本发明专利技术公开了一种双止推盘主轴装置，涉及空气主轴技术领域，其包括：主轴壳体；轴承端盖；芯轴，其插设在主轴壳体内、且芯轴的端部与轴承端盖抵接；第二止推盘，其设于轴承端盖的一侧；第二止推轴承，其设于第二止推盘的一侧；第一止推盘，其设于第二止推轴承的一侧；外轴承端盖，其设于第二止推轴承的一侧；径向轴承；第二止推盘、第二止推轴承、第一止推盘以及外轴承端盖均套设在芯轴前端的外周部，第一止推盘和第二止推盘的两侧均设有气膜，轴承端盖、第二止推轴承以及外轴承端盖均设有环形槽和与环形槽连通的进气孔。本装置既保证空气主轴的稳定性和刚度，又在划切晶圆时不出现崩边现象、保证划片机的工作效率。保证划片机的工作效率。保证划片机的工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种双止推盘主轴装置
[0001]本专利技术涉及空气主轴
，更具体地说，涉及一种双止推盘主轴装置。
技术介绍
[0002]相关技术中，划片机作为半导体后封装的关键设备，是通过安装在空气静压高速主轴刀盘上的划片刀对晶圆进行划切，空气主轴作为最重要的核心零部件，其性能对晶圆的加工质量及刀具寿命具有重要影响。空气主轴具有回转精度高、摩擦小、寿命长等优点，但同时也具有承载能力和刚度较低，稳定性较差等问题。所以在对加工质量要求越来越严格的情况下，需要对空气主轴本身的稳定性和刚度进行改进。
[0003]空气主轴的特点是主轴一体化，即在结构上将主轴和高速电机紧密的配合在一起，省去了传统意义上的齿轮、皮带等中间环。但是，空气主轴以每分钟3万到6万转速加工设备，在高速旋转的情况下，其稳定性较低，加之空气主轴是以空气作为润滑剂，转子和轴承之前有气膜存在，在对晶圆划切时，不可避免的会出现主轴转子的跳动，造成晶圆的崩边。
[0004]传统的空气主轴内部在芯轴上只有一个止推盘，节流孔均匀的分布在止推盘两侧的止推轴承上，这种结构在一定的程度上增加了空气主轴的稳定性和刚度，但是，在划切晶圆时，依然有出现崩边的现象，大大降低了划片机的工作效率。
[0005]综上所述，如何既保证空气主轴的稳定性和刚度，又在划切晶圆时不出现崩边现象、保证划片机的工作效率，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0006]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种双止推盘主轴装置，既保证空气主轴的稳定性和刚度，又在划切晶圆时不出现崩边现象、保证划片机的工作效率。
[0007]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0008]一种双止推盘主轴装置，包括：
[0009]主轴壳体；
[0010]轴承端盖，其设于所述主轴壳体的一端；
[0011]芯轴，其插设在所述主轴壳体内、且所述芯轴的端部与所述轴承端盖抵接；
[0012]第二止推盘，其设于所述轴承端盖的一侧；
[0013]第二止推轴承，其设于所述第二止推盘的一侧；
[0014]第一止推盘，其设于所述第二止推轴承的一侧；
[0015]外轴承端盖，其设于所述第二止推轴承的一侧；
[0016]径向轴承，其夹设于所述芯轴后端的外周部和所述主轴壳体的内周部之间；
[0017]所述第二止推盘、所述第二止推轴承、所述第一止推盘以及所述外轴承端盖均套设在所述芯轴前端的外周部，所述第一止推盘和所述第二止推盘的两侧均设有气膜，所述轴承端盖、所述第二止推轴承以及所述外轴承端盖均设有环形槽和与所述环形槽连通的进
气孔。
[0018]在一个实施例中，所述轴承端盖内设有第三止推轴承，所述第三止推轴承和所述第二止推盘之间夹设有第四气膜，所述第三止推轴承设有节流孔，所述轴承端盖的所述环形槽和所述节流孔连通。
[0019]在一个实施例中，所述外轴承端盖内设有第一止推轴承，所述第一止推轴承和所述第一止推盘之间夹设有第一气膜，所述第一止推轴承设有所述节流孔，所述外轴承端盖的所述环形槽和所述节流孔连通。
[0020]在一个实施例中，所述第一止推盘和所述第二止推轴承之间夹设有第二气膜，所述第二止推盘和所述第二止推轴承之间夹设有第三气膜；
[0021]所述第二止推轴承设有所述节流孔，以通过所述节流孔进入所述第二气膜和所述第三气膜。
[0022]在一个实施例中，所述第一止推轴承、所述第二止推轴承以及所述第三止推轴承均沿周向均布有4
‑
8个所述节流孔。
[0023]在一个实施例中，所述第二气膜和所述第三气膜的气膜厚度相同，所述第一气膜和所述第四气膜的气膜厚度相同，所述第二气膜的气膜厚度小于所述第一气膜的气膜厚度。
[0024]在一个实施例中，所述第二气膜和所述第三气膜的气膜厚度为10
‑
12μm；所述第一气膜和所述第四气膜的气膜厚度为16
‑
18μm。
[0025]在一个实施例中，所述外轴承端盖的一侧设有冷却环，所述冷却环套设在所述第一止推盘的外周部。
[0026]在一个实施例中，还包括横截面呈T型分布的前端盖板，所述前端盖板的水平部、所述外轴承端盖以及所述冷却环依次固定在所述第二止推轴承上，所述前端盖板的竖直部夹设在所述外轴承端盖内周部和所述芯轴的外周部之间。
[0027]在一个实施例中，所述冷却环上设有环形的冷却槽，所述冷却环的顶部设有进水孔，所述冷却环的底部设有排水孔。
[0028]本专利技术的有益效果在于，在使用本专利技术所提供的双止推盘主轴装置时，将轴承端盖固定在主轴壳体上，两者之间紧密配合，之后，再将芯轴插入主轴壳体内、且芯轴的端部与轴承端盖抵接，然后，将第二止推轴承紧密固定在轴承端盖上，这样会在第二止推盘的两侧形成气膜，供压缩气体通过。
[0029]随后，将第一止推盘紧固在芯轴上，第一止推盘和芯轴完全配合，二者不具有相对运动。并将外轴承端盖固定在第一止推盘一侧。最后，将径向轴承夹设在芯轴后端的外周部和主轴壳体的内周部之间，以形成结构紧凑、体积小的双止推空气主轴，在电机驱动高速旋转时，可极大程度提高空气主轴的结构稳定性。
[0030]其中，在外轴承端盖上开设有环形槽，压缩空气通过进气孔进入环形槽之后，压缩空气首先充满环形槽，然后进入气膜之中，以对芯轴提供承载力。在第二止推轴承上同样开设有环形槽，压缩空气通过进气孔进入环形槽中，然后分别进入第二止推轴承两侧的气膜之中。轴承端盖上开设有环形槽，压缩空气首先进入环形槽中，然后进入气膜之中。
[0031]当芯轴上设有两个止推盘时，在轴向方向上，第一止推盘两侧的气膜分别作用于第一止推盘上，第二止推盘两侧的气膜分别作用于第二止推盘上，也即芯轴在轴向上的承
载力相反，可分别形成闭式结构，在保证芯轴不会发生轴向运动以外，还提高了空气主轴的刚度和稳定性。并且，采用双止推盘结构，其气膜通道比单止推盘结构的气膜通道更为复杂，压缩空气在气膜通道中流动时，压缩空气与空气主轴接触面积大，在一定程度上增加了对流换热，从而减少热变形的情况。
[0032]综上所述，本专利技术所提供的双止推盘主轴装置，既保证空气主轴的稳定性和刚度，又在划切晶圆时不出现崩边现象、保证划片机的工作效率。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0034]图1为本专利技术所提供的双止推盘主轴装置的结构示意图；
[0035]图2为冷却环的结构示意图；
[0036]图3为第一止推轴承和第三止推轴承的结构示意图；
[0037]图4为第二止推轴承的结构示意图；
[0038]图5为双止推盘主轴装置的主视剖面图。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双止推盘主轴装置，其特征在于，包括：主轴壳体(18)；轴承端盖(17)，其设于所述主轴壳体(18)的一端；芯轴(20)，其插设在所述主轴壳体(18)内、且所述芯轴(20)的端部与所述轴承端盖(17)抵接；第二止推盘(14)，其设于所述轴承端盖(17)的一侧；第二止推轴承(13)，其设于所述第二止推盘(14)的一侧；第一止推盘(10)，其设于所述第二止推轴承(13)的一侧；外轴承端盖(3)，其设于所述第二止推轴承(13)的一侧；径向轴承(19)，其夹设于所述芯轴(20)后端的外周部和所述主轴壳体(18)的内周部之间；所述第二止推盘(14)、所述第二止推轴承(13)、所述第一止推盘(10)以及所述外轴承端盖(3)均套设在所述芯轴(20)前端的外周部，所述第一止推盘(10)和所述第二止推盘(14)的两侧均设有气膜，所述轴承端盖(17)、所述第二止推轴承(13)以及所述外轴承端盖(3)均设有环形槽和与所述环形槽连通的进气孔。2.根据权利要求1所述的双止推盘主轴装置，其特征在于，所述轴承端盖(17)内设有第三止推轴承(15)，所述第三止推轴承(15)和所述第二止推盘(14)之间夹设有第四气膜(29)，所述第三止推轴承(15)设有节流孔(22)，所述轴承端盖(17)的所述环形槽和所述节流孔(22)连通。3.根据权利要求2所述的双止推盘主轴装置，其特征在于，所述外轴承端盖(3)内设有第一止推轴承(5)，所述第一止推轴承(5)和所述第一止推盘(10)之间夹设有第一气膜(25)，所述第一止推轴承(5)设有所述节流孔(22)，所述外轴承端盖(3)的所述环形槽和所述节流孔(22)连通。4.根据权利要求3所述的双止推盘主轴装置，其特征在于，所述第一止推盘(10)和所述第二止推轴承(13)之间夹设有第二气膜(26)，所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵彤宇，王超，李伟超，司亚辉，王建伟，
申请(专利权)人：光力瑞弘电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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