真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法，涉及半导体制造技术领域，其技术方案要点是：包括以真空管道依次连接的反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器，所述自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间设有第一抽吸管路；自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间设有第二抽吸管路；当自动压力控制器拆卸后，关闭门阀，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。本发明专利技术能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理，既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量，又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器处理的抽吸总量，延长了洗涤器的使用寿命。延长了洗涤器的使用寿命。延长了洗涤器的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，更具体地说，它涉及真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法。

技术介绍

[0002]半导体制造的chanmber反应室，可以控制气体氛围和电磁场氛围，以满足等离子反应、离子注入、成膜等需要在特定的反应环境中才能完成操作。现有的反应室一般配置有自动压力控制器APC，APC对反应室的内部气压进行调控，而随着APC的不断使用，反应室内的粉尘附着在APC内会降低APC的调控精度，为此需要时常对APC进行更换或维护。
[0003]APC更换时，反应室所在的真空管道从压力模式PM变成大气模式ATM，APC拆卸后的空置部分直接与大气接触，原来的真空管道中的粉尘会不断向外扩展，从而污染环境。为了有效阻止粉尘污染环境，部分操作人员选择在APC拆卸后的空置处安装抽吸装置，以有效阻止粉尘污染环境。
[0004]然而，空置处安装的抽吸装置的吸力作用下会提高粉尘的扩散速度，虽然大部分粉尘能够抽吸处理，但仍有部分的粉尘进入大气环境中，其粉尘防止扩散的效率有待提升；此外，抽吸装置的吸力作用下会增加抽吸量，导致粉尘处理的洗涤器处理负荷增大，降低了洗涤器的使用寿命。因此，如何研究设计一种能够克服上述缺陷的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法是我们目前急需解决的问题。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中的不足，本专利技术的目的是提供真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法。
[0006]本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0007]第一方面，提供了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，包括以真空管道依次连接的反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器，所述自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间设有第一抽吸管路；
[0008]自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间设有第二抽吸管路；
[0009]当自动压力控制器拆卸后，关闭门阀，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
[0010]进一步的，所述第一抽吸管路包括主管道、第一支管和第二支管；
[0011]主管道一端与真空泵的输入端连接，另一端与第一支管、第二支管的一端连接；
[0012]第一支管、第二支管的另一端分别与自动压力控制器两侧的真空管道连接；
[0013]第一支管、第二支管的管路均设有开关阀，主管道的管路设有第一流量调节阀。
[0014]进一步的，所述第二抽吸管路包括第二流量调节阀、挠性管和抽吸盘，抽吸盘通过挠性管和第二流量调节阀与真空泵的输入端连接，抽吸盘布置在自动压力控制器的外侧。
[0015]第二方面，提供了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，该真空管
道依次布设有反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器，包括以下步骤：
[0016]在自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间布设第一抽吸管路；
[0017]在自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间布设第二抽吸管路；
[0018]当自动压力控制器拆卸后，关闭门阀，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
[0019]进一步的，所述第一抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内的粉尘浓度值确定。
[0020]进一步的，所述第一抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：
[0021]通过粉尘浓度传感器实时监测真空管道至少一处的粉尘浓度值；
[0022]根据粉尘浓度值匹配得到在大气压强和常温下的扩散系数；
[0023]根据真空管道的截面积与扩散系数计算得到单位时间内的扩散体积，并以单位时间内的扩散体积作为第一抽吸管路的抽吸流量。
[0024]进一步的，所述第二抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内部与自动压力控制器拆卸后的空置处的压差以及第一抽吸管路的抽吸流量确定。
[0025]进一步的，所述第二抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：
[0026]根据真空管道内部与自动压力控制器拆卸后的空置处的压差分析得到理论气体流量；
[0027]以第一抽吸管路的抽吸流量与理论气体流量的差值作为第二抽吸管路的抽吸流量。
[0028]与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
[0029]1、本专利技术提供出的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法，通过在自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间布设第一抽吸管路，以及在自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间布设第二抽吸管路，能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理，既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量，又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器处理的抽吸总量，延长了洗涤器的使用寿命；
[0030]2、本专利技术通过第一支管、第二支管的开关阀可以灵活控制自动压力控制器拆卸后的空置处两侧的抽吸状态，并结合第一流量调节阀和第二流量调节阀，可灵活调控内外两点在同一时间的抽吸量；
[0031]3、本专利技术依据真空管道内的粉尘浓度值实时确定第一抽吸管路的抽吸流量，能够随着抽吸进程而适应性调整内部的抽吸量，有效降低了抽吸操作的工作量；
[0032]4、本专利技术依据真空管道内部与自动压力控制器拆卸后的空置处的压差以及第一抽吸管路的抽吸流量确定第二抽吸管路的抽吸流量，一方面可随着第一抽吸管路的抽吸流量变少而降低抑制第一抽吸管路对空置处的抽吸，另一方面可随着粉尘浓度值而降低第二抽吸管路本身的抽吸量，使得第一抽吸管路、第二抽吸管路的抽吸流量动态平衡。
附图说明
[0033]此处所说明的附图用来提供对本专利技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本专利技术实施例的限定。在附图中：
[0034]图1是本专利技术实施例中的工作原理图。
[0035]附图中标记及对应的零部件名称：
[0036]1、反应室；2、自动压力控制器；3、门阀；4、真空泵；5、主管道；6、第一支管；7、第二支管；8、第一流量调节阀；9、开关阀；10、第二流量调节阀；11、挠性管；12、抽吸盘；13、洗涤器。
具体实施方式
[0037]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本专利技术作进一步的详细说明，本专利技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本专利技术，并不作为对本专利技术的限定。
[0038]需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者间接在该另一个部件上。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。
[0039]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，包括以真空管道依次连接的反应室(1)、自动压力控制器(2)、门阀(3)、真空泵(4)和洗涤器(13)，其特征是，所述自动压力控制器(2)两侧的真空管道与真空泵(4)的输入端之间设有第一抽吸管路；自动压力控制器(2)的外侧与真空泵(4)的输入端之间设有第二抽吸管路；当自动压力控制器(2)拆卸后，关闭门阀(3)，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。2.根据权利要求1所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，其特征是，所述第一抽吸管路包括主管道(5)、第一支管(6)和第二支管(7)；主管道(5)一端与真空泵(4)的输入端连接，另一端与第一支管(6)、第二支管(7)的一端连接；第一支管(6)、第二支管(7)的另一端分别与自动压力控制器(2)两侧的真空管道连接；第一支管(6)、第二支管(7)的管路均设有开关阀(9)，主管道(5)的管路设有第一流量调节阀(8)。3.根据权利要求1所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，其特征是，所述第二抽吸管路包括第二流量调节阀(10)、挠性管(11)和抽吸盘(12)，抽吸盘(12)通过挠性管(11)和第二流量调节阀(10)与真空泵(4)的输入端连接，抽吸盘(12)布置在自动压力控制器(2)的外侧。4.真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，该真空管道依次布设有反应室(1)、自动压力控制器(2)、门阀(3)、真空泵(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘钟埈，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：