将输入光反射输出成像系统中，确保输出光线能够聚焦在成像平面上。
[0003]对焦性不好的DMD投影系统在成像平面上会造成成像出较大线宽和线距、能量不均匀性、能量损耗以及成像图形模糊等问题，因此，需要确保DMD投影系统的焦面与成像平面高度一致，保证光学系统的正常运行。
[0004]然而，受限于现有技术，现有的DMD投影系统的焦距的过程繁琐、且测量精度较差，无法满足更高质量的DMD投影系统要求。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供DMD投影系统的焦距测量方法、装置、存储介质，其焦距本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种DMD投影系统的焦距测量方法，其特征在于，包括如下步骤：将相机置于DMD投影系统的下方，以使所述DMD投影系统投影的图像在预设高度范围内恒落入所述相机的成像区域内；通过所述DMD投影系统进行图像投影，以在所述相机的成像区域内形成投影图像；将所述相机沿Z轴方向从初始位置移动至终点位置，并在移动过程中，令所述相机每间隔预设步长进行图像拍摄，以获得多张不同高度下基于所述投影图像的捕获图片；分析每一捕获图片的图片质量；依据分析结果获得所述DMD投影系统的最佳焦距。2.如权利要求1所述的DMD投影系统的焦距测量方法，其特征在于，所述将所述相机沿Z轴方向从初始位置移动至终点位置，并在移动过程中，令所述相机每间隔预设步长进行图像拍摄，以获得多张不同高度下基于所述投影图像的捕获图片中，令所述相机每间隔预设步长进行图像拍摄，以获得多张不同高度下基于所述投影图像的捕获图片中，具体包括：令所述相机每间隔移动预设步长时，以所述投影图像的预设位置为拍摄焦点进行图像拍摄，以获得多张不同高度下基于所述投影图像的捕获图片。3.如权利要求2所述的DMD投影系统的焦距测量方法，其特征在于，所述预设位置为所述投影图像的左上角、左下角、中心位置、右上角或右下角。4.如权利要求1所述的DMD投影系统的焦距测量方法，其特征在于，所述图片质量为所述捕获图像的边缘锐利度。5.如权利要求4所述的DMD投影系统的焦距测量方法，其特征在于，所述分析每一捕获图片的图片质量，具体包括：分别对每一捕获图像进行图像处理，以获得每一捕获图像的所有像素的灰度梯度值；计算同一捕获图像下的相邻像素间的灰度梯度值的方差；以相邻像素间的灰度...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗男生，
申请(专利权)人：广东思沃激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：