一种便于调节高度的晶元切割加工平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于调节高度的晶元切割加工平台，包括底座和安装板，所述底座上表面的一侧固定连接有滑柱；所述滑柱外表面的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内侧壁活动连接有滑板，所述滑板外表面的一侧开设有凹槽，所述安装板外表面的一侧设置有电机。该一种便于调节高度的晶元切割加工平台，通过电机、转轴、固定块、固定轴、滑轮、凹槽、滑槽、滑板和弹簧的设置，由于操作人管身高各部相同，装置无法自动升降，导致操作员在操作过程中不太方便，电机带动转轴转动，同时带动转轴的外表面固定的固定块转动，使固定轴带动滑轮在凹槽中进行滑动，利用弹簧的设置，可以使滑板在滑槽中进行上下移动，达到调节高度的目的。达到调节高度的目的。达到调节高度的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节高度的晶元切割加工平台


[0001]本技术涉及晶元加工
，特别涉及一种便于调节高度的晶元切割加工平台。

技术介绍

[0002]在半导体工艺制造过程中，在晶圆上形成多个集成电路芯片后，需要对集成电路芯片进行物理特性分析，目的是进一步保证集成电路芯片的质量，有助于进一步提高出厂的合格率。而要对集成电路芯片进行物理特性分析，需要从晶圆上切取一个或几个集成电路芯片，而在后续的检测工序中，需要对晶圆进行探针测试，这就需要将切割下来的晶圆再次重新粘合在一起，重新粘合的过程不仅过程复杂，而且耗费人力，提高成本。
[0003]经检索，中国专利申请号为CN201410809744.8的专利，公开了一种晶圆切割装置，虽然能够从晶圆上切取待检集成电路芯片，但不切断晶圆其他部分，这样就不需要对晶圆进行重新粘合，简化了工艺流程，提高了成品的制作效率，且降低成本，但是由于操作人管身高各部相同，装置无法自动升降，导致操作员在操作过程中不太方便，在晶元切割时，由于表面不平整，切割过程中会产生高温和有细小的废屑产生，因此设计一种便于调节高度的晶元切割加工平台很有必要。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种便于调节高度的晶元切割加工平台，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种便于调节高度的晶元切割加工平台，包括底座和安装板，所述底座上表面的一侧固定连接有滑柱；所述滑柱外表面的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内侧壁活动连接有滑板，所述滑板外表面的一侧开设有凹槽，所述安装板外表面的一侧设置有电机。
[0007]为了使得达到调节高度的目的，作为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴外表面的一侧固定连接有转块，所述转块正表面的一侧固定连接有固定轴，所述固定轴的一端转动连接有滑轮，所述底座上表面的一侧固定连接有弹簧并延伸至滑板的下表面，所述滑轮设置在凹槽的内底壁。
[0008]为了使得达到转动的目的，作为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台，所述滑板的上表面固定连接有工作台，所述工作台上表面的一侧转动连接有转动轴，所述转动轴外表面的一侧固定连接有转盘。
[0009]为了使得达到固定的目的，作为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台，所述转盘上表面的一侧固定连接有固定台座，所述固定台座上表面的一侧固定连接有固定块。
[0010]为了使得打打牌切割目的，作为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台，所述工作台上表面的一侧固定连接有立柱一，所述立柱一外表面的一侧固定连接有固
定板一，所述固定板一上表面的一侧设置有伺服装置一，所述伺服装置一的输出端固定连接有伸缩轴一，所述伸缩轴一下表面的一侧固定连接有切割片。
[0011]为了使得达到打磨的目的，作为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台，所述工作台上表面的一侧固定连接有立柱二，所述立柱二外表面的一侧固定连接有固定板二，所述固定板二上表面的一侧设置有伺服装置二，所述伺服装置二的输出端固定连接有伸缩轴二，所述伸缩轴二下表面的一侧固定连接有打磨块。
[0012]为了使得达到冷却的目的，作为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台，所述工作台上表的一侧固定连接有冷却液储存箱，所述冷却液储存箱内底壁的一侧设置有抽泵，所述抽泵的输出端固定连接有输送管，所述输送管的一端固定连接有喷头。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]1.本技术中，通过电机、转轴、固定块、固定轴、滑轮、凹槽、滑槽、滑板和弹簧的设置，由于操作人管身高各部相同，装置无法自动升降，导致操作员在操作过程中不太方便，电机带动转轴转动，同时带动转轴的外表面固定的固定块转动，使固定轴带动滑轮在凹槽中进行滑动，利用弹簧的设置，可以使滑板在滑槽中进行上下移动，达到调节高度的目的。
[0015]2.本技术中，通过抽泵、冷却液储存箱、输送管和喷头的设置，在加工过程中，会产生许多的热量以及废屑，通过抽泵将冷却液储存箱中的冷却液进行抽取，并抽送到输送管中，并由喷头进行喷洒，对加工轴进行冷却，以及放置废屑的四处飞溅。
附图说明
[0016]图1为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台的正视结构示意图；
[0017]图2为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台的加工结构示意图；
[0018]图3为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台的升高结构示意图；
[0019]图4为本技术一种便于调节高度的晶元切割加工平台的冷却液结构示意图。
[0020]图中：1、底座；2、安装板；3、滑柱；4、滑槽；5、滑板；6、凹槽；7、电机；8、转轴；9、转块；10、固定轴；11、滑轮；12、弹簧；13、工作台；14、转动轴；15、转盘；16、固定台座；17、固定块；18、立柱一；19、固定板一；20、伺服装置一；21、伸缩轴一；22、切割片；23、立柱二；24、固定板二；25、伺服装置二；26、伸缩轴二；27、打磨块；28、冷却液储存箱；29、抽泵；30、输送管；31、喷头。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例1
[0023]如图1
‑
4所示，一种便于调节高度的晶元切割加工平台，包括底座1和安装板2，底座1上表面的一侧固定连接有滑柱3；
[0024]在本实施例中，滑柱3外表面的一侧开设有滑槽4，滑槽4的内侧壁活动连接有滑板
5，滑板5外表面的一侧开设有凹槽6，安装板2外表面的一侧设置有电机7。
[0025]具体使用时，滑柱3的设置，滑板5利用滑槽4可以进行上下移动，达到可以调节高度的目的。
[0026]在本实施例中，电机7的输出端固定连接有转轴8，转轴8外表面的一侧固定连接有转块9，转块9正表面的一侧固定连接有固定轴10，固定轴10的一端转动连接有滑轮11，底座1上表面的一侧固定连接有弹簧12并延伸至滑板5的下表面，滑轮11设置在凹槽6的内底壁。
[0027]具体使用时，电机7带动转轴8转动，同时带动转轴8的外表面固定的转块9转动，使固定轴10带动滑轮11在凹槽6中进行滑动，利用弹簧12的设置，可以使滑板5在滑槽4中进行上下移动，达到调节高度的目的。
[0028]在本实施例中，滑板5的上表面固定连接有工作台13，工作台13上表面的一侧转动连接有转动轴14，转动轴14外表面的一侧固定连接有转盘15。
[0029]具体使用时，转动轴14的设置，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节高度的晶元切割加工平台，包括底座(1)和安装板(2)，其特征在于：所述底座(1)上表面的一侧固定连接有滑柱(3)；所述滑柱(3)外表面的一侧开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内侧壁活动连接有滑板(5)，所述滑板(5)外表面的一侧开设有凹槽(6)，所述安装板(2)外表面的一侧设置有电机(7)。2.根据权利要求1所述的一种便于调节高度的晶元切割加工平台，其特征在于：所述电机(7)的输出端固定连接有转轴(8)，所述转轴(8)外表面的一侧固定连接有转块(9)，所述转块(9)正表面的一侧固定连接有固定轴(10)，所述固定轴(10)的一端转动连接有滑轮(11)，所述底座(1)上表面的一侧固定连接有弹簧(12)并延伸至滑板(5)的下表面，所述滑轮(11)设置在凹槽(6)的内底壁。3.根据权利要求1所述的一种便于调节高度的晶元切割加工平台，其特征在于：所述滑板(5)的上表面固定连接有工作台(13)，所述工作台(13)上表面的一侧转动连接有转动轴(14)，所述转动轴(14)外表面的一侧固定连接有转盘(15)。4.根据权利要求3所述的一种便于调节高度的晶元切割加工平台，其特征在于：所述转盘(15)上表面的一侧固定连接有固定台座(16)，所述固定台座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙冰，李斌，
申请(专利权)人：珠海众诚同创激光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：