本实用新型专利技术提供一种划片刀偏心调节装置，涉及半导体加工技术领域，刀盘法兰的尾端内腔用于插装芯轴，头端外周用于套装刀片；刀盘法兰的壁面当中沿圆周方向设置环形油槽，环形油槽当中填充液压油，当油压调节器对增大液压油的油压时，环形油槽的侧壁发生变形从而与刀片的内圈形成过盈配合，消除刀盘法兰与刀片之间的间隙，从而快捷地消除刀片的偏心，该方案不需要磨削刀片，可以避免刀片发生损耗。可以避免刀片发生损耗。可以避免刀片发生损耗。
【技术实现步骤摘要】
一种划片刀偏心调节装置及划片机
[0001]本技术涉及半导体加工
，更进一步涉及一种划片刀偏心调节装置。此外，本技术还涉及一种划片机。
技术介绍
[0002]划片机作为半导体后封装的关键设备，是通过安装在空气静压高速主轴刀盘法兰上的划片刀对晶圆进行划切。其加工精度受自身的性能和工艺参数影响外，一个重要因素是刀片安装时的误差。
[0003]当刀片安装在主轴和法兰上，虽然刀片与法兰直接接触，但两者间在径向方向依然存在缝隙，加上重力的影响使得刀片的中心轴线与主轴的中心轴线不重合，即产生刀片的偏心。若刀片在偏心的情况下使用，导致切割出来的晶圆深度不一，使得划片机的加工精度下降以及影响晶圆的品质。
[0004]在以往的划片机的刀片安装过程，应对刀片偏心的方法是进行磨刀处理，即将刀片安装在主轴之后，通过光电传感器测量和计算出偏心量，然后调动相应的程序将刀片移动到磨刀板上，根据偏心量对刀片进行磨刀处理，利用磨刀处理后的刀片对晶圆进行工作。这种方法在一定程度上减少了刀片的偏心量，但是却大大降低了刀片的使用寿命，另一方面也增加了磨刀板的损耗，以及整个操作的时间成本。
[0005]因此，针对上述技术问题，安装刀片时如何快捷地消除偏心，避免损耗，是本领域技术人员需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种划片刀偏心调节装置，通过液压调节的方式消除刀片偏心问题，避免磨损刀片，具体方案如下：
[0007]一种划片刀偏心调节装置，包括刀盘法兰，所述刀盘法兰的尾端内腔用于插装芯轴，头端外周用于套装刀片；
[0008]所述刀盘法兰的壁面当中沿圆周方向设置环形油槽，所述环形油槽当中用于填充液压油，并通过油压调节器调节液压油的油压；当油压增大时所述环形油槽的侧壁发生变形从而与所述刀片的内圈形成过盈配合。
[0009]可选地，所述油压调节器为安装于所述刀盘法兰的调节螺钉。
[0010]可选地，所述刀盘法兰的外侧壁设置螺纹孔，所述调节螺钉螺纹连接于所述螺纹孔。
[0011]可选地，所述刀盘法兰的外周设置环形凸台，所述环形凸台受压膨胀并压在所述刀片的内圈。
[0012]可选地，所述环形油槽包括变形段和施压段，所述变形段的径向宽度小于所述施压段的径向宽度；
[0013]所述螺纹孔正对所述施压段，所述环形凸台正对所述变形段。
[0014]可选地，所述施压段设置于所述刀盘法兰的尾端，所述施压段的轴向长度小于所述变形段的轴向长度；所述施压段与外界连通，且所述施压段的尾端被封闭。
[0015]可选地，所述刀盘法兰的外周设置用于轴向定位所述刀片的定位环台。
[0016]可选地，所述刀盘法兰通过法兰螺钉固定于所述芯轴，所述法兰螺钉沿轴向穿过所述刀盘法兰并螺纹连接于所述芯轴。
[0017]本技术还提供一种划片机，包括上述任一项所述的划片刀偏心调节装置。
[0018]本技术提供一种划片刀偏心调节装置，刀盘法兰的尾端内腔用于插装芯轴，头端外周用于套装刀片；刀盘法兰的壁面当中沿圆周方向设置环形油槽，环形油槽当中填充液压油，当油压调节器对增大液压油的油压时，环形油槽的侧壁发生变形从而与刀片的内圈形成过盈配合，消除刀盘法兰与刀片之间的间隙，从而快捷地消除刀片的偏心，该方案不需要磨削刀片，可以避免刀片发生损耗。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术实施例提供的划片刀偏心调节装置的剖面示意图。
[0021]图中包括：
[0022]刀盘法兰1、螺纹孔1.1、环形凸台1.2、定位环台1.3、芯轴2、刀片3、环形油槽4、变形段4.1、施压段4.2、油压调节器5、法兰螺钉6。
具体实施方式
[0023]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0024]为了使本
的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。
[0025]本技术提供一种划片刀偏心调节装置，包括刀盘法兰1，结合图1，左端为头端，右端为尾端，刀盘法兰1的尾端内腔用于插装芯轴2，头端外周用于套装刀片3；刀盘法兰1的尾端设置有空腔，芯轴2可以插装于刀盘法兰1的尾端，刀盘法兰1和芯轴2之间保持过盈配合连接，通常芯轴2的端部设置为锥形面，刀盘法兰1的尾端内腔同样配合设置为锥形面，从而保证插装时能够紧密嵌套配合，形成过盈配合。刀盘法兰1的头端用于套装刀片3，刀片3中心设置有安装孔可以套在刀盘法兰1的头端外周，也即刀盘法兰1的头端能够伸入刀片3中心设置的安装孔内。本技术的主要目的就在于，当刀片3装到刀盘法兰1时，刀盘法兰1的外周能够与刀片3的安装孔内壁均匀接触，避免刀片3出现偏斜。
[0026]刀盘法兰1的壁面当中沿圆周方向设置环形油槽4，环形油槽4为圆周方向设置的筒形空腔，周向环绕设置，刀盘法兰1的主体部分为筒形结构，也即一圈筒形壁面，环形油槽
4的中心轴与刀盘法兰1的中心轴重合。环形油槽4在轴线方向上具有一定的深度，以使刀盘法兰1能够产生变形；刀片3与环形油槽4存在轴向上存在重叠部分，也即刀片3沿径向方向做投影，投影落在环形油槽4的范围之内，保证刀片3安装的位置能够产生弹性变形。
[0027]环形油槽4当中用于填充液压油，并通过油压调节器5调节环形油槽4当中液压油的油压，利用油压的变化实现刀片3和刀盘法兰1之间的过盈配合。当油压增大时环形油槽4的侧壁发生变形从而与刀片3的内圈形成过盈配合。
[0028]环形油槽4在使用时是一个相对封闭的环形腔室，在其内部填充液压油，并留有一个通道以实现油压调节。当需要与刀片3过盈配合时，先将刀片3套装到刀盘法兰1的头端，此时刀片3与刀盘法兰1之间存在微小的间隙，由于液压油是不可压的，当液压油的压强增大时，液压油对其侧壁形成压力，使环形油槽4的侧壁发生微小的弹性变形，环形油槽4的侧壁产生弹性形变，侧壁向外扩张，从而挤压刀片3的内圈，使得刀盘法兰1和刀片3之间形成过盈配合，通过此种方式使刀片3圆周方向各个位置均匀受力，可以消除刀盘法兰1和刀片3之间的缝隙，消除刀片3的偏心，并且不需要磨削刀片，不会减少刀片的使用寿命，防止磨刀板的消耗。并且通过调节油压的方式消除偏心，效率更高。
[0029]在上述方案的基础上，本技术的油压调节器5为安装于刀盘法兰1的调节螺钉，通过顺时针或逆时针拧动调节螺钉改变环本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片刀偏心调节装置，其特征在于，包括刀盘法兰(1)，所述刀盘法兰(1)的尾端内腔用于插装芯轴(2)，头端外周用于套装刀片(3)；所述刀盘法兰(1)的壁面当中沿圆周方向设置环形油槽(4)，所述环形油槽(4)当中用于填充液压油，并通过油压调节器(5)调节液压油的油压；当油压增大时所述环形油槽(4)的侧壁发生变形从而与所述刀片(3)的内圈形成过盈配合。2.根据权利要求1所述的划片刀偏心调节装置，其特征在于，所述油压调节器(5)为安装于所述刀盘法兰(1)的调节螺钉。3.根据权利要求2所述的划片刀偏心调节装置，其特征在于，所述刀盘法兰(1)的外侧壁设置螺纹孔(1.1)，所述调节螺钉螺纹连接于所述螺纹孔(1.1)。4.根据权利要求3所述的划片刀偏心调节装置，其特征在于，所述刀盘法兰(1)的外周设置环形凸台(1.2)，所述环形凸台(1.2)受压膨胀并压在所述刀片(3)的内圈。5.根据权利要求4所述的划片刀偏心调节装置，其特征在于，所述环形油槽(4)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王超，李伟超，孙亚辉，司亚辉，石云鹏，
申请(专利权)人：光力瑞弘电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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