一种轴向可移动芯轴的空气主轴、划片机制造技术

本申请公开了一种轴向可移动芯轴的空气主轴、划片机，涉及划片机技术领域；所述轴向可移动芯轴的空气主轴包括芯轴、刀片组件、第一套组和第二套组，芯轴具有第一端和第二端；刀片组件安装于所述芯轴的第一端，所述刀片组件用于在所述芯轴的转动作用下实现对物料的切割；第一套组套装所述芯轴的第一端和第二端之间，所述第一套组中设置有用于驱动所述芯轴转动的驱动组件，并且所述芯轴可沿所述第一套组移动；第二套组套装所述芯轴的第二端，所述第二套组用于带动所述芯轴及所述刀片组件沿所述第一套组移动。上述轴向可移动芯轴的空气主轴，在驱动组件驱动芯轴高速旋转时，芯轴在轴向方向可以移动，提高了主轴切割时的稳定性。提高了主轴切割时的稳定性。提高了主轴切割时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种轴向可移动芯轴的空气主轴、划片机


[0001]本申请涉及划片机
，特别涉及一种轴向可移动芯轴的空气主轴。还涉及一种包括轴向可移动芯轴的空气主轴的划片机。

技术介绍

[0002]划片机作为半导体后封装的关键设备，是通过安装在空气静压高速主轴刀盘上的划片刀对晶圆进行划切，空气主轴作为最重要的核心零部件，其性能对晶圆的加工质量及刀具寿命具有重要影响。
[0003]空气主轴具有回转精度高、摩擦小、寿命长等优点，但是在划片机工作时，空气主轴是由龙门架上的驱动电机带动切割，这样会造成刀片颤动，造成晶圆的崩边问题。所以在对加工质量要求越来越严格的情况下，需要对空气主轴本身的稳定性进行改进。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是提供一种轴向可移动芯轴的空气主轴，在驱动组件驱动芯轴高速旋转时，芯轴在轴向方向可以移动，提高了主轴切割时的稳定性。本申请的另一目的是提供一种包括轴向可移动芯轴的空气主轴的划片机。
[0005]为实现上述目的，本申请提供一种轴向可移动芯轴的空气主轴，包括：
[0006]芯轴，具有第一端和第二端；
[0007]刀片组件，安装于所述芯轴的第一端，所述刀片组件用于在所述芯轴的转动作用下实现对物料的切割；
[0008]第一套组，套装所述芯轴的第一端和第二端之间，所述第一套组中设置有用于驱动所述芯轴转动的驱动组件，并且所述芯轴可沿所述第一套组移动；
[0009]第二套组，套装所述芯轴的第二端，所述第二套组用于带动所述芯轴及所述刀片组件沿所述第一套组移动。
[0010]在一些实施例中，所述第一套组还包括：
[0011]第一壳体，内部安装有径向轴承和所述驱动组件，并且所述驱动组件套装所述芯轴；
[0012]所述径向轴承，套装所述芯轴。
[0013]在一些实施例中，所述径向轴承为两个，所述驱动组件位于两个所述径向轴承之间。
[0014]在一些实施例中，所述第一套组还包括：
[0015]第一端盖，安装于所述第一壳体，所述第一端盖套装所述芯轴第一端的周部，所述第一端盖位于所述第一壳体和所述刀片组件之间。
[0016]在一些实施例中，所述驱动组件包括：
[0017]电机定子，套装所述芯轴，所述电机定子用于驱动所述芯轴转动；
[0018]水冷槽，套装所述电机定子，所述水冷槽用于对所述电机定子水冷降温。
[0019]在一些实施例中，所述芯轴的第二端设置有止推盘；所述第二套组包括：
[0020]第二壳体，内部安装有第一止推轴承和第二止推轴承；
[0021]所述第一止推轴承，套装所述芯轴，所述第一止推轴承位于所述止推盘的第一侧；
[0022]所述第二止推轴承，位于所述止推盘的第二侧。
[0023]在一些实施例中，所述第二套组还包括：
[0024]第二端盖，安装于所述第二壳体，所述第二端盖与所述止推盘之间有所述第二止推轴承。
[0025]在一些实施例中，所述刀片组件包括：
[0026]安装法兰，安装于所述芯轴的第一端；
[0027]刀片，套装所述安装法兰。
[0028]本申请还提供了一种划片机，包括上述轴向可移动芯轴的空气主轴。
[0029]在一些实施例中，所述划片机还包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述第一套组连接，所述第一运动组件用于带动所述轴向可移动芯轴的空气主轴移动；所述第二运动组件安装于所述第一运动组件，所述第二运动组件与所述第二套组连接，所述第二运动组件用于带动所述芯轴移动。
[0030]相对于上述
技术介绍
，本申请所提供的轴向可移动芯轴的空气主轴包括芯轴、刀片组件、第一套组和第二套组。其中，芯轴具有第一端和第二端；刀片组件安装于芯轴的第一端，刀片组件用于在芯轴的转动作用下实现对物料的切割；第一套组套装芯轴的第一端和第二端之间，第一套组中设置有用于驱动芯轴转动的驱动组件，并且芯轴可沿第一套组移动；第二套组套装芯轴的第二端，第二套组用于带动芯轴及刀片组件沿第一套组移动。
[0031]在该轴向可移动芯轴的空气主轴的使用过程中，一方面，驱动组件在第一套组中驱动芯轴转动，芯轴进而带动刀片组件动作，由刀片组件实现对物料的切割；另一方面，芯轴在第一套组中可沿第一套组移动，通过第二套组带动芯轴及刀片组件沿第一套组移动，将刀片组件转移至切割位置。上述轴向可移动芯轴的空气主轴，在驱动组件驱动芯轴高速旋转时，芯轴在轴向方向可以移动，提高了主轴切割时的稳定性。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0033]图1为本申请实施例提供的轴向可移动芯轴的空气主轴的应用示意图；
[0034]图2为本申请实施例提供的轴向可移动芯轴的空气主轴的结构示意图；
[0035]图3为图1中芯轴在移动前的位置示意图；
[0036]图4为图1中芯轴在移动后的位置示意图；
[0037]图5为本申请实施例提供的划片机的控制流程图。
[0038]其中：
[0039]1‑
芯轴、2
‑
刀片组件、21
‑
安装法兰、22
‑
刀片、3
‑
第一套组、311
‑
水冷槽、312
‑
电机定子、32
‑
第一壳体、33
‑
径向轴承、34
‑
第一端盖、4
‑
第二套组、41
‑
第二壳体、42
‑
第一止推轴
承、43
‑
第二止推轴承、44
‑
第二端盖、51
‑
Y轴龙门支架、61
‑
步进电机、62
‑
连接固定板。
具体实施方式
[0040]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0041]为了使本
的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。
[0042]空气主轴的特点是主轴一体化，即在结构上将主轴和高速电机紧密的配合在一起，之后将主轴固定在龙门支架上，通过相关软件控制位移电机，进而驱动主轴进行工作。由于对晶圆的切割，是属于高精密的工作，一般是几十微米甚至十几微米移动，所以在驱动空气主轴时，不可避免的会出现刀片颤动，造成晶圆崩边和损坏，大大降低了划片机的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，包括：芯轴，具有第一端和第二端；刀片组件，安装于所述芯轴的第一端，所述刀片组件用于在所述芯轴的转动作用下实现对物料的切割；第一套组，套装所述芯轴的第一端和第二端之间，所述第一套组中设置有用于驱动所述芯轴转动的驱动组件，并且所述芯轴可沿所述第一套组移动；第二套组，套装所述芯轴的第二端，所述第二套组用于带动所述芯轴及所述刀片组件沿所述第一套组移动。2.根据权利要求1所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述第一套组还包括：第一壳体，内部安装有径向轴承和所述驱动组件，并且所述驱动组件套装所述芯轴；所述径向轴承，套装所述芯轴。3.根据权利要求2所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述径向轴承为两个，所述驱动组件位于两个所述径向轴承之间。4.根据权利要求2所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述第一套组还包括：第一端盖，安装于所述第一壳体，所述第一端盖套装所述芯轴第一端的周部，所述第一端盖位于所述第一壳体和所述刀片组件之间。5.根据权利要求2所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述驱动组件包括：电机定子，套装所述芯轴，所述电机定子用于驱动所述芯轴转动；水...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵彤宇，王超，李伟超，王建伟，兰钊，张健欣，
申请(专利权)人：光力瑞弘电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：