环形振荡器及测试方法技术

本公开提供了一种环形振荡器及测试方法，属于可靠性测试技术领域。该环形振荡器包括第一逻辑门、第二逻辑门、开关电路。其中，第一逻辑门配置为接收测试信号。第二逻辑门包括依次连接的第一与非门和第一或非门。其中，第二逻辑门的输出端连接第一逻辑门的输入端，且第二逻辑门配置为接收第一逻辑门的输入以形成回路。开关电路包括第一开关电路和第二开关电路。第一开关电路可以配置为控制第一与非门的供电端和第一或非门的接地端的通断。第二开关电路配置为控制第一与非门的接地端的通断。在对器件进行NBTI测试时，由于与非门和或非门对器件的NBTI效应更为明显，这样能够提高对器件NBTI效应测试的准确性，从而能够准确的预测器件的使用寿命。件的使用寿命。件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
环形振荡器及测试方法


[0001]本公开涉及可靠性测试
，尤其涉及一种环形振荡器及测试方法。

技术介绍

[0002]在集成电路测试技术中，NBTI(Negative Bias Temperature Instability,负偏压温度不稳定性)测试是器件可靠性测试的重要部分，能够测试器件的质量，预测器件的使用寿命。其中，通常利用环形振荡器进行测试，但是现有的环形振荡器结构对于NBTI效应不敏感，导致在进行加压测试前后的测量结果差距不明显，进而影响其测量的准确性。此外，无法评估在不同的应力状态下，NBTI效应对器件的影响，进而无法全面准确的预测器件的使用寿命。
[0003]所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本公开的目的在于提供一种环形振荡器及测试方法，能够提高NBTI测试的准确性。
[0005]为实现上述专利技术目的，本公开采用如下技术方案：
[0006]根据本公开的第一个方面，提供一种环形振荡器，所述振荡器包括：
[0007]第一逻辑门，配置为接收测试信号；
[0008]第二逻辑门，包括依次连接的第一与非门、第一或非门，所述第二逻辑门的输出端连接所述第一逻辑门的输入端，且所述第二逻辑门配置为接收所述第一逻辑门的输出以形成回路；
[0009]开关电路，包括第一开关电路和第二开关电路：所述第一开关电路配置为控制所述第一与非门的供电端和所述第一或非门的接地端的通断；所述第二开关电路，配置为控制所述第一与非门的接地端的通断。
[0010]在本公开的一种示例性实施例中，所述第二逻辑门还设置有多对第二与非门和第二或非门；其中，所述第二与非门的输入端连接所述第一或非门的输出端，所述第二与非门的输出端连接所述第二或非门的输入端，所述第二或非门的输出端连接所述第一逻辑门的输入端。
[0011]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一与非门和所述第二与非门的尺寸小于标准值，所述第一或非门和所述第二或非门的尺寸大于标准值。
[0012]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一逻辑门为第三与非门或第三或非门。
[0013]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一开关电路的尺寸小于所述第二开关电路的尺寸。
[0014]根据本公开的第二个方面，提供一种测试电路，所述测试电路包括上述的环形振荡器。
[0015]根据本公开的第三个方面，提供一种负偏压温度不稳定性的测试方法，应用于如上述的环形振荡器，其特征在于，所述测试方法包括：
[0016]导通所述开关电路中的各个开关，以获取所述环形振荡器的初始频率，所述初始频率为所述环形振荡器输出初始信号的振荡频率；
[0017]设置测试信号并发送控制信号，所述控制信号用于控制所述开关电路中各个开关的通断，以控制所述环形振荡器中不同逻辑门承受的应力，不同的所述控制信号用于使得所述环形振荡器在测试时承受不同的应力状态；
[0018]在预设时间间隔后导通所述开关电路中的各个开关，以获取应力频率，所述应力频率为所述环形振荡器输出当前测试信号的振荡频率；
[0019]根据所述初始频率、所述应力频率以及所述预设时间间隔确定负偏压温度不稳定性效应对所述环形振荡器的影响。
[0020]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一逻辑门为第三与非门，所述设置测试信号并发送控制信号还包括：
[0021]将所述第三与非门的输入端设置为低电平，并发送第一控制信号，所述第一控制信号用于使得第一开关电路和第二开关电路断开。
[0022]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一逻辑门为第三与非门，所述设置测试信号并发送控制信号还包括：
[0023]将所述第三与非门的输入端设置为低电平，并发送第二控制信号，所述第二控制信号用于使得第一开关电路断开和第二开关电路接通。
[0024]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一逻辑门为第三与非门，所述设置测试信号并发送控制信号还包括：
[0025]将所述第三与非门的输入端设置为低电平，并发送第三控制信号，所述第三控制信号用于使得第一开关电路和第二开关电路接通。
[0026]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一逻辑门为第三或非门，所述设置测试信号并发送控制信号还包括：
[0027]将所述第三或非门的输入端设置为高电平，并发送第四控制信号，所述第四控制信号用于使得第一开关电路和第二开关电路接通。
[0028]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一逻辑门为第三与非门，所述设置测试信号并发送控制信号还包括：
[0029]将所述第三与非门的输入端设置为高电平，并发送第五控制信号，所述第五控制信号用于使得第一开关电路和第二开关电路接通。
[0030]在对器件进行NBTI测试时，由于与非门和或非门对器件的NBTI效应更为明显，因此在进行加压测试前后其测量结果差距更为明显，这样能够提高对器件NBTI效应测试的准确性，从而能够准确的预测器件的使用寿命，尤其是最短使用寿命。此外，通过控制开关电路中第一开关电路和第二开关电路，能够控制第一与非门和第一或非门的通断，这样可以改变环形振荡器所承受的应力状态，从而根据环形振荡器在测试时承受不同的应力状态来评估NBTI效应对器件的影响，如此能够全面的评估在NBTI测试下，不同的应力状态对器件的影响程度，从而进一步提高预测器件使用寿命的准确性。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1是本公开实施方式的一种环形振荡器的结构示意图。
[0033]图2是本公开实施方式的一种测试方法的流程图。
[0034]图中主要元件附图标记说明如下：
[0035]10、第一逻辑门；20、第二逻辑门；21、第一与非门；22、第一或非门；23、第二与非门；24、第二或非门；30、开关电路；31、第一开关电路；32、第二开关电路。
具体实施方式
[0036]现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。
[0037]所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种环形振荡器，其特征在于，所述振荡器包括：第一逻辑门，配置为接收测试信号；第二逻辑门，包括依次连接的第一与非门、第一或非门，所述第二逻辑门的输出端连接所述第一逻辑门的输入端，且所述第二逻辑门配置为接收所述第一逻辑门的输出以形成回路；开关电路，包括第一开关电路和第二开关电路：所述第一开关电路配置为控制所述第一与非门的供电端和所述第一或非门的接地端的通断；所述第二开关电路，配置为控制所述第一与非门的接地端的通断。2.根据权利要求1所述的环形振荡器，其特征在于，所述第二逻辑门还设置有多对第二与非门和第二或非门；其中，所述第二与非门的输入端连接所述第一或非门的输出端，所述第二与非门的输出端连接所述第二或非门的输入端，所述第二或非门的输出端连接所述第一逻辑门的输入端。3.根据权利要求2所述的环形振荡器，其特征在于，所述第一与非门和所述第二与非门的尺寸小于标准值，所述第一或非门和所述第二或非门的尺寸大于标准值。4.根据权利要求1所述的环形振荡器，其特征在于，所述第一逻辑门为第三与非门或第三或非门。5.根据权利要求1所述的环形振荡器，其特征在于，所述第一开关电路的尺寸小于所述第二开关电路的尺寸。6.一种测试电路，其特征在于，所述测试电路包括如权利要求1～5任意一项所述的环形振荡器。7.一种负偏压温度不稳定性的测试方法，应用于如权利要求1～5任意一项所述的环形振荡器，其特征在于，所述测试方法包括：导通所述开关电路中的各个开关，以获取所述环形振荡器的初始频率，所述初始频率为所述环形振荡器输出初始信号的振荡频率；设置测试信号并发送控制信号，所述控制信号用于控制所述开关电路中各个开关的通断，以控制所述环形振荡器中不同逻辑门承受的应力，不同的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈婵，邱安平，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：