记录有指示用程序或程序集的记录介质以及描绘系统技术方案

描绘系统(7)具备设计用终端(2)、描绘装置(1)、中间存储部(3)和指示用终端(4)。设计用终端(2)用于设计图案的设计数据。描绘装置(1)基于由设计用终端(2)设计的设计数据，对基板上的感光材料进行图案描绘。中间存储部(3)存储由设计用终端(2)设计的设计数据。指示用终端(4)用于对描绘装置(1指示描绘处理。在描绘系统(7)中，进行：通过由指示用终端(4)执行指示用程序，进行从中间存储部(3)获取用于描绘的一个设计数据的工序；基于该一个设计数据，生成表示描绘装置(1)应执行的描绘处理的内容的描绘指示信息的工序；以及将该描绘指示信息从指示用终端(4)发送到描绘装置(1)的工序。由此，能够提高图案描绘的效率。能够提高图案描绘的效率。能够提高图案描绘的效率。

【技术实现步骤摘要】
记录有指示用程序或程序集的记录介质以及描绘系统


本专利技术涉及对基板进行描绘的描绘系统、以及分别记录有在该描绘系统中使用的指示用程序和程序集的记录介质。[相关申请的参考]本申请要求2022年3月24日申请的日本专利申请JP2022
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047871的优先权，该申请的全部公开内容在此引入作为参考。

技术介绍

以往，通过对形成在半导体基板、印刷基板、或者有机EL显示装置或液晶显示装置用的玻璃基板等(以下称为“基板”)上的感光材料照射光，来进行图案的描绘。在日本特开2015
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153213号公报(文献1)中，公开了与该图案描绘有关的处理的一个例子。在文献1的图案描绘系统中，首先，在生成了以矢量形式描述的图案的设计数据之后，将该设计数据变换为光栅形式的描绘数据。然后，在描绘装置中，基于该描绘数据对基板上的感光材料照射光从而描绘图案。另外，在与图案描绘有关的处理中，在设计数据的生成处理与从设计数据向描绘数据的变换处理之间，进行描绘所使用的描绘装置的选择、基于设计数据的描绘参数的设定等。描绘参数例如表示描绘装置根据基板上的感光材料的种类等而应执行的描绘处理的内容。但是，如上所述，在依次进行设计数据的生成处理、描绘装置的选择处理及描绘参数的设定处理、以及从设计数据向描绘数据的变换处理来描绘图案的情况下，任一处理都成为瓶颈，图案描绘的效率有可能降低。

技术实现思路

本专利技术涉及记录有在描绘系统中使用的指示用程序的记录介质，其目的在于提高图案描绘的效率。本专利技术优选的一实施方式所涉及的使用指示用程序的描绘系统，具备：设计用终端，其用于设计图案的设计数据；描绘装置，其基于由所述设计用终端设计的设计数据，对基板上的感光材料进行图案描绘；中间存储部，其与所述设计用终端可通信地连接，并存储由所述设计用终端设计的设计数据；以及指示用终端，其与所述中间存储部及所述描绘装置可通信地连接，并用于对所述描绘装置指示描绘处理。通过由所述指示用终端执行所述指示用程序，进行：a)工序，从所述中间存储部获取用于描绘的一个设计数据；b)工序，基于所述一个设计数据，生成表示所述描绘装置应执行的描绘处理的内容的描绘指示信息；以及c)工序，将所述描绘指示信息从所述指示用终端发送到所述描绘装置。根据上述指示用程序，能够提高图案描绘的效率。优选地，所述描绘系统具备包含所述描绘装置的多个描绘装置。在所述指示用终端中预先存储有参数信息，所述参数信息表示描绘装置及感光材料的多个组合、与分别对
应于所述多个组合的多个描绘参数之间的关系。通过由所述指示用终端执行所述指示用程序，进行：d)工序，在所述b)工序之前，从所述多个描绘装置中选择预定在所述c)工序中被发送所述描绘指示信息的一个描绘装置；以及e)工序，在所述d)工序与所述b)工序之间，从所述参数信息中提取与预定由所述一个描绘装置进行描绘的基板上的感光材料即使用感光材料和所述一个描绘装置对应的一个描绘参数。在所述b)工序中，将所述e)工序中提取出的所述一个描绘参数包含在所述描绘指示信息中。优选地，表示所述使用感光材料的信息包含在所述a)工序中从所述中间存储部获取的所述一个设计数据中。优选地，在所述多个描绘装置中的一个描绘装置中，在获取了与新的感光材料对应的新的描绘参数的情况下，将所述新的描绘参数发送到所述指示用终端，并与所述一个描绘装置及所述新的感光材料相关联地包含在所述参数信息中。本专利技术还涉及记录有在描绘系统中使用的程序集的记录介质。本专利技术优选的一个实施方式所涉及的使用程序集的描绘系统，具备：设计用终端，其用于设计图案的设计数据；描绘装置，其基于由所述设计用终端设计的设计数据，对基板上的感光材料进行图案描绘；中间存储部，其与所述设计用终端可通信地连接，并存储由所述设计用终端设计的设计数据；以及指示用终端，其与所述中间存储部及所述描绘装置可通信地连接，并用于对所述描绘装置指示描绘处理。该程序集具备：用于在所述设计用终端中设计设计数据的设计用程序；以及上述的指示用程序。本专利技术还涉及对基板进行图案的描绘的描绘系统。本专利技术优选的一实施方式所涉及的描绘系统具备：设计用终端，其用于设计图案的设计数据；描绘装置，其基于由所述设计用终端设计的设计数据，对基板上的感光材料进行图案描绘；中间存储部，其与所述设计用终端可通信地连接，并存储由所述设计用终端设计的设计数据；以及指示用终端，其与所述中间存储部及所述描绘装置可通信地连接，并用于对所述描绘装置指示描绘处理。所述指示用终端从所述中间存储部获取用于描绘的一个设计数据，并基于所述一个设计数据，生成表示所述描绘装置应执行的描绘处理的内容的描绘指示信息并发送到所述描绘装置。上述的目的及其它目的、特征、方面及优点将通过以下参照附图进行的本专利技术的详细说明中，变得显而易见。
附图说明
图1是表示一实施方式所涉及的描绘系统的结构的图。图2是表示描绘装置的立体图。图3是表示设计用终端的结构的图。图4是表示指示用终端的结构的图。图5是表示指示用终端的功能的框图。图6是表示参数信息的具体例的图。图7是表示指示用终端中的处理流程的流程图。附图标记说明1 描绘装置2 设计用终端
3 中间存储部4 指示用终端7 描绘系统9 基板209 设计用程序409 指示用程序411 参数信息S11～S15 步骤
具体实施方式
图1是表示本专利技术的一实施方式所涉及的描绘系统7的结构的图。描绘系统7是对基板进行图案的描绘的系统。描绘系统7具备描绘装置1、设计用终端2、中间存储部3、指示用终端4。描绘装置1是将空间调制后的大致束状的光照射到基板上的感光材料上，通过在基板上扫描该光的照射区域来进行图案的描绘的直接描绘装置。在图1所示的例子中，描绘系统7具备多个描绘装置1。设计用终端2用于设计该图案的设计数据。设计数据例如是矢量形式的CAD数据。中间存储部3暂时存储由设计用终端2设计的设计数据。在中间存储部3中通常存储有多个设计数据。指示用终端4用于指示描绘装置1进行描绘处理。具体而言，指示用终端4从中间存储部3获取预定用于图案的描绘的一个设计数据，并且从上述多个描绘装置1中选择预定用于图案的描绘的一个描绘装置1。接着，指示用终端4基于该一个设计数据，生成表示该一个描绘装置1应执行的描绘处理的内容的描绘指示信息。然后，指示用终端4对所选择的上述一个描绘装置1，将该描绘指示信息与上述一个设计数据一起发送。后面将详细描述描绘指示信息。该一个描绘装置1基于由设计用终端2设计的上述一个设计数据、以及由指示用终端4生成的上述描绘指示信息，对基板9进行描绘。在描绘系统7中，作为设计用终端2、中间存储部3以及指示用终端4，例如利用通常的计算机。在图1所示的例子中，指示用终端4设置在进行与图案的设计有关的业务的设计部门81中。另一方面，指示用终端4及描绘装置1设置在与对基板进行图案的描绘有关的业务的制造部门82中。在图1中，用双点划线表示设计部门81及制造部门82。制造部门82例如位于与设计部门81不同的建筑物中。中间存储部3可以设置在设计部门81，也可以设置在制造部门82，也可以设置在设计部门81和制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种记录有指示用程序的记录介质，该指示用程序在描绘系统中使用，所述描绘系统具备：设计用终端，其用于设计图案的设计数据；描绘装置，其基于由所述设计用终端设计的设计数据，对基板上的感光材料进行图案描绘；中间存储部，其与所述设计用终端可通信地连接，并存储由所述设计用终端设计的设计数据；以及指示用终端，其与所述中间存储部及所述描绘装置可通信地连接，并用于对所述描绘装置指示描绘处理，其中，通过由所述指示用终端执行所述指示用程序，进行：a)工序，从所述中间存储部获取用于描绘的一个设计数据；b)工序，基于所述一个设计数据，生成表示所述描绘装置应执行的描绘处理的内容的描绘指示信息；以及c)工序，将所述描绘指示信息从所述指示用终端发送到所述描绘装置。2.根据权利要求1所述的记录有指示用程序的记录介质，其中，所述描绘系统具备包含所述描绘装置的多个描绘装置，在所述指示用终端中预先存储有参数信息，所述参数信息表示描绘装置及感光材料的多个组合、与分别对应于所述多个组合的多个描绘参数之间的关系，通过由所述指示用终端执行所述指示用程序，进行：d)工序，在所述b)工序之前，从所述多个描绘装置中选择预定在所述c)工序中被发送所述描绘指示信息的一个描绘装置；以及e)工序，在所述d)工序与所述b)工序之间，从所述参数信息中提取与预定由所述一个描绘装置进行描绘的基板上的感光材料即使用感光材料和所述一个描绘装置对应的一个描绘参数，在所述b)工序中，将在所述e)工序中提取出的所述一个描绘参数包含在所述描绘指示信息中。3.根据权利要求2所述的记录有指示用程序的记录介质，其中，表...

【专利技术属性】
技术研发人员：鉈落信也，吉野公敏，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：