真空排气处理用的支架制造技术

为了提高生产效率，提供一种能够以较小的间隔支撑中空面板的真空排气处理用的支架。其解决手段是，一种真空排气处理用的支架（１），包括支撑多个中空面板（２）的支撑部件（７），供安装在各中空面板（２）的开口的尾管（１０）分别插入、并通过尾管（１０）从各中空面板（２）排出各自的气体的多个排气集管（１１），其中使排气集管（１１）在与尾管（１０）的插入方向及与插入中空面板（２）的方向垂直的方向上相互不同位地错开，并配置成在尾管（１０）的插入方向上每隔一个排成一条直列。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及保持中空面板并在加热炉内对其进行真空排气的真空排气处理 用的支架。
技术介绍
在等离子体显示面板的制造过程中等，要在设置于中空面板上的尾管上安 装排，管，以在加热炉内加热，并进行抽真空的真空祠忾处理。如在专利文献1中戶形己载的，在中空面板的真空祠汽处理中，j顿具有支 持部件的支架，它设置了多个排气集管，且育^以在各排气集管中分别插入尾 管的方式装载多个中空面板。如在专利文献1中戶W己载的，以往的支架是以预 定的间距并列布置排气集管，隔开一定的间隔保持中空面板。此外，真空排气 处理用的支架既可以是如专利文献1那样具有底架的推车，也可以4OT传送带 等进行鹏。在像专利文献1男卩样的以往的真空判汽处理用的支架上，当装载中空面板 时，从排，管的上部开口垂直地插入安装于中空面板上的尾管。因此，为了 确保在^#气集管的上方沿水平方向插入尾管所需的间隔，有必要使上下排气 集管的间隙比尾管的长度大。这样，以往的支架中，由于装载中空面板的间隔较大，育諷装载到一个支 架上的中空面板的数量M^，从而限制了生产能力，要确保生产能力就必须加大加热炉(伸^3^处理炉)。专利文献1:特幵2003-123648号公报
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的是，为了提高生产效率，皿一种能够以较 小的间隔支撑中空面板的真空排气处糊的支架。为了解决上述问题，本专利技术的真空排气处理用的支架包括支撑多个中空面板的支撑部件，供安装在Jl^各中空面板的开口的尾管分别插入、并 ± 述尾管而肚述各中空面板排出各自的气体的多个排气集管，使相互邻接的上 述排气集管配置成在与，尾管的插入方向垂直的方向上错开布置。根据这样的结构，即使排气集管的间隔比尾管的长度小，在将尾管插入到 排气集管中时，尾管也不会与相邻的排气集管相干涉。因此，在真空排气处理 用的支架上兽辦装载多个中空面板，从而提高真空排气处理能力。此外，在本专利技术的真空排气处理用的支架中，战排气集管可以配置鹏 ，尾管的插入方向上每隔一个排成一条直列。根据这样的结构，中空面板的排列是规则的，尾管朝排气集管的插入等操 作不会变得复杂。此外，能够最小限度地保留中空面板之间的错位，不会使支 架过大。此外，在本专利技术的真空排气处理用的支架中，相互邻接的上述排气集管错 开的方向可以是与插入，中空面板的方向垂直的方向。根据这样的结构，由于可以从与中空面板的插入方向相同的方向插入保持 尾管的臂状部件 行操作，因此避免了和相邻排气集管的干涉，可以容易地 进行尾管的插入操作。此外，在本专利技术的真空排气处理用的支架中，上述尾管的插入方向是垂直 方向，战中空面板可以水平地保糖。根据这样的结构，可以利用中空面板的自重将尾管压接在中空面^J:。 专利技术效果根据本专利技术，由于利用尾管使中空面,行真空排气用的排气集管在与上 述尾管的插入方向垂直的方向上错开，因此在排气集管上插入尾管时尾管不会 与相令,排气集管相干涉。因此，可以减小排气集管的间隔，并且能够在一个 真空排气处翻的魏上装载多个中空面板，提高了真空扫汽处理的处理能力。附图说明图1是本专利技术第一实施例的真空排气处翻的支架的侧视图。图2是图1的支架的平面图。图3是图1的支架的局部放大图。符号说明1— 真空祠忾处翻的支架2— 中空面板6— 面板支柱7— 面板支撑部件8— 面板支撑梁9— 集管支柱10— 尾管11— 扫汽集管12a， 12 b—臂状部件 13—尾管插入室具体实施例方式现在参照附图说明本专利技术的实施例。图1和图2示出了本专利技术的一个实施 例的真空祠忾处理用的支架1。支架1可装载多个显示面棚的中空鹏面板2，它一边沿轨道3 Mii未图示的加热炉内，一m中空,面板2的内部空间进行真空祠汽。支架1的底架5具有沿轨道3行进的车轮4，底架5上竖直设置了 4个面板 支柱6，各面板支柱6之间多层地设置了多个面板支撑梁8，该面板支撑梁8具 有水平地支撑中空面板2的面板支撑部件7。此外，支架1具有与一个面板支柱6并歹啲竖魏管支柱9，在集管支柱9 上支撑着排气集管ll，该排，管分别^ 尾管10，并j魄管10的上端与 装载在各层面板支撑梁8的面板支撑部件7上的中空自面板2的开口连接。 排气集管11分别M/人集管支柱9沿着与轨道3平行的水平方向伸出的两种长 度的臂状部件12a、 12b，使相邻的排气集管11在与$爐3平行的方向错开錢， 以两层交替的方式保持。如图2中的箭头所示，中空面板2可从支架1的侧面插A^口取出，祠， 管11布置在插A/取出中空面板2的U。如图3所示，糊,管11在上面开口，具有沿竖直方向插入尾管10的 尾管插入室13。当支架1在加热炉中行走时，祠汽集管11要M:插入尾管插入 室13的尾管10使中空面板2内部的空，行真空排出。因此，排气集管11上5分别连貌与真空源相连接的柔性管14。如果在中空面板2的内部排气戯空 的状态下将排，管11和中空面板2之间的尾管10熔断，就能够以真空状态 密封中空面板2的内部空间。为了进行上面这样的真空排气处理，禾,机械臂等从与插入中空面板2的 一侧相同的一侧将尾管10m至鹏汽集管11上，并垂直鹏入尾管插入室13。 摘管10的上端，设有鹏浆(j^^圭材才料)，M从其上方装载中空面板2， 可以利用中空面板2的自重使中空面板2和尾管10压接在一起，从而使尾管10 粘接在中空面板2的开口部上。此时，为了确保尾管10和中空面板2间的密封 连接，最好将排，管11保持成可相对于臂状部件12a、 12b上下移动的状态。进一步参照图3详细说明排，管11的布置。##气集管11相对于相邻 的排气集管11而在与尾管10的插入方向(竖直方向)和中空面板2的插入方 向垂直、且与轨道3平行的水平方向上错开位置地交替布置，每隔一个在竖直 方向排成一条直线地排成2列。各尾管10的长度为L，魏入排气集管11的下部做为Ld，露出于排气 集管11上方的长度为Lu。此外， 一个祠，管11与相邻的上方祠汽集管11 之间的间隙D比尾管10的长度L小。JJ^卜，为了避條载^^f保持的尾管10 上的中空面板2干涉上方的扫汽集管11 ，排气集管11之间的间隙D比尾管10 露出的长度Lu加上中空面板2的厚度t后的高度更大。假设所有排气集管11排成一列，则不可能将比间隙D大的尾管10插入排 气集管11的尾管插入室13，但在本实施例中，由于排气集管11交，开位置 排成两列，因此肖,将长度L比间隙D大的尾管10从侧面MA排气集管11的 上部并垂直地插入尾管插入室13。此外，在支撑的中空面板2和上方的排，管11在竖直方向上不重叠的场 合(图3的右列)，与上方的排，管11之间的间隙D还肖辦小于(Lu+t)。 特别是，如果祠汽集管11的高度H比尾管10的长度L大很多，贝U与上方的排 气集管11之间的间隙D可以JM小值，也就是说，可以将祠汽集管11部分重 合地配置。本实施例的支架1由于以较小的间隔层叠地支撑中空面板2，因此一个支架 上育嫩装载的中空面板2的M很多。因此，育嫩在一个加热炉中同时对更多 个中空面,行抽真空，提高真空排气处理的效率。此外，使用较小的加热炉就會继至湘同的处理能力，且支架1的台数也可以M^、，因而还可抑制设备的赫。此外，在本实施例中，水平鹏载在面板支撑部件7上的中空面板2魏 过自重与尾本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空排气处理用的支架，包括　支撑多个中空面板的支撑部件，　供安装在上述各中空面板的开口的尾管分别插入、并通过上述尾管从上述各中空面板排出各自的气体的多个排气集管，　其特征在于，使相互邻接的上述排气集管在与上述尾管的插入 方向垂直的方向上错开。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：惠上寿雄，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]